珠（zhū）海用塵埃粒子計數器對高效過（guò）濾器檢測檢漏方法（fǎ）

用塵埃粒子計數（shù）器對高效過濾器檢測檢漏方（fāng）法及（jí）檢測檢漏標準：用大氣塵為塵源與粒子計數器配（pèi）合，對高效過（guò）濾器作檢漏（lòu）檢查。打開風機，在離高效（xiào）過濾器表麵25mm處采用塵埃粒子計數器掃（sǎo）描檢測，掃描速度為5cm-30 cm /s，檢測出（chū）0.5μm的微粒數不得超過3500粒/m3。

塵埃（āi）粒子計數器高效過濾器檢漏方（fāng）法：

潔淨度級別等於（yú）或高於100級的潔淨車間的高效過濾器安裝前必須作現場檢漏，重點是檢查過濾器有無（wú）破損漏（lòu）泄等（děng）自（zì）身質量。

所有級別的潔淨車（chē）間，都要求對其安裝好的高效過濾器作（zuò）檢漏，在現行規範沒有（yǒu）給出檢查數量時，可以自定一個比例，安裝檢漏的重點是空（kōng）氣過濾器邊框密封質量。

高效過濾器檢漏（lòu）常用的儀（yí）器（qì）有:塵埃粒子計數器和5C氣溶膠發生器。

用於測量潔（jié）淨環境中單位體積空氣內的塵埃粒子大小及數（shù）目，可直接檢測潔（jié）淨度（dù）等級為十級至（zhì）三十萬級的潔淨環境。體（tǐ）積（jī）小、重量輕、檢測（cè）精度高、功能操作簡單明了，微處理器控製（zhì），可貯存、打印（yìn）測量結果，測試潔淨環境十分便利。

5C氣溶膠發生器

5C氣溶膠發生器能產生一（yī）致的多種直徑分布的（de）氣溶膠（jiāo）粒子，TDA-5C氣溶膠發生器與TDA-2G或TDA-2H等氣溶膠光度計配合使（shǐ）用時能提供足夠的挑（tiāo）戰粒子去測量高效過濾係統。

潔淨室高效過濾（lǜ）器粒子計數器法（fǎ）檢漏的一般規定

（1）被檢過濾器必須已測過風（fēng）量，在設計風速的80%～120%之間運行。

（2）在被（bèi）檢高效（xiào）過濾器上風側測定大氣塵的微粒數（shù），以大於（yú）或等於0.5ΜM微粒為準，其濃度必（bì）須大（dà）於或等於3.5×`10^4`粒/L；若檢測（cè）超高效過濾器，則以大於或（huò）等於0.1ΜM微粒為（wéi）準，其濃度必須大於或等於3.5×`10^6`～3.5×`10^7`粒/L。

（3）若上風側濃度不符（fú）合上（shàng）項規定，則應引入不經過濾的空氣，如果還（hái）達不到規定，則不（bú）宜用粒子計數器法和凝結核計數器法檢漏。

（4）檢漏時將（jiāng）采樣口放在距離被檢過濾器表麵2～3CM處，以5～20MM/S的速度（dù）移動，對被檢過（guò）濾器整個斷麵、封頭膠和安（ān）裝框架處進行掃描。