遵義hepa高效過濾器

其實很（hěn）多（duō）人（rén）對於（yú）高效過濾器的了解還是停留在表麵上的，

比如隻知（zhī）道潔淨（jìng）室要安裝初效G4+中效F5+中高效F9+末端的高效H14，但是對於高效過濾（lǜ）器的一些特性還是不（bú）太了解的！

比如效率為針對0.3um的（de）粒子其濃度不低於99.97%為美國的A級別高效過濾器,這句話的（de）詳細（xì）意思其實並沒有多少（shǎo）人思（sī）考！

比如MPPS方法介紹的H14或者U15過濾器的測試粒子的尺寸是什（shí）麽（me）？

下（xià）麵的內容則是（shì）我自己（jǐ）以前整（zhěng）理的（de）一些筆記，針（zhēn）對高效過濾器的一些詳細介（jiè）紹。

不太懂的就看黑體字就可以了（le）！！！！

1.從HEPA高效過濾器效率說起

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾器

最早的HEPA 的使用來源於美國軍方, 為MIT相關標準。其後歐洲持續優化（huà）自身規範和標準

目前國家上通行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大（dà）標準。中國國內大（dà）部分項目緊跟的是EN1822標準。

IEST規（guī）定對（duì）於MMD=0.3um的顆粒（lì）的整體效率不低於99.97%為高效;EN1882規定隻要（yào）在MPPS的氣溶膠下通過率大於（yú）99.95%的就可以（yǐ）,也就是H13以上（shàng）;
EN1822
從（cóng）圖（tú）中可以看到如下信息:EN1882對於局部（bù）穿透率可以是整體的（de）5倍（bèi）這（zhè）當然是在MPPS 的粒（lì）徑考慮之下（xià）;
IEST描述（shù）
針對以上的兩張表格,分析如下:

1).IEST中的（de）MMD-Mass Median Diameter指（zhǐ）的是粒子質（zhì）量中徑,也就是所有的氣溶膠粒（lì）徑分布當中50%的質量大於這個值,50%的質量（liàng）小於這個（gè）值.

因此不要認為（wéi）IEST的規定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅（jǐn）是針對0.3um的要求.其（qí）實這個規定要求的是質（zhì）量中徑在0.3um的氣溶膠群（qún）,也就是氣溶膠是單分（fèn）散相（xiàng）或者多分散相的,是一個範圍內的氣溶膠群體,而絕（jué）不是單一粒徑的0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子尺寸中徑,也就是有50%的粒子大於這（zhè）個值（zhí）.50%的粒子小於這個值。MMD=0.3um的顆粒們其實它們的CMD大約在0.2um.這是因為（wéi）大顆粒的粒子占有的數量權重雖然小（xiǎo）,但是質量權（quán）重很大。因（yīn）此在IEST上麵說99.97%@0.3um其實大致等同（tóng）於EN1882的（de）MPPS的顆粒直徑.這裏也僅僅是類似，不（bú）能完全等同。

3).新版的EN1822-2009把以前的E10 E11 E12均作為HEPA的分類（lèi）劃入高效係列,不（bú）同於以前（qián）的EN1822-2000;

4).MPPS到（dào）底是多少（shǎo）,是需要對某一種（zhǒng）濾料,比如某一種玻璃纖維做實驗室測（cè）試的。需要至少做5次重複試驗。每（měi）次試驗均要發單[準]分散相或者多分散相的粒子,布滿整體的0.1-0.5um的（de）區間（jiān）。最後用曲線做出來最低點。根據現在（zài）EN1822的（de）統計,絕（jué）大（dà）部分的最易穿透的粒（lì）子粒（lì）徑在0.1um-0.25um之間的（de）某一個值。從商業角（jiǎo）度而言,氣溶膠（jiāo）發生器或者LASKIN噴嘴噴出的氣溶膠粒徑不可能保證為（wéi）唯一粒（lì）徑粒子,從標準差而言.σ1.5為多分（fèn）散。需要注（zhù）意的是這個標準差和粒徑（jìng）大小沒有直接關係，也就是計算結果和粒（lì）徑沒有關係.因此嫩草影院可以（yǐ）認為（wéi）MPPS的粒徑大（dà）小在測試的（de）時候不是針對某一個粒徑的而是針對一個區間（jiān）的。這（zhè）個也就是為什麽MPPS在實際現場測試的（de）時候要求測試一個區間範圍內的所有粒（lì）子數量總和（hé）;同時也要說明的是不同的過濾風速下MPPS是不同的。出廠前需要明確（què）額定濾速是多少.

