衡水hepa高效過濾（lǜ）器（qì）

其實很（hěn）多人對於高效過濾器的了解還（hái）是停留在（zài）表麵（miàn）上（shàng）的，

比如隻知道潔淨室要安裝初效G4+中效F5+中高效F9+末端的高效H14，但是對於高（gāo）效過濾器的一些特性（xìng）還是不太了解的！

比如效率為針對0.3um的粒子其濃度不低於99.97%為美國的A級別高效過濾器,這句話（huà）的詳細意思其實並沒有多少人思考！

比如MPPS方法介（jiè）紹的H14或者U15過濾器的測試粒子的尺寸是什麽？

下麵的內容則（zé）是我自己以前整理的一（yī）些筆記，針對高效過濾器的一些詳細介紹。

不太懂的（de）就（jiù）看黑（hēi）體（tǐ）字就可（kě）以了！！！！

1.從（cóng）HEPA高效過濾器效率（lǜ）說起（qǐ）

HEPA—high efficiency particulate air為高（gāo）效過濾器

最早的HEPA 的使用來源於美國軍方, 為MIT相（xiàng）關標準。其（qí）後歐洲持續優化自身規範和標準

目前國家上通行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三（sān）大標（biāo）準。中國國內大部分項目（mù）緊跟的是EN1822標（biāo）準。

IEST規定對於MMD=0.3um的顆粒的整體效率不低於99.97%為高效;EN1882規定隻要在MPPS的氣溶膠下通過（guò）率大於99.95%的就（jiù）可以,也就是H13以上;
EN1822
從圖中可以（yǐ）看到如下信息:EN1882對於局（jú）部穿透率可以（yǐ）是整體的5倍這當然是在MPPS 的粒徑考慮之下;
IEST描述
針對以上的兩（liǎng）張（zhāng）表格,分析如下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的是粒子質量中徑,也就是所有的氣（qì）溶膠粒徑分布當中50%的質量大於這個值,50%的質量小於這個值（zhí）.

因此不要（yào）認為IEST的規定（dìng）@0.3um >=99.97% 或（huò）者@0.3um>=99.99%僅僅（jǐn）是針對0.3um的要求.其實這個規定要求的是質量中徑在0.3um的氣溶膠（jiāo）群,也就是氣溶膠是單分散（sàn）相或者多分散相的,是（shì）一個範圍內的氣溶膠（jiāo）群體,而絕不（bú）是單一粒徑的0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的（de）是粒（lì）子（zǐ）尺（chǐ）寸中徑,也就是有50%的粒（lì）子大於這個值.50%的（de）粒子小於這個值。MMD=0.3um的顆粒們其（qí）實它們的CMD大約在0.2um.這是因為大顆粒（lì）的（de）粒子（zǐ）占有的數量權重（chóng）雖然小（xiǎo）,但是質量權重很大。因此在IEST上麵說99.97%@0.3um其實大致等同於EN1882的MPPS的顆粒直徑（jìng）.這裏也僅僅是類似（sì），不能（néng）完全等同。

3).新版的EN1822-2009把以前的E10 E11 E12均作為HEPA的分類劃入高效係列,不同於以前的EN1822-2000;

4).MPPS到底是多（duō）少,是需要對某一種濾料,比如某（mǒu）一種玻璃纖維做實驗室（shì）測試的。需要至少做5次重複試驗。每次試驗均要發單[準]分散相或（huò）者多分散相的粒子,布滿整體的0.1-0.5um的區間。最後用曲線做出來最低點。根據（jù）現在EN1822的統計,絕大部分的最易穿透的粒子粒徑在0.1um-0.25um之間的某一個值。從商業角度而言,氣溶膠發生器或者LASKIN噴嘴噴出的氣溶膠粒徑不可能保證為唯一粒徑（jìng）粒子,從標準差而言.σ1.5為多（duō）分散。需要注意的是這個標準差（chà）和（hé）粒徑大小沒有直接關（guān）係，也就是計算結果和粒徑沒有關係.因此我（wǒ）們可以認為（wéi）MPPS的粒徑大小在測試的時候不是針對某一個粒徑的而是針對一個區（qū）間的（de）。這個（gè）也就是為（wéi）什麽MPPS在實際現（xiàn）場測試的時候要求（qiú）測試一個區間範（fàn）圍內的所有粒子數量總和;同時（shí）也要說明的是不同（tóng）的（de）過濾風速下MPPS是不同的。出廠前需要明確額定濾速（sù）是（shì）多少.

5).對於實際的MPPS測試,一般（bān）要求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內（nèi）的所（suǒ）有粒子總數。這裏所隱含的條（tiáo）件是（shì）氣溶膠的發塵（chén）應該正好落在這個範圍之內（nèi）,而且粒徑的中值CMD應該正（zhèng）好等於MPPS[理想化],EN1822規定偏（piān）差不能超過10%;

2.氣溶膠發生器

氣溶膠發生器可以分為若幹種,如熱發塵和冷發塵,異凝結發塵和同凝結發塵,在DPMS的幫助下可以保證有單分散相粒徑發出。

壓縮空氣多（duō）分散熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣（qì）多分散冷（lěng）發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器 單分散相異凝結（jié） 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器（qì） 單分散相異（yì）凝結 1.05

