屯昌縣hepa高效過濾器

其（qí）實很多人對於高效（xiào）過（guò）濾器（qì）的了解還（hái）是停留在表麵上的，

比如隻知道潔淨室要安裝初效G4+中效F5+中高效F9+末端的高效H14，但是對於高效過濾器的一（yī）些特性還是不太了解的！

比如效率為針對0.3um的粒子其濃（nóng）度不低於99.97%為美國的A級別高效（xiào）過濾器,這句話的詳細意（yì）思其實並沒有多少人思考！

比（bǐ）如MPPS方法介紹的H14或者U15過濾器的測試粒子的尺寸是什（shí）麽？

下麵的內容則是我自己以前整理的一些筆記，針對高效過（guò）濾器的一些詳細介紹。

不太懂的就看（kàn）黑體字就可以了！！！！

1.從HEPA高效過濾器效率（lǜ）說起

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾器

最早的HEPA 的使用來（lái）源於美國軍方, 為MIT相關標準。其後歐洲持續優化自身規範和標準

目前國家上通（tōng）行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中國國內大部（bù）分項目緊跟的是EN1822標準。

IEST規定對於MMD=0.3um的顆（kē）粒的整體效率不低於99.97%為高（gāo）效;EN1882規定隻要在MPPS的氣溶膠下通過率（lǜ）大於99.95%的就可（kě）以,也就是H13以上;
EN1822
從圖（tú）中可（kě）以看到如下信息:EN1882對（duì）於（yú）局部穿透率可（kě）以是（shì）整體的5倍這當然是在MPPS 的粒徑（jìng）考慮之下;
IEST描述
針對以上的兩張表格,分析如下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的是粒子質量中徑,也就是所有的氣溶膠粒徑分布當中50%的質量大於這個值,50%的質量小於這個（gè）值.

因此不要認為IEST的規定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅（jǐn）僅（jǐn）是針對0.3um的要求（qiú）.其（qí）實這（zhè）個規定要（yào）求的是質量中徑在0.3um的氣溶膠群,也（yě）就是氣溶膠是單分散相或者多分散相的,是一個範圍內的氣（qì）溶膠群體,而絕不是單一粒徑的0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指（zhǐ）的是粒子（zǐ）尺（chǐ）寸中徑,也（yě）就是有50%的粒子大於這（zhè）個值.50%的粒子小於這個值。MMD=0.3um的顆粒們其實它們的CMD大約在0.2um.這是因為大顆粒的粒（lì）子占有的數量權重雖然小,但是質量權重很（hěn）大（dà）。因此在IEST上麵說99.97%@0.3um其實大致等（děng）同於EN1882的MPPS的顆粒直（zhí）徑.這裏也僅僅是類似，不能完全等同（tóng）。

3).新版的EN1822-2009把以（yǐ）前的E10 E11 E12均作為（wéi）HEPA的分（fèn）類劃入高效係列,不同於以前的EN1822-2000;

4).MPPS到底是多少,是需要對某一種濾料,比如某一種玻（bō）璃纖維做實驗室測試的。需要至少做5次重複試驗。每次試驗均要發單[準]分散相或者多分散相的粒子,布滿整體的0.1-0.5um的區間。最後用曲線做出來最低點。根據現（xiàn）在EN1822的統計,絕大部分的最易穿（chuān）透的粒（lì）子粒徑在0.1um-0.25um之間的某一個值。從商業角度而言,氣溶膠發生器或者LASKIN噴嘴噴（pēn）出的氣溶（róng）膠粒（lì）徑不可能保證（zhèng）為唯一粒徑粒子,從標準差而言.σ1.5為多分散。需要注（zhù）意的是這個標準（zhǔn）差（chà）和粒徑大小沒有直接（jiē）關係，也（yě）就是計算結果和粒徑沒有關係.因此（cǐ）嫩草影院可以認為MPPS的粒徑大小在測試的時候不（bú）是針對某一個粒徑的而（ér）是針對一（yī）個區間的。這（zhè）個也就是為什麽MPPS在實際現場測試的（de）時候要求測試一個區間範圍內的所有粒（lì）子數量總和;同時也要說明的是不同（tóng）的過濾風（fēng）速下MPPS是不同的。出廠（chǎng）前（qián）需要明確額定濾速是多少.

5).對（duì）於實際的MPPS測試,一般要求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內的所有粒子總數。這裏所隱含的條件是氣溶膠的發塵應該正好落在這個範圍之內,而且（qiě）粒徑的中值CMD應該（gāi）正（zhèng）好等於MPPS[理想化],EN1822規定偏差不（bú）能超過10%;

2.氣溶膠發生器

氣（qì）溶膠發生器可以分為若幹種,如熱發塵和冷發塵,異凝結發塵和同凝結發塵,在DPMS的幫助下可以保證有單分散相粒徑發出。

壓縮空氣多分散熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器 單分散相（xiàng）異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單（dān）分散相異凝結 1.05

自由噴射凝結式氣溶膠發生器 準單分散相自凝結（jié） σ=1.5

氣溶膠發塵+DPMS 多分散電移過濾（lǜ）為單分散（sàn）相 σ=1.1不穩定

從（cóng）美國的IEST可以看出他們使用的是第一種和第二種,用光度儀測（cè）試質量濃度比;而歐盟采（cǎi）用後麵四種進行測試，更加合理優越。不過問題在於（yú）MPPS不可能（néng）直接測量一個粒徑值。其實是一個範圍。很（hěn）多工廠直接把0.1-0.2um之間的粒子數（shù）量全部加起來作為MPPS的數量考慮應該是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的。

根據EN1822-5的說法,如果是采用單分散相粒子在測試效率的（de）時候是不計量粒子分徑的。直接把所（suǒ）有的粒（lì）子數量加在一起就可以作為上下遊分別的粒子（zǐ）計數了。但是（shì）這裏要注意的是單分（fèn）散相也不是真正的單分散相還是有各種粒徑分布（bù）的。隻要（yào）標準差（chà）小於1.5就可以（yǐ）這麽認為了。

對於多分散相就不是這麽回事了。因為標準差大於1.5，因此在進行測試的時候要求同時測粒子粒徑分布和數量。需要注意的（de）是在上下遊收集的時（shí）候,在MPPS已經知道（dào）的（de）情（qíng）況下,隻需要測量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵的（de）全部或者部分粒子數量即可（kě）。

舉例來說明:現在EN已（yǐ）經發現MPPS粒子一般（bān）坐落於0.1um-0.25um之間。這個範圍的（de）最大值與最小值之比為2.5.因此在EN1822-5的要求下,最好取MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或者部分。這是因為實際的光學粒子計數器有一個測量精（jīng）度問題。大家知道的一般是（shì）測量分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等（děng）等。所以實際的結果是大部分廠家或者測試方最終的計數結果0.1um-0.2um之間的總數作為計量基礎（chǔ）。

根據EN1822要求,最好的測量範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之（zhī）間。但是（shì）規範也可以要求在mpps/2-mpps/1.5之間或者在mpps*1.5-mpps*2的分段上任選一組作為（wéi）劑量範圍.因此實際的測試可以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種情況下進行計量。

考慮到實（shí）際的光學（xué）粒子分析儀,應該可以在其中三個分（fèn）段裏麵任選一個並（bìng）且選擇全部的粒（lì）子或者部分的粒子。到底怎麽（me）選根據（jù）實際的粒子分析儀來。實際的工程結果（guǒ）是選擇0.1-0.2um之間的。因為大部分MPPS在0.18um的樣子,因此采用第二種分段發可以在0.09um-0.27um之間選擇部分也就是（shì）0.1um-0.2um之（zhī）間的（de）值作為劑量標準。

以上是對多分散（sàn）粒子測試時候（hòu）的分析與說明。

3:接收方法

一（yī）般有兩種方法。

一種是用於測定質（zhì）量濃度（dù）的光度計,它不能計數。因此可（kě）以用在DOP方法測試H13和H14上麵特別是在現場的時候；

另外一種是用粒子計數器或（huò）者粒徑分析計數器,它既可以測粒徑也可以測數量。不過需要說（shuō）明的（de）是不能認為它什麽粒徑都能測,它一般隻能分段測粒徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家想象的什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑也能分析的一清二楚（chǔ）. 因此實際的接收粒子MPPS是在一段粒徑之間的。上麵已（yǐ）經說過了。

這是因為EN1822-3對於濾料測試的最低MPPS的點是曲線找出來的,而不是實際（jì）測出來的。規定要求測至少六種不同的粒徑,通過畫曲線的方法找（zhǎo）到最低點MPPS。這種方法隻能用單分散相的粒（lì）子發生（shēng）器來測試。因此其實找（zhǎo）到的不是單一粒徑,而是（shì）一（yī）個區間（jiān）;

並且在EN1822-4和EN1822-5裏麵已經要求（qiú）了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒徑,所以這更加說明了是粒子分析隻能測試出（chū）某一段粒徑之間而絕不是細到每一粒徑的;

4. IEST的測試方法

對（duì）於H13和H14,IEST要求對於其測試質量濃度就（jiù）可以了,而對於高要求的U15以上要求（qiú）用粒（lì）子計（jì）數器,並且直接（jiē）讀取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組（zǔ）中的更加不利的那一個數據.但是並不需要先檢測出MPPS值。

對於現場（chǎng）中（zhōng）的（de）DOP檢測（cè）,很多公司使用TFI的冷發塵,由於其屬（shǔ）於多分散（sàn）相，因此其（qí）實導致（zhì）的結果就是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大於0.3um的要求了。因此要求現（xiàn）場的測試質量濃度比為99.99%@H13H14是合理的.因為這裏的結果已經比0.3um為99.99%在實驗室要求低了。

對於（yú）大（dà）部分的項目而言,還是使用H14以上的高效（xiào）比較保險。

5. EN1822測試方法

對於H10以（yǐ）上的就需（xū）要測試MPPS了,對於測試方法上麵已（yǐ）經有說明,總體而言就是測包（bāo）含MPPS的一段區間（jiān）粒徑的數量;

6:對測（cè）試結果（guǒ）的（de）分析

由（yóu）於現場測試的隻能是樣本,而且不可能全部都測.因此實際的結果分析采用了泊鬆分布的95%置信區間的結果。

參考資料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資料當中提到了統計學相關知識,包括泊鬆分布/95%置信區間/標準（zhǔn）差/幾何（hé）標準差