百色hepa高效（xiào）過（guò）濾器

其實很多人（rén）對於高（gāo）效過濾器的了解還是停留在表麵上的，

比如隻知道潔淨（jìng）室要安裝初效G4+中效F5+中高效F9+末端的高效H14，但是對於高效過濾器的一些特性還是不太了解（jiě）的！

比如效率為針對0.3um的粒子其濃度不低於99.97%為美國的A級別高效過濾器,這句話的詳細意思其實並沒（méi）有多少人思考！

比如（rú）MPPS方法介紹的H14或（huò）者U15過濾器的測試（shì）粒子的尺寸（cùn）是什麽？

下麵的內容則是我自己以前整理的一些筆記，針對（duì）高效過濾器的一些詳細（xì）介紹。

不太懂的就看黑體字就可以（yǐ）了！！！！

1.從HEPA高效過濾器效率說起

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾（lǜ）器

最早的HEPA 的使（shǐ）用來源於美國軍方, 為MIT相關標準。其（qí）後歐洲持續優化自身規範和標準

目前國家上通（tōng）行的（de）是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中國國內大部分項（xiàng）目緊跟（gēn）的是EN1822標（biāo）準。

IEST規定對於MMD=0.3um的顆粒的整體效率不低於99.97%為高效;EN1882規定隻要在MPPS的氣溶膠下通過率大於99.95%的就可以,也就是H13以上;
EN1822
從圖中可以看到（dào）如下信息:EN1882對於局部穿透率可以是整體的5倍這當然是在MPPS 的粒（lì）徑考慮之下;
IEST描述
針對以上的兩張（zhāng）表（biǎo）格,分析如下:

1).IEST中的（de）MMD-Mass Median Diameter指的（de）是（shì）粒子質量中徑,也就（jiù）是所有的氣溶膠粒徑分（fèn）布當中50%的質量大於這個值（zhí）,50%的質量（liàng）小於這個值.

因（yīn）此（cǐ）不要認（rèn）為IEST的（de）規定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅是針對0.3um的要求.其（qí）實這個規定要求的是質量中徑在0.3um的氣溶膠群,也就是氣溶膠是單（dān）分散相或者多分散相（xiàng）的,是一個範圍（wéi）內的氣溶膠群體,而絕不是單一粒徑的0.3um的氣溶（róng）膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指（zhǐ）的是粒（lì）子尺寸中徑,也就是（shì）有50%的粒子大於這個值.50%的粒子小於這個值。MMD=0.3um的顆粒們其實它們的（de）CMD大約在（zài）0.2um.這是因（yīn）為大（dà）顆粒（lì）的粒子（zǐ）占有的數量權重（chóng）雖然小,但是質量權（quán）重很大。因此在IEST上（shàng）麵說99.97%@0.3um其實大致等同於EN1882的MPPS的顆粒直徑.這（zhè）裏也僅僅是（shì）類似，不能完全等同。

3).新版的EN1822-2009把以前的E10 E11 E12均作為HEPA的分類劃入高效係列,不（bú）同於（yú）以前的EN1822-2000;

4).MPPS到底是多少,是需要對某一種濾料（liào）,比如某一種玻璃纖維做實驗室測試的。需要至（zhì）少做5次重（chóng）複試驗。每次試（shì）驗（yàn）均要發（fā）單（dān）[準]分散相或者多分散相的粒子,布滿整體的0.1-0.5um的區間。最後用曲線做出來最低（dī）點。根據現在EN1822的統（tǒng）計,絕大部分的最易穿透的粒子粒徑在0.1um-0.25um之（zhī）間的某一個值。從商業角度（dù）而言,氣溶膠發生器或者LASKIN噴嘴噴出的氣溶膠粒徑不可能保（bǎo）證為唯一粒徑粒子,從標準差（chà）而言.σ1.5為多分散。需要注意的是這個標準差和粒徑大小沒有直接（jiē）關係，也就是計算結果和粒徑沒有關係.因此嫩草影院可以認為MPPS的（de）粒（lì）徑（jìng）大小在測試的時候不是針（zhēn）對某一個粒徑的而是針對一個區間的。這（zhè）個也就是為什麽MPPS在（zài）實際現場測試的時候要求測試一個區（qū）間範圍（wéi）內的所有粒子數量總和;同時也要說明的是不同的過濾風速下MPPS是不同的。出廠前需要明確（què）額定濾速是多（duō）少.

5).對（duì）於實際的MPPS測試（shì）,一般要求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內的（de）所有粒子總（zǒng）數。這裏所隱（yǐn）含的條（tiáo）件是氣溶膠的發塵應該正好落在這個範圍（wéi）之內,而且（qiě）粒徑的中值CMD應該正（zhèng）好等（děng）於MPPS[理想化],EN1822規定偏差不能超過10%;

2.氣溶膠發生器

氣溶（róng）膠發生器可以分為若幹（gàn）種,如（rú）熱發塵和冷發塵,異凝結發（fā）塵和同凝（níng）結（jié）發塵（chén）,在DPMS的幫助下可以保證有單分散（sàn）相粒徑發出。

壓縮空氣多分（fèn）散熱（rè）發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器 單分散（sàn）相異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發（fā）生器 單分散相（xiàng）異凝結 1.05

