浙江hepa高效過濾器

其實（shí）很多人（rén）對於高效過濾器的了解還是停留在表麵上的（de），

比如隻知道潔淨室要安裝（zhuāng）初效G4+中效F5+中高效F9+末端的高效H14，但是對於高效過濾器的一些（xiē）特性還是不太了解的！

比如效率（lǜ）為針對0.3um的（de）粒子其濃度不低於（yú）99.97%為美國（guó）的（de）A級別高效（xiào）過（guò）濾器,這句話的詳細意思其實並沒有多少人思考（kǎo）！

比如（rú）MPPS方法（fǎ）介紹（shào）的H14或者U15過（guò）濾器的測試粒子的尺寸是什麽？

下麵的內容則（zé）是我自己以前整理的一些筆記，針對高效過濾器的（de）一些詳細介紹。

不太懂的就看（kàn）黑體字就可以了！！！！

1.從HEPA高效（xiào）過濾器效率說（shuō）起

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾（lǜ）器

最早的HEPA 的使用（yòng）來源於美國軍方, 為MIT相關標（biāo）準。其後歐洲持續優化自（zì）身規範和標準

目前（qián）國家上通（tōng）行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中國（guó）國內大（dà）部分項目緊跟的是EN1822標準。

IEST規定對於MMD=0.3um的顆粒（lì）的整（zhěng）體效率不低於99.97%為（wéi）高效;EN1882規定（dìng）隻要在MPPS的（de）氣溶膠下通過（guò）率大於99.95%的就可以（yǐ）,也就是H13以上;
EN1822
從圖中可以看（kàn）到如下信息:EN1882對於局部穿透率（lǜ）可以是整體的5倍這當然是在MPPS 的粒徑考慮之（zhī）下;
IEST描述
針對以上的兩張表格,分析如下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的是粒子質量中徑,也（yě）就是所有（yǒu）的氣溶膠（jiāo）粒徑分布當中（zhōng）50%的質量大於這個（gè）值,50%的質量小於（yú）這個值.

因此不要認（rèn）為IEST的（de）規定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅是針對（duì）0.3um的要求.其實這個規定要（yào）求的是（shì）質量中徑（jìng）在0.3um的氣溶膠群,也就是氣溶膠是（shì）單分散相或者（zhě）多分散（sàn）相的,是一個範圍內（nèi）的氣溶膠群體,而絕不是單一粒徑的0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子尺（chǐ）寸中徑,也就是有（yǒu）50%的粒子大於這（zhè）個（gè）值.50%的粒（lì）子小於這個值。MMD=0.3um的顆粒們其實它們的CMD大約在0.2um.這是因為大顆粒的粒子占有的數量權重雖然小,但（dàn）是質量（liàng）權重（chóng）很大。因（yīn）此在IEST上麵說99.97%@0.3um其實大致等同於EN1882的MPPS的顆（kē）粒直徑.這裏（lǐ）也僅僅是類似，不能完全等同。

3).新版的EN1822-2009把以前（qián）的E10 E11 E12均作為（wéi）HEPA的分類劃入高效係列,不同於以前（qián）的EN1822-2000;

4).MPPS到底是多少,是需要對某一種濾料（liào）,比如（rú）某一種玻璃（lí）纖（xiān）維做實（shí）驗室測試的。需要至少做5次重複（fù）試驗。每次（cì）試（shì）驗均要發單[準]分散相或者多分散相的粒子,布滿整體的0.1-0.5um的區間。最後用曲線做出來最低點。根據現在EN1822的統計（jì）,絕（jué）大部（bù）分的最易穿透的粒子粒（lì）徑在0.1um-0.25um之間的某一個值。從商業角度而言,氣溶（róng）膠發生器或者LASKIN噴嘴噴出的氣溶（róng）膠粒徑不可能保（bǎo）證為唯一粒徑粒子,從標準差而言.σ1.5為多分散。需要注（zhù）意的是這個標準（zhǔn）差和粒徑大小沒有（yǒu）直接關係，也就是計算結果和粒徑沒有關係.因此嫩草影院可以認（rèn）為MPPS的粒（lì）徑大小在（zài）測試的時候不是針對某一個粒徑（jìng）的而是（shì）針對一個區（qū）間的。這個也（yě）就（jiù）是為什麽MPPS在實際現場測試的時（shí）候要求測試一個（gè）區間範圍內的所有粒（lì）子數量總和;同時也要說明的是不同的過濾風速下MPPS是不同的。出廠前需要明確額定濾速是多少.

5).對於實際的MPPS測試,一般要求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內的所有粒子總數。這裏所隱含的條件是氣溶膠的發（fā）塵應該正好落在（zài）這個範圍之內,而且粒徑的中值CMD應該正（zhèng）好等（děng）於MPPS[理想化],EN1822規定偏差不能（néng）超過10%;

2.氣溶膠發（fā）生器

氣溶膠發生器可以分為（wéi）若幹種,如熱發塵和冷發塵,異凝結發塵和同凝結發（fā）塵,在DPMS的幫助下可以保證有單分散相粒徑發出（chū）。

壓縮空氣多分散熱發塵（chén） MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分（fèn）散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶（róng）膠發生器（qì） 單分散相（xiàng）異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單分散相異凝結 1.05

自由噴射凝結式氣溶膠發生器 準單分散相（xiàng）自凝結 σ=1.5

氣溶膠發塵+DPMS 多分散電移過濾（lǜ）為單分散相 σ=1.1不穩定

從美國（guó）的IEST可以（yǐ）看出他們使用的是第一種和第二種,用（yòng）光（guāng）度儀（yí）測試質量（liàng）濃度比;而歐盟采用後麵四種進行測（cè）試，更（gèng）加（jiā）合理優越。不（bú）過問題在於MPPS不可能直接測量一個粒徑值。其實是一個（gè）範圍。很多工廠（chǎng）直接（jiē）把0.1-0.2um之間的粒子（zǐ）數量全部加起來作為MPPS的數（shù）量考慮（lǜ）應該是符（fú）合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的。

