呼和浩特hepa高效過濾（lǜ）器

其實很多人對於（yú）高效（xiào）過濾器的了解還是停留在表麵上的，

比如隻知道潔淨室要安裝初（chū）效G4+中效F5+中高效F9+末端的高效H14，但是對（duì）於高（gāo）效過（guò）濾器的一些特（tè）性（xìng）還是不太了解的！

比如效率為針對0.3um的粒子其濃（nóng）度不低（dī）於99.97%為美國的A級別（bié）高效過濾器,這句話的詳細意思其實並沒有多少人（rén）思（sī）考！

比如MPPS方法介紹的H14或者U15過濾器的測試粒子的尺寸是什麽？

下麵的（de）內容則是我自己以前整理（lǐ）的一些筆記，針對高效過濾器的一些詳細介紹。

不太懂的就看黑體字就可以了！！！！

1.從HEPA高效過濾器效率說起

HEPA—high efficiency particulate air為高（gāo）效過濾器（qì）

最早的HEPA 的使用來源於美國軍（jun1）方, 為MIT相關標（biāo）準。其後歐洲持續優化自身（shēn）規範（fàn）和標準

目前國家上通行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中國（guó）國內大（dà）部分項目緊跟的是EN1822標準。

IEST規定對於MMD=0.3um的顆粒的整體效率（lǜ）不低於99.97%為高效;EN1882規定隻要在MPPS的氣溶膠下通過率大於99.95%的就可以,也就是H13以上;
EN1822
從圖中可以看到如下信息:EN1882對於局部穿透率可以是整體的5倍這（zhè）當然是在MPPS 的粒徑考（kǎo）慮之下;
IEST描述
針對以上的兩張表格,分析如（rú）下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的是粒子質量中徑,也就是所有（yǒu）的氣溶膠粒徑分布當中50%的質量大於這個值,50%的質量小於這個（gè）值（zhí）.

因此不要認為IEST的規定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅是針對0.3um的（de）要求.其實這（zhè）個規定要求的是質量中徑在0.3um的氣溶膠群,也就是氣溶膠是單分散（sàn）相或者多分散（sàn）相的（de）,是一個（gè）範圍內的氣溶膠群體,而絕不是單一粒徑的0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子尺寸中（zhōng）徑,也就是有50%的（de）粒子大於這個值.50%的粒子小於（yú）這個值。MMD=0.3um的顆粒們其實它們的CMD大約在0.2um.這（zhè）是因為大顆粒的粒子占有的數（shù）量權重雖然小,但是質（zhì）量權重很大。因此在IEST上麵說99.97%@0.3um其實大（dà）致等同於EN1882的MPPS的顆（kē）粒直徑.這裏也僅僅（jǐn）是類似，不能完全等同。

3).新版的EN1822-2009把以前的E10 E11 E12均（jun1）作為HEPA的分（fèn）類劃入高效（xiào）係列,不同於以前的EN1822-2000;

4).MPPS到底（dǐ）是多少,是需要對某一種濾料,比如某一種玻璃纖維做實驗室測試的。需要至少做5次重複試驗。每次試驗均要發單[準（zhǔn）]分散相或者多分散相的（de）粒子,布滿整體的0.1-0.5um的區間。最後用（yòng）曲線做出來最低點。根據現在EN1822的（de）統計,絕大部分的最易穿透的粒子粒徑在0.1um-0.25um之（zhī）間的某一個值。從商業角度而言,氣溶膠發生器或者LASKIN噴嘴噴出的氣溶膠粒徑（jìng）不可能保證為唯一粒徑粒子,從標準差而言.σ1.5為多分散。需要注意的是這個標準差和粒徑大小沒有直接關係，也就（jiù）是計算（suàn）結果和粒徑沒（méi）有（yǒu）關係.因此嫩草影院可以認為MPPS的粒徑大小在測（cè）試的時候不是針對某一（yī）個粒徑的而是針對（duì）一個區間的。這個也（yě）就是為什麽MPPS在實際現場測試的時（shí）候要求測試一個區間範圍內的所有粒子（zǐ）數量總和;同時（shí）也要說明的是不同的過濾風速下MPPS是不同的。出廠前需要（yào）明（míng）確額定濾（lǜ）速是（shì）多少.

5).對於實際（jì）的MPPS測試,一般要求收（shōu）集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內（nèi）的所有粒子總數。這裏所隱（yǐn）含的條件是氣（qì）溶膠的發塵應該正好落在這（zhè）個範圍之內,而且粒徑的（de）中值CMD應該正好等（děng）於MPPS[理想化],EN1822規定偏差不能超過10%;

2.氣溶膠發生器

氣（qì）溶膠（jiāo）發生器可以分為若幹種,如（rú）熱（rè）發塵和冷（lěng）發塵,異凝結發塵（chén）和同凝結發塵,在DPMS的幫助下可以保證有單分散相粒徑發出。

壓（yā）縮空氣多分散（sàn）熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器 單分散相異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器（qì） 單分散相（xiàng）異凝結 1.05

自由（yóu）噴射（shè）凝結（jié）式氣溶膠（jiāo）發生器（qì） 準單（dān）分散相自凝結 σ=1.5

氣溶膠發塵+DPMS 多分散電移過濾為單（dān）分散相 σ=1.1不穩定

從美國的（de）IEST可以看出他們使用的是第一種（zhǒng）和第二種（zhǒng）,用光度儀測試（shì）質量濃度比;而歐盟采用後麵四種進行測試，更加合理優（yōu）越。不過問題在於MPPS不可能直接（jiē）測量一個粒徑值。其實是一個範圍。很多工廠直接把0.1-0.2um之間（jiān）的粒子數量全部加起來作為MPPS的數量考慮應該是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的。