自由噴射凝（níng）結式氣溶膠發生器 準單分散（sàn）相自凝結 σ=1.5

氣溶膠發塵+DPMS 多分散電移過濾為單分散相 σ=1.1不穩定

從（cóng）美國的IEST可以看出他們（men）使用的是第一種和第二種,用（yòng）光度儀測試質量濃度比;而（ér）歐盟采用後（hòu）麵四種進行測試（shì），更加合理優越（yuè）。不過問題在於MPPS不可能直接測量一個粒徑值。其實是一個範（fàn）圍。很多工廠直接把0.1-0.2um之間的粒子數量（liàng）全部加起來作為MPPS的（de）數量考慮應該是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這（zhè）個（gè）範圍的（de）。

根（gēn）據EN1822-5的（de）說法,如果是采用單分散相（xiàng）粒子在測試效率的時候是（shì）不計量粒子分徑（jìng）的。直接把所有的粒子（zǐ）數量加在（zài）一起就可以作為上下遊分別的粒子計數了。但是這裏要注意的是單分散相（xiàng）也不（bú）是真正的單（dān）分散相還（hái）是有各種粒徑（jìng）分布的（de）。隻要標準差小於（yú）1.5就（jiù）可以這麽認為了。

對於多分散相就不是這（zhè）麽回事了。因為（wéi）標準差大於1.5，因此在進行測試的時候要求同（tóng）時測粒子粒徑分布和數量。需要注意的是在上下遊收集的（de）時候,在MPPS已（yǐ）經知道的（de）情況下,隻需要測量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵的全（quán）部或者部分粒子數量（liàng）即可。

舉例來說明:現在EN已經發現（xiàn）MPPS粒子一般坐落於0.1um-0.25um之間。這個範（fàn）圍的最大值與（yǔ）最小值之比為2.5.因此在EN1822-5的要求下,最好取MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或者部（bù）分。這是因為（wéi）實際的光學粒子計數器有一個測量精度問（wèn）題。大家知道（dào）的一般是測量分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以實際的（de）結果是大部（bù）分廠家或者測試方最終的計數結（jié）果0.1um-0.2um之間（jiān）的（de）總數（shù）作為計量基礎。

根據EN1822要求,最好的測量範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是規範也可以要求在mpps/2-mpps/1.5之間或者在mpps*1.5-mpps*2的分（fèn）段上任選一組作（zuò）為劑量範圍.因（yīn）此實際（jì）的測試可以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種情況下進（jìn）行計量。

考慮到實（shí）際的光學粒子分析儀,應該可以在其中三個分段裏麵任選一個並且選擇全（quán）部的粒子（zǐ）或者部分的粒子（zǐ）。到底（dǐ）怎麽選根據實際的粒子分析儀來。實際的工程結果是選擇0.1-0.2um之間的。因為大部（bù）分MPPS在0.18um的樣子（zǐ）,因此采用（yòng）第二種分段發可以在0.09um-0.27um之間選擇部分也就是0.1um-0.2um之間的值作為劑量標準。

以上（shàng）是對多分散粒子測試時候的分析與說明。

3:接收方法

一般有兩種方法。

一種（zhǒng）是用於測定質量濃度的光（guāng）度計,它不（bú）能計數。因此可以（yǐ）用在DOP方法（fǎ）測試H13和H14上麵特別是在（zài）現場的時候；

另外一種是用粒子計數器（qì）或者（zhě）粒徑分析計數器（qì）,它既（jì）可以測粒（lì）徑也可以測（cè）數量。不過需要說明的是不能認為它（tā）什麽粒徑（jìng）都能（néng）測,它一（yī）般隻（zhī）能分段測粒徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家想象的什麽（me）0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑也能分析的一清二楚. 因此實際（jì）的接收粒子MPPS是在一段粒徑之間（jiān）的。上麵已經說過了（le）。

這是因為EN1822-3對（duì）於（yú）濾（lǜ）料測試的最低MPPS的點是曲線找出來的,而不是實際測出來的。規定要求測至少六種不同（tóng）的粒（lì）徑,通過畫曲線（xiàn）的方法找到最（zuì）低點MPPS。這（zhè）種方法隻能用單分散相的粒子發生器來測試。因此其實（shí）找到的不是單一粒（lì）徑,而是一個區間;

並且在（zài）EN1822-4和EN1822-5裏麵已經要（yào）求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒徑,所（suǒ）以這更加說明了是（shì）粒子分析隻能測試出某一段粒徑之間而絕不是細到每（měi）一粒徑的（de）;

4. IEST的測試方法

對於H13和H14,IEST要求對於（yú）其測試（shì）質量濃度就可以了,而對於高要求的U15以上要求用粒子（zǐ）計數器,並且直接讀取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組（zǔ）中的更加不利的那一個數據.但是並不需要先檢測出MPPS值。

對於（yú）現（xiàn）場中的DOP檢測,很多（duō）公司使用TFI的冷（lěng）發塵,由於其屬於多分散相，因此其實導致的結果就（jiù）是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大於0.3um的要求了。因此要求現場的測試質量濃度比為99.99%@H13H14是合理的.因為這裏的（de）結果已經比0.3um為99.99%在實驗室要求低了。

對於大部分的項（xiàng）目而（ér）言,還是使用H14以上（shàng）的高效比較保險（xiǎn）。

5. EN1822測試方（fāng）法

對於H10以上的就需要測試MPPS了,對（duì）於測試方法上麵已經有說明,總體而言就是測包含MPPS的一段區間（jiān）粒徑的數量;

6:對測試結果（guǒ）的分析

由於（yú）現場測試的隻能是樣本,而且不可能全部都測.因此實際的結果分析采用了泊鬆分布的95%置信區間的結果。

參考（kǎo）資料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資料當中提到了統計學相關（guān）知識,包括泊鬆分布/95%置信區間/標準差（chà）/幾何標準差