根據EN1822-5的說法,如果是采用單分散相（xiàng）粒子在測試效率的（de）時候是不計量粒子分徑的。直接把所有的粒子數（shù）量加在（zài）一起就可以作為上下遊分別的粒子計數了。但是這裏要注意的是單分散相也不是真正（zhèng）的單分散相還是（shì）有各種粒徑分布的。隻要標準差小於1.5就可（kě）以這麽認為了。

對於多分散相（xiàng）就不是這（zhè）麽回事了（le）。因（yīn）為（wéi）標準差大（dà）於1.5，因此在進行測試的時候要求同時測粒子粒（lì）徑分（fèn）布和數量。需要注意的是在上下（xià）遊收集的（de）時候,在MPPS已經知道的情況下,隻需（xū）要（yào）測量MPPS/2-MPPS*2分（fèn）段裏麵的全部或者（zhě）部分粒子數量即可。

舉例來說明:現在（zài）EN已經發現MPPS粒子一般（bān）坐落於0.1um-0.25um之間。這個範圍的最大值（zhí）與最小（xiǎo）值之比為2.5.因此在EN1822-5的要求下,最好取（qǔ）MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或者部分。這是因為實際的光學粒子計數（shù）器有一（yī）個測（cè）量精度問題。大家知道的一般是測量分（fèn）段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以實（shí）際的結果（guǒ）是大部分廠家或（huò）者測試方最終的計數結果0.1um-0.2um之間的總數作為計（jì）量基礎。

根據EN1822要求,最好（hǎo）的測（cè）量範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是規範也可以要求在mpps/2-mpps/1.5之間或（huò）者在mpps*1.5-mpps*2的分段（duàn）上任（rèn）選一組作為劑量範圍（wéi）.因此實際的測試可以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種（zhǒng）情況下進行計量（liàng）。

考慮到實際的光學粒子分析儀,應該可以在其中（zhōng）三（sān）個分段裏麵任選一個並且選擇全部的粒子或者部分（fèn）的粒子。到底怎麽選根據實際的粒子分析儀來。實際的工（gōng）程結果是選擇0.1-0.2um之（zhī）間的。因為大部分MPPS在0.18um的樣子,因（yīn）此采用第二種分段發可以在0.09um-0.27um之間選（xuǎn）擇部分（fèn）也就是0.1um-0.2um之間的值作為劑量（liàng）標準。

以上是對多分（fèn）散粒子（zǐ）測試時候（hòu）的分析與說明。

3:接收方法

一般有兩種方法（fǎ）。

一種是（shì）用於（yú）測定（dìng）質量濃度（dù）的光度計,它不（bú）能計數（shù）。因此可以用在DOP方法測試H13和H14上麵特別是在現場的時候；

另外一（yī）種是用粒子計數器或者（zhě）粒徑分析計數器,它既可以測粒徑也可以測數量。不過需要說明的是不能認為（wéi）它什麽粒徑都能測,它一般（bān）隻能分（fèn）段測粒徑（jìng）。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家想（xiǎng）象的什麽0.111um,0.157um,0.18um這（zhè）樣的（de）粒徑也能分析的一清二楚. 因此實際的接收粒子MPPS是在一（yī）段粒徑之間的。上麵已經說過了。

這是因為EN1822-3對於（yú）濾料測試的（de）最低MPPS的點是曲線找出來的,而不是實際測出來的。規定要求測至少六種不同（tóng）的粒徑,通過畫曲線的（de）方法（fǎ）找到最低點MPPS。這種方（fāng）法隻能用單分散相的粒子發生器來測試。因此其實找到的不是單一（yī）粒徑,而是一個區間;

並且在EN1822-4和EN1822-5裏麵已經要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒徑,所以這更加說明了（le）是粒子分（fèn）析隻能測試出某一（yī）段粒徑之間而絕（jué）不是細到每一粒（lì）徑的;

4. IEST的測試方（fāng）法

對於H13和H14,IEST要求對於其測試質量濃度就可以了,而對於高（gāo）要求的U15以（yǐ）上要求用粒子計數器,並且直接讀取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組中的更（gèng）加不利的那一個（gè）數據.但是並不（bú）需要先檢測出MPPS值。

對於現場中的DOP檢測,很多公司（sī）使用TFI的冷發塵,由於其屬於多分（fèn）散相，因此其實導致的結果就是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已（yǐ）經大於0.3um的（de）要求了。因此要求現場的測（cè）試質量濃度（dù）比為99.99%@H13H14是合理的（de）.因為這裏的結（jié）果已經比（bǐ）0.3um為（wéi）99.99%在實驗室要求低了。

對於大部分的項目而言,還是使用H14以上的高效比較保險。

5. EN1822測試方法

對於H10以上的就（jiù）需要測試MPPS了,對於測試方法上麵已經（jīng）有說（shuō）明（míng）,總體而言就是測包含MPPS的一段區間（jiān）粒徑的數量（liàng）;

6:對測試結果的（de）分析

由（yóu）於現場測試的隻能是樣本,而（ér）且（qiě）不可能全部都測.因此實際（jì）的結果分析采用了泊鬆分布（bù）的95%置（zhì）信區間的結（jié）果。

參考資料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資（zī）料當中提到了統計學相關知識,包括泊鬆分布/95%置信區間/標準差/幾何標準差