5).對於實際的MPPS測試,一般要求（qiú）收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範（fàn）圍之（zhī）內的所有粒子總數。這（zhè）裏所隱（yǐn）含的條件（jiàn）是氣溶膠的發（fā）塵（chén）應該正好落在這個範圍之（zhī）內（nèi）,而且粒徑的中值CMD應該正好等於MPPS[理（lǐ）想化],EN1822規定偏差不能超過10%;

2.氣溶膠發生器

氣溶膠發（fā）生器可以分為若幹（gàn）種,如熱發塵和冷發塵,異凝結發塵和同（tóng）凝結發塵,在DPMS的幫助下（xià）可（kě）以保證有單分散相粒徑發出。

壓縮空氣多分散熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器 單分散（sàn）相異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單分散相異凝結 1.05

自由噴射凝結式氣（qì）溶膠（jiāo）發生器 準單分散相自（zì）凝結 σ=1.5

氣溶膠發塵+DPMS 多分散電移過濾為（wéi）單分（fèn）散相 σ=1.1不穩定

從美國的IEST可以看出他們使用的（de）是第一種和第二種（zhǒng）,用光度儀測試（shì）質（zhì）量濃度比;而歐盟采用後麵（miàn）四種進行測試，更加合理優越（yuè）。不過問（wèn）題在於MPPS不可能直接測量一個粒徑值。其實是一個範圍。很多工廠直（zhí）接把0.1-0.2um之間的粒子（zǐ）數量全（quán）部加起來作為MPPS的數量考慮應該是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的（de）。

根據EN1822-5的說法,如（rú）果是采用單分散相粒子在測試效率的時候是不計量粒子分徑的。直接把所有（yǒu）的（de）粒子數量加在一起就可以（yǐ）作為上下遊分別的粒子計數了。但是這裏要注意的是單分散相也不是真正的單分散相還是（shì）有各種（zhǒng）粒徑分布的。隻要標準差小於1.5就可以這麽認（rèn）為了。

對於多分散相就不是這麽回事了。因為標準差大（dà）於1.5，因此在進行測試的時候要求同時測粒子粒徑分布和數量。需要注意的是在上下遊收集的時候,在MPPS已經知道的（de）情況下,隻需要測量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵的全部或者部分粒子數量即可。

舉（jǔ）例來說明:現（xiàn）在EN已經發現MPPS粒子一般坐（zuò）落於（yú）0.1um-0.25um之間。這個範圍的最大（dà）值與（yǔ）最小值之比為2.5.因此在EN1822-5的要求下,最好取MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或（huò）者部分。這是因為實際的光學粒（lì）子計數器有一個測量精度問題。大家知道的一般是（shì）測量分（fèn）段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等（děng）。所以實（shí）際的結果是大部分廠家或者測試方最終的計數結果0.1um-0.2um之（zhī）間的總數作為計量基礎。

根據EN1822要求,最好的測量範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是（shì）規範也可（kě）以（yǐ）要求（qiú）在mpps/2-mpps/1.5之（zhī）間（jiān）或者在mpps*1.5-mpps*2的分段上任選一組作為（wéi）劑量範圍.因（yīn）此實際的測試可（kě）以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種情況下進行計量。

考慮到實際的光學粒子分析儀,應（yīng）該可以在其中三個分段裏麵任選一（yī）個並且（qiě）選擇全部的粒子或者部（bù）分的粒子。到底怎麽選根據實際的粒子分析儀來。實際的（de）工程結果是選擇0.1-0.2um之間的。因（yīn）為大部分MPPS在0.18um的樣子,因此（cǐ）采用第二種分段發可以在（zài）0.09um-0.27um之間選擇部分也（yě）就（jiù）是0.1um-0.2um之間（jiān）的值作為劑量標（biāo）準。

以上是對多（duō）分散粒子測試（shì）時候的分析（xī）與說明。

3:接收方法

一般有兩種（zhǒng）方法。

一（yī）種是用（yòng）於測定質量濃度的光度計,它不能計（jì）數。因此可以用在DOP方法測試H13和H14上麵特別是在現場的時候；

另外一種是用粒子計數器或（huò）者粒徑分析計數器,它既可以測粒（lì）徑也可以測數量。不過需要說明的是不能認為（wéi）它什麽粒徑都能測,它一般隻能分段測粒徑（jìng）。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不（bú）是大家想（xiǎng）象的什（shí）麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑也能（néng）分析的一清二楚. 因此實際的接（jiē）收粒（lì）子MPPS是（shì）在一段粒徑之間的。上麵已經說過了。

這是因為EN1822-3對於濾料（liào）測試的最低MPPS的點（diǎn）是曲線找出來的,而不是實際（jì）測出來的。規定要求測至少六種不同的粒（lì）徑,通過畫曲線的方法找到最低點MPPS。這種方法隻能用單分（fèn）散相的（de）粒子發生器來測試。因此其實找到的不是單一粒徑,而是一個區間;

並且在EN1822-4和EN1822-5裏麵已經要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的（de）粒徑,所以（yǐ）這更加說明了是粒子分析隻（zhī）能測試出某一段（duàn）粒（lì）徑之間而絕不是細到每一粒徑的;

4. IEST的測試方法

對於H13和（hé）H14,IEST要求對於其測試質量濃度（dù）就（jiù）可以了,而對於高要求（qiú）的U15以上要求用粒子計數器,並且直接讀取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組中的更加不利（lì）的（de）那一個數據.但是並不需（xū）要先檢（jiǎn）測出MPPS值。

對（duì）於現場中（zhōng）的DOP檢測,很多公司（sī）使用TFI的冷（lěng）發塵（chén）,由於其屬於多分散相，因此其實導致的結果就是CMD在（zài）0.4um,MMD在（zài）0.7um,已經大（dà）於0.3um的要求了。因（yīn）此要求現場的測試質量濃度比為99.99%@H13H14是合理的.因為這裏的結果已經比0.3um為99.99%在（zài）實（shí）驗室要求低了（le）。

對於大部分的項目而言,還是使（shǐ）用H14以（yǐ）上的高效比較保險。

5. EN1822測試（shì）方法（