茂名hepa高效過濾器

其實很多人對於高效過濾器的了解還是（shì）停留在表麵上（shàng）的，

比如隻知道潔淨室要安裝初效G4+中效F5+中高效F9+末端的高效H14，但是對於高效過濾器（qì）的一些特（tè）性還是不（bú）太了解的！

比如效率為針對0.3um的粒子其濃度（dù）不低於99.97%為美國的A級別高效過濾器,這句話的詳細意思其實並沒有多少人思考！

比如MPPS方法介紹的H14或者U15過濾器的測試粒（lì）子的尺寸是什麽？

下麵的內容則是我自己以前（qián）整理的一些筆記（jì），針對高效（xiào）過濾器的一些詳細介紹。

不太懂的（de）就看（kàn）黑體字就可以（yǐ）了！！！！

1.從HEPA高效過濾器效率（lǜ）說（shuō）起

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾（lǜ）器

最早的HEPA 的使用來源於美國軍方, 為MIT相關標準。其後歐洲持續優化自身（shēn）規範和（hé）標準

目前（qián）國家上通行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中國國（guó）內大部分項目緊跟（gēn）的是EN1822標準（zhǔn）。

IEST規（guī）定對（duì）於MMD=0.3um的顆粒的整體效（xiào）率不低（dī）於99.97%為高效;EN1882規定隻要在MPPS的氣溶膠下通過率大於（yú）99.95%的就可以,也就是H13以上;
EN1822
從圖中可以看到如下信息:EN1882對於局部穿透率可以是整體的（de）5倍這當（dāng）然是在MPPS 的粒徑考慮之下;
IEST描述
針（zhēn）對以上的兩張表格,分析如下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的是粒子質量中徑,也就（jiù）是所（suǒ）有的氣溶（róng）膠粒徑分布當中50%的質量大於這個值,50%的質量小於這個（gè）值.

因此不要認為IEST的規（guī）定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅是針對0.3um的要求.其實這個規定要求的是質（zhì）量中徑在（zài）0.3um的氣溶膠群,也就是氣溶膠是單分散相或者多（duō）分散相的,是一個（gè）範圍內的氣溶膠群體,而絕不是單一粒徑的0.3um的（de）氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子尺寸中徑,也（yě）就是有50%的粒子大於這個值.50%的粒子小（xiǎo）於這個值。MMD=0.3um的顆粒們其實它們的CMD大約在0.2um.這是因為大顆粒的粒子占有的（de）數量權重雖然小,但是質量權重很大。因此在IEST上麵說99.97%@0.3um其實大致等同（tóng）於EN1882的MPPS的顆粒直徑.這裏也僅僅是類似，不能完全等同。

3).新版的EN1822-2009把以前的E10 E11 E12均（jun1）作為HEPA的（de）分類劃入高效係列,不同於以前的EN1822-2000;

4).MPPS到底是多少,是需要（yào）對某一種濾料,比如某一種玻璃纖維做實驗室測試的。需要至（zhì）少做5次重複試驗（yàn）。每（měi）次試驗均要發單[準（zhǔn）]分散相或者多分散相的粒子,布滿整體的0.1-0.5um的區間。最後用曲線（xiàn）做出來最低點。根據（jù）現在EN1822的統計,絕大部（bù）分的最易穿透的粒子粒徑在0.1um-0.25um之間的某一個值。從商業角度而言,氣（qì）溶膠（jiāo）發（fā）生器或者LASKIN噴嘴噴出的氣（qì）溶膠（jiāo）粒徑不可能保證為唯一粒徑粒子,從標（biāo）準差而言.σ1.5為（wéi）多分散。需要注意（yì）的是（shì）這個標準差和粒徑大小沒有直接關係，也就是計算結果和（hé）粒徑沒有關係（xì）.因此嫩草影院可以認為MPPS的粒徑大小在（zài）測試的時候不是針對某一個粒徑的（de）而是針對一個區間的。這個也就是為什麽MPPS在實際現場測試的時候要求測試一個區間範圍內的所有粒子數量總和;同時也要說明（míng）的是不同的過濾風速下MPPS是不同的。出廠前需要明確額定濾（lǜ）速是多少.

5).對於實際的MPPS測試（shì）,一般（bān）要求收（shōu）集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內的所有粒子總數（shù）。這裏（lǐ）所隱含的（de）條件是氣溶膠的發塵應該正（zhèng）好落在這個範圍之內,而且粒徑的中值CMD應該正好等於（yú）MPPS[理想化],EN1822規定偏差不（bú）能超過10%;

2.氣溶（róng）膠發生器

氣溶膠發生器可以分為若幹種,如熱發塵和冷發塵,異凝結（jié）發塵和同凝結發塵,在DPMS的幫助下（xià）可（kě）以保證有單分散相粒徑發出。

壓縮空氣多分散熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器 單分（fèn）散相異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生（shēng）器 單分散相異凝結 1.05

自由噴射凝結式氣（qì）溶膠發生器 準單分散相自凝結 σ=1.5

氣溶膠發塵+DPMS 多分散電移過濾為單分散相（xiàng） σ=1.1不穩（wěn）定

從美（měi）國（guó）的IEST可以（yǐ）看出他們使用的是第一種和第（dì）二種,用光度儀測試質量濃度比;而歐盟采用後麵四種進行測試，更加合理優越。不過問題在於MPPS不可能直接測量一個粒徑值。其實是一個範圍（wéi）。很多工廠直接把0.1-0.2um之間的粒子數量全部加起來作為（wéi）MPPS的數量考慮應該（gāi）是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的。

根據EN1822-5的說法,如果是采用單分散相粒子在測試效率的時候（hòu）是（shì）不計量粒子分徑的。直接（jiē）把所有的粒子數量加在一起就可以作為上下遊分別的粒子計（jì）數了。但是這（zhè）裏要注意的是單分散相也不是真正的單分（fèn）散相還是有各種粒徑分布的。隻要標（biāo）準差小於1.5就（jiù）可（kě）以這麽認為了。

對於多分散相就不是這麽回事了。因為標準差大於1.5，因此在進行測試的時候要求同時測粒子粒徑分布和（hé）數量。需（xū）要注意的是在上下遊收集的（de）時（shí）候,在MPPS已經知道的情況下,隻需要測量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵的全部或者部分粒子數量即可。

舉（jǔ）例來說明:現在（zài）EN已經發現MPPS粒子一般坐落於0.1um-0.25um之間（jiān）。這個範（fàn）圍的最大值與最（zuì）小值之比為2.5.因此（cǐ）在EN1822-5的要求下,最好取MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或者部分。這是因為實際的光學粒子計數器有一個測量精度問題。大家知道的一般是測量分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以實際的結果是大部分廠家或者測試方最終的計數結果0.1um-0.2um之間的總數作為計（jì）量基礎。

根據EN1822要求,最好的測量範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是規範也可以要求在mpps/2-mpps/1.5之（zhī）間或者在mpps*1.5-mpps*2的（de）分段上任選一組作為劑量範圍.因此實際的測試可以在（zài）

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這（zhè）三種情況下進（jìn）行計量。

考慮到實際的光學粒子分析儀,應該可以在其中三個分段裏麵任選一個並且選擇全部的粒子或者部分的粒子。到底怎麽選根據實際的粒子分析儀來。實際的工程結果是選（xuǎn）擇0.1-0.2um之間的。因為大部分MPPS在0.18um的樣子,因此采用第（dì）二種分段發可（kě）以在0.09um-0.27um之間選（xuǎn）擇部分也就（jiù）是（shì）0.1um-0.2um之間（jiān）的值作為劑量標準。

以上是對多分散粒子測試（shì）時候的（de）分析與說（shuō）明。

3:接收方法

一般有（yǒu）兩種方法。

一種是用（yòng）於測定質量濃度的光度計（jì）,它不能計數。因此可以用在DOP方法測（cè）試H13和H14上麵特別是在現場的時（shí）候；

另外一種是用粒（lì）子計數器或者粒徑分析計數器,它既可以測粒徑也可以測數量。不過需要說明的是不能認（rèn）為它（tā）什（shí）麽粒徑都能測,它一般隻能分段測粒徑。比如（rú）0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家想象的什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑也能分析的一清二（èr）楚（chǔ）. 因此實際的接收粒子MPPS是在一段粒徑之間的。上（shàng）麵已經說過了。

這是因為EN1822-3對於濾料測試的最低MPPS的點（diǎn）是曲線找出來的,而不是實際測出來的。規定要求測至（zhì）少六（liù）種不同的粒徑,通過畫曲線的方法找到最低點MPPS。這種方法隻能用單分散相的粒子發生器來測試（shì）。因此其實找到的不是單一粒徑,而是一（yī）個區間;

並且在EN1822-4和EN1822-5裏麵已經要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒徑,所以這更加說（shuō）明了是粒子分析隻能測試出某（mǒu）一段粒徑之間而絕不（bú）是細到每一粒徑的;

4. IEST的測試方法

對於H13和H14,IEST要（yào）求對於其測試質量濃度就可（kě）以了,而對於高要（yào）求的U15以上要求用粒子計數器,並且直接讀取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組中的更加不利的那一個數據.但是（shì）並不需要先檢測出MPPS值（zhí）。

對於現場中的（de）DOP檢測,很多公司使用TFI的冷發塵,由於其屬於多分散相，因此其實（shí）導致的結果就是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大於0.3um的（de）要求了。因此要求現場的（de）測試質量濃（nóng）度比為99.99%@H13H14是合理的.因為這裏的結果已經比0.3um為99.99%在實驗室要求低了。

對於大部分（fèn）的項目而言,還是使用H14以上的高效比較保險。

5. EN1822測試方法（fǎ）

對於H10以上的就需要測試MPPS了,對於測試方法上麵已經有說明,總體（tǐ）而言就是測包含MPPS的一段區間粒（lì）徑的數量;

6:對測試結果的分析

由於現場測試的（de）隻能是樣本,而且不可能全部都測.因此實際的結果分析采用了泊鬆分布的95%置（zhì）信區間的結果。

參考資料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並（bìng）且在資料當中提到了統計學相（xiàng）關知識,包括泊鬆分布/95%置信區間/標準差/幾何標準差