根據EN1822-5的說法,如果是采用單分散相粒子在測試效（xiào）率的時候是不計量（liàng）粒子分徑（jìng）的。直接把所有的粒子數量（liàng）加在一起就可以作為上下遊分別的粒子計數了。但是這裏（lǐ）要注意的是單分散相也不是真正的單分（fèn）散相還是有（yǒu）各種粒徑分布的。隻要（yào）標準差小於1.5就可以這麽認為了。

對於多分散相就不是這麽回事了。因為標準（zhǔn）差大於1.5，因此在進行測試的時候要求同時測粒子粒徑（jìng）分布和數量（liàng）。需（xū）要注意的是在上下遊（yóu）收（shōu）集的時候,在MPPS已經知（zhī）道的情況下,隻需要測量MPPS/2-MPPS*2分段（duàn）裏麵（miàn）的全（quán）部（bù）或者部（bù）分（fèn）粒子數量（liàng）即可。

舉例來說明:現在EN已經發現MPPS粒子一般坐落於0.1um-0.25um之間。這個範圍的最大值與最小值之比為2.5.因此在EN1822-5的要求下,最好取MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或者部分。這（zhè）是因為實際（jì）的光學粒子計數器有一個測量精度問題。大家知道的一般是測量分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以實際的結果是大部分廠家（jiā）或者測試方最終的計數結果0.1um-0.2um之間的總數（shù）作為計量基礎。

根據EN1822要求,最好（hǎo）的測量範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是規（guī）範也可以要求在（zài）mpps/2-mpps/1.5之間或（huò）者（zhě）在（zài）mpps*1.5-mpps*2的分段上任選一組作為劑量範圍（wéi）.因此實際的測試可以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種情況下進行計量。

考慮到實際的光學粒子（zǐ）分（fèn）析儀,應該可（kě）以在其中三個分段裏麵任（rèn）選一個並且選擇全部的粒子或者部分（fèn）的粒子。到底怎麽選根據實際的粒子分析儀來。實（shí）際的工（gōng）程結果是選擇0.1-0.2um之間的。因為大（dà）部分MPPS在0.18um的樣子,因此采用第二種分段發可以在0.09um-0.27um之間選擇部分（fèn）也就是0.1um-0.2um之間的值作為（wéi）劑量標準。

以上是（shì）對多分散粒（lì）子測試時候的分析與說明。

3:接收方法

一般（bān）有兩種（zhǒng）方法。

一種是（shì）用於測定質量濃度的光度計,它不能計數（shù）。因此（cǐ）可以用在DOP方法測試（shì）H13和H14上麵特別是在現場的時（shí）候；

另外一（yī）種是用粒子計數器或者粒徑分析計數（shù）器,它既可以測粒徑也可以測數量。不過需要說明的是不能（néng）認為它什（shí）麽粒徑都能（néng）測（cè）,它一般（bān）隻能分段測粒（lì）徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而（ér）不是大家想象的什麽（me）0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑也能分析的一清二楚. 因此實際的接收粒子MPPS是在一段粒徑之間的。上（shàng）麵已（yǐ）經說（shuō）過了。

這（zhè）是因為EN1822-3對於（yú）濾料測試的最低MPPS的點是曲線找出來的,而不（bú）是實際測出（chū）來的（de）。規定要求測至少六種不（bú）同的（de）粒徑,通過畫曲線的方法找到最低點MPPS。這種（zhǒng）方法隻能用單分散相的粒子發生（shēng）器來測試。因此（cǐ）其實找（zhǎo）到的不是單一粒徑（jìng）,而是一個區間;

並且在EN1822-4和EN1822-5裏麵已經要求（qiú）了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的（de）粒徑,所以這更加說明了是（shì）粒子分析（xī）隻能（néng）測試（shì）出某一（yī）段粒徑之（zhī）間而絕不是細到每一粒徑的;

4. IEST的測試方法

對（duì）於H13和H14,IEST要（yào）求對於其測試質量濃度就可以了,而對於高要（yào）求的U15以上要求用（yòng）粒子計數器,並（bìng）且直接（jiē）讀取0.1um-0.2um或者（zhě）0.2um-0.3um兩組中的更加不（bú）利（lì）的那一個數據.但是並不需要先檢測出MPPS值。

對於現場中（zhōng）的DOP檢測,很多公司使用TFI的冷發塵,由於（yú）其屬於多（duō）分散相，因此其實導致的結果（guǒ）就是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大於0.3um的要求了。因此要求（qiú）現場的測試質量濃度比為99.99%@H13H14是合（hé）理的.因為這（zhè）裏的結果已經比0.3um為99.99%在實驗室要求低了（le）。

對於（yú）大部分的項目而言,還是使用H14以上的高效比較保險。

5. EN1822測試方法

對於H10以（yǐ）上的（de）就需要測試MPPS了,對於測試方法上麵已（yǐ）經有說明,總體而言（yán）就是測包含MPPS的一段區間（jiān）粒徑的數量;

6:對測試結果的（de）分析（xī）

由於現場測（cè）試的隻能是樣本,而且不可能全部都測（cè）.因此實際（jì）的結果分析采用了泊鬆分布的95%置信區間的結果（guǒ）。

參考資料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資料當中提到了統計學相關知識,包括泊鬆分布/95%置信區間/標準差/幾何標（biāo）準差