湘潭hepa高效過濾器

其實很多（duō）人對於（yú）高效過濾（lǜ）器的了解還是停留在（zài）表麵上的，

比如隻知道潔淨室（shì）要安裝初效G4+中效F5+中高效F9+末端（duān）的（de）高（gāo）效H14，但是對於高效過濾器的一些（xiē）特性還是不太了解（jiě）的（de）！

比如效率為針對0.3um的粒子其濃度不（bú）低於（yú）99.97%為美國的A級別高效過濾器,這句話的詳細意思其（qí）實（shí）並沒有（yǒu）多少人思考！

比如MPPS方法介紹的H14或者U15過濾器的測試粒子的尺寸是什麽？

下（xià）麵（miàn）的內容則（zé）是（shì）我自己以前整理的一些（xiē）筆（bǐ）記，針（zhēn）對高（gāo）效過濾器的一些詳細介紹。

不太（tài）懂的就看黑體字就可以了！！！！

1.從HEPA高效過濾器效率說起

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾器

最早的HEPA 的使用來源於美國軍方（fāng）, 為MIT相關標準。其後歐洲持（chí）續優化自身規範和標準

目前國家上通行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中國國內大部分項目（mù）緊跟的是EN1822標準。

IEST規定對於MMD=0.3um的顆粒的整體效率不低於99.97%為高效;EN1882規定隻要在MPPS的氣溶膠下通過率大於99.95%的就可以,也就（jiù）是H13以上;
EN1822
從圖中可以看到如下信息:EN1882對於局部穿透（tòu）率可（kě）以是（shì）整體的（de）5倍（bèi）這當然是在MPPS 的粒徑考慮之下;
IEST描述
針對以上的兩張表格,分析如下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的是粒子質量（liàng）中徑,也就是所有的氣（qì）溶膠粒徑分布當中50%的質量大於這個值,50%的質量小於這個值.

因此不（bú）要認為IEST的規定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅是針（zhēn）對（duì）0.3um的要求.其實這個規定要求的是質量中徑在0.3um的氣溶膠群,也就是氣（qì）溶膠是單分散相或者多分散相的,是一個（gè）範圍內的氣溶膠群體,而絕不是單一粒徑的0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的（de）是粒子尺寸中（zhōng）徑（jìng）,也就是（shì）有50%的粒子大於這個值.50%的粒子小於這個值。MMD=0.3um的顆（kē）粒們其實它（tā）們的（de）CMD大約在0.2um.這是因為大顆粒的粒子占有的數量權（quán）重雖然小,但（dàn）是質量權重很大。因此在IEST上麵說99.97%@0.3um其（qí）實大致等同於EN1882的MPPS的顆粒直徑（jìng）.這裏也僅僅是類似，不能完全等同。

3).新版（bǎn）的EN1822-2009把以前的E10 E11 E12均作為HEPA的分類劃入高效係列,不同於以前（qián）的EN1822-2000;

4).MPPS到底是多少,是需要對某一種濾料,比如某一種玻（bō）璃纖維（wéi）做實驗（yàn）室測試的。需要至少做5次重複試驗。每次試（shì）驗均要發單[準]分（fèn）散相或者多分散相的粒子,布滿整體的（de）0.1-0.5um的區間（jiān）。最後用曲線做（zuò）出來最低點。根據現在EN1822的統計,絕大部分的最易穿透的粒子粒徑（jìng）在（zài）0.1um-0.25um之間的某一個值。從商業角度而言,氣溶（róng）膠發（fā）生（shēng）器或者LASKIN噴嘴噴出的氣溶膠粒徑不（bú）可能保證為唯一粒徑粒子,從標準差（chà）而言（yán）.σ1.5為多分散。需要注意的是這個標準差和粒（lì）徑（jìng）大小沒有直接關係，也就是計算結果和粒徑沒有關係.因此嫩草影院可以認為MPPS的粒徑大小在測試的時候不是針對某一個粒徑的而（ér）是針對一（yī）個（gè）區間的。這個也就是為什麽MPPS在實際現場測試的時候（hòu）要求測試一個區間範圍內的所有粒子數（shù）量總和;同時（shí）也（yě）要說明的是不同的過濾風速下MPPS是不同的。出廠（chǎng）前需要明確額定濾速是多少.

5).對於實際的MPPS測（cè）試,一般要求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內的所有粒子總數。這裏所隱含的條件是（shì）氣溶膠的發塵應該正（zhèng）好落在這個範圍之內,而（ér）且粒徑的中值CMD應該正好等於MPPS[理（lǐ）想化],EN1822規定偏差（chà）不能超過10%;

2.氣溶膠發生器（qì）

氣溶膠發（fā）生器可以分（fèn）為若幹種,如（rú）熱發塵和冷發塵（chén）,異（yì）凝結發（fā）塵和同凝結發塵,在DPMS的幫助下可（kě）以保證有單分散（sàn）相粒徑（jìng）發（fā）出（chū）。

壓縮空（kōng）氣多分散熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器 單分散相異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發（fā）生（shēng）器 單（dān）分散相異凝結 1.05

自由噴射凝結式氣溶膠發生器（qì） 準（zhǔn）單分散相自凝（níng）結 σ=1.5

氣溶膠發塵+DPMS 多分散電移過（guò）濾為單（dān）分散相 σ=1.1不穩定

從美（měi）國的IEST可以（yǐ）看出他們使用的是第一種和第二種,用（yòng）光（guāng）度（dù）儀測試質量濃度比;而歐盟采用後麵四種進行測試，更加（jiā）合理優越。不過問題（tí）在於MPPS不可能直接測量（liàng）一個粒徑值。其實是一個範圍（wéi）。很多工廠直（zhí）接把0.1-0.2um之間的粒子數量全部加起來作為（wéi）MPPS的數量考慮應該是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的。