自由噴射凝結式氣溶膠發生器 準單分散相自凝結 σ=1.5

氣溶膠發塵+DPMS 多分散電移過濾為單分散相 σ=1.1不穩定

從美國的IEST可以看出（chū）他們（men）使用的是（shì）第一種和第二種,用（yòng）光度儀測試質（zhì）量濃度比（bǐ）;而歐盟采用後麵四種（zhǒng）進行測試，更加合理（lǐ）優越。不過（guò）問題在（zài）於MPPS不可能直接測（cè）量一個粒徑值。其實是一個範圍。很多工廠直接把0.1-0.2um之間的粒子數量全部加起來作為MPPS的數量考慮應該是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的。

根據EN1822-5的說法,如果是采用單分散相粒子（zǐ）在測（cè）試效率（lǜ）的時候是（shì）不計量粒子分徑的。直接把所有的粒子（zǐ）數量加在一起就可以作為上下遊分別的粒子（zǐ）計數了。但是這（zhè）裏要注意的是單分散相也不是（shì）真正的（de）單分散相還是有各種粒徑分布的。隻要標準差小於1.5就（jiù）可以這麽認為了。

對於多分散相就不是這麽回（huí）事了。因為標準差大於1.5，因此在進行測試的時候要求同（tóng）時測粒子粒徑分布和數量。需要注意的是在上（shàng）下遊收集的時候,在MPPS已經知道的情況下,隻需要測量（liàng）MPPS/2-MPPS*2分段裏麵的全部或者部分粒（lì）子數量即可。

舉例（lì）來說明:現在EN已經發現MPPS粒子一般坐落於0.1um-0.25um之間。這個範圍的最大值與最小值之比為2.5.因（yīn）此在（zài）EN1822-5的要求下,最好取MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或者部分。這是因（yīn）為實（shí）際（jì）的光學粒子計數器有一個測量精度問題。大家知道的一般是測（cè）量分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以實際的結果是大部分廠家或者測試方最終的（de）計數（shù）結果0.1um-0.2um之間的（de）總數作為計量基礎。

根據EN1822要求,最（zuì）好的（de）測量範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是規範也可以要求在mpps/2-mpps/1.5之間或者在mpps*1.5-mpps*2的分段上任選一組作為劑量範（fàn）圍.因此實際的測試可以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三（sān）種情況下進行（háng）計量。

考慮到實際的光學粒子分析儀,應該可以在（zài）其中三個分段裏麵任選一個並且選擇全部的粒子或（huò）者部分的粒（lì）子。到底怎麽選根據（jù）實際的粒子分析儀來。實際的工（gōng）程結（jié）果是選擇0.1-0.2um之間的。因為大部分MPPS在0.18um的樣子,因此采（cǎi）用第（dì）二（èr）種分段發可以在0.09um-0.27um之間選擇部分也就是0.1um-0.2um之間的值作為劑量標準。

以上是對多分散粒（lì）子測（cè）試時候的（de）分析與說明。

3:接收方法

一般有兩種方法。

一種是用於測定質量濃度的光度計（jì）,它不能計數。因（yīn）此可以用在DOP方法測試（shì）H13和H14上（shàng）麵特別是（shì）在現（xiàn）場的時候；

另外一種是用粒子計數器或（huò）者（zhě）粒徑分析計數器,它既可以測粒徑也可以測數量。不過需（xū）要說明的是不能認為它什麽粒徑都能測,它一（yī）般隻能分段測粒徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家想象的什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的（de）粒徑也能分析的一清二楚. 因此實際（jì）的接收粒子MPPS是在一（yī）段粒徑之間的。上麵已經說過了。

這（zhè）是因（yīn）為（wéi）EN1822-3對（duì）於濾料測試的最低MPPS的點是曲線找出來的,而不是實（shí）際（jì）測出來的。規定要求測（cè）至少六種不同（tóng）的粒徑（jìng）,通過畫曲線的方法找到最低點MPPS。這種方法隻能用單分散相的粒子發生器來測試（shì）。因（yīn）此其實找到的不是單一粒徑,而是一個區間;

並且在EN1822-4和EN1822-5裏麵已經要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的（de）粒徑,所以這（zhè）更加說明了是粒子分析隻能測試出某一段粒徑之間而絕不是細到每一粒徑（jìng）的;

4. IEST的測試方法

對於H13和（hé）H14,IEST要求對於其測試質量濃度就可以了,而對於高要求的U15以上要求（qiú）用粒子計數器,並且直接讀取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組中的更加不利的（de）那（nà）一個數據.但是並不需要先檢測出MPPS值。

對於現場中（zhōng）的DOP檢測,很多公（gōng）司（sī）使（shǐ）用TFI的冷發塵,由於其（qí）屬（shǔ）於（yú）多分散相，因此（cǐ）其實導致的結果就是CMD在0.4um,MMD在（zài）0.7um,已經大（dà）於0.3um的要求了（le）。因此（cǐ）要（yào）求現場的測試質量濃度比為99.99%@H13H14是合理的.因為這裏的（de）結果已經（jīng）比0.3um為99.99%在實驗室要求低了。

對於大部分的項目而言,還是使用H14以上的高（gāo）效比較保險。

5. EN1822測試方法（fǎ）

對於H10以上的就需要測試MPPS了,對於測試方法（fǎ）上麵已經有說明,總體而言就（jiù）是測包含（hán）MPPS的一段區間粒徑的數量;

6:對測試結果的分析

由於現場測（cè）試的隻能是樣本,而且不可（kě）能全部都（dōu）測.因此實際的結果分析采用了泊鬆分布的95%置信區間（jiān）的結果。

參考（kǎo）資料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資料當中提到了統計學相關知識,包括泊鬆分布/95%置（zhì）信區間/標（biāo）準差/幾何標準差