根據EN1822-5的說法,如果是采（cǎi）用單分散相粒子在測試效（xiào）率的時候是不計量粒（lì）子分徑的。直（zhí）接（jiē）把所有的粒子數量加在一起就可以（yǐ）作為上（shàng）下遊分別的粒子計數了。但是這裏要注意的是（shì）單分散相也不（bú）是真正的單分散相還是有各種粒徑分布的。隻要標準差小於1.5就（jiù）可（kě）以這麽（me）認為了（le）。

對於多分散相就不是這麽回事了（le）。因為標準差大（dà）於1.5，因此在進行測試（shì）的時（shí）候要求同時測粒子粒徑分布和數量。需要注意的是在上（shàng）下遊收集的時候（hòu）,在MPPS已經（jīng）知道的情況下,隻需要測量MPPS/2-MPPS*2分（fèn）段裏麵的全部或者部分粒（lì）子數量即可。

舉例來說明:現在EN已經（jīng）發現MPPS粒子一般（bān）坐落於0.1um-0.25um之間。這個範（fàn）圍的最大值與最小值之比（bǐ）為2.5.因此在EN1822-5的要求下,最好取MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或者部（bù）分。這是因為實際的光學粒子計數器有一個測量精度問題。大家知道（dào）的一般是測量分段為（wéi）0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以實際的結（jié）果是大部分廠家或者測試（shì）方最終（zhōng）的（de）計數結果0.1um-0.2um之間的總數作為計量基礎。

根（gēn）據EN1822要求,最好的測量範圍在（zài）mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是（shì）規範也可以要求在mpps/2-mpps/1.5之間或者在mpps*1.5-mpps*2的分段上任選一組作為劑量範圍.因此實際的測試可以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三（sān）種（zhǒng）情況下進行計量（liàng）。

考慮到實際的光學粒子分（fèn）析儀,應該可以在其中三個分段裏麵任選一個並且選擇全部的粒子或者部分的粒子（zǐ）。到底（dǐ）怎（zěn）麽選根（gēn）據實際的粒子分析（xī）儀來。實際的工程結果是選擇0.1-0.2um之間的。因為大部分MPPS在0.18um的樣子,因（yīn）此采用第二種分段（duàn）發可以在0.09um-0.27um之間選擇部分也就是0.1um-0.2um之間的值作為劑量標準。

以上是（shì）對多分散（sàn）粒子測試時候的分析與說明（míng）。

3:接收方法

一般有兩種方法。

一種是用（yòng）於（yú）測定質量濃度的光度計,它不能計數。因此可以（yǐ）用（yòng）在DOP方法測（cè）試H13和H14上麵特別是在現場的時候；

另外一（yī）種是用粒子計數（shù）器或者粒徑分析計數器,它既可以測粒（lì）徑也可以測數量。不過需要說明的是（shì）不能認（rèn）為它什麽粒徑都能測,它一般隻能（néng）分（fèn）段測粒徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不（bú）是大家想象的什（shí）麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑也能分析的一清二楚（chǔ）. 因此實際的接收（shōu）粒子MPPS是在一段粒徑之（zhī）間的。上麵已經說過了（le）。

這是因為EN1822-3對於濾料測試的最低MPPS的點是曲線找出來的,而不是實際測（cè）出來的。規定要求測至（zhì）少六種不同的粒徑,通過（guò）畫（huà）曲（qǔ）線的方法找到最低點MPPS。這種方（fāng）法隻能（néng）用單分散相的粒子發生器（qì）來測試。因此其實找（zhǎo）到的不是單一（yī）粒徑,而是一個區間（jiān）;

並且（qiě）在EN1822-4和EN1822-5裏（lǐ）麵已經要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒徑（jìng）,所以這更加說明了是粒子（zǐ）分析隻（zhī）能測試出某一段（duàn）粒徑之間而絕不是細（xì）到每一粒徑的;

4. IEST的測試方法

對（duì）於H13和H14,IEST要求對於其測試質量濃度就可以了,而對於高要求的（de）U15以上要求用粒子計（jì）數器（qì）,並且直接讀取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組中的更加不利的那一個數據.但是並不需要先檢（jiǎn）測出MPPS值。

對於現場中的（de）DOP檢測,很多公司（sī）使用TFI的冷發塵,由於其屬（shǔ）於多分散相，因此其實導致的結果就是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大於0.3um的要求（qiú）了。因（yīn）此要（yào）求現場的測試質量濃度比為99.99%@H13H14是合理的.因為這裏的結（jié）果已經比0.3um為99.99%在（zài）實驗室要求低了。

對於大部分的項目而言,還（hái）是使用H14以上的（de）高效比較保險。

5. EN1822測試方法（fǎ）

對於H10以上的（de）就需要測試MPPS了（le）,對於測試方法上麵已經有說明,總體而言就是測包含MPPS的一段區間粒徑的數量;

6:對測（cè）試結果的分析

由於現場（chǎng）測試的隻能是樣本,而且不可能全部都測.因此實際的結果分析采用了泊鬆分布的95%置（zhì）信區間（jiān）的結果。

參考（kǎo）資料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資料當中提到了統計學相關（guān）知識,包括泊鬆分布/95%置信區間/標準差/幾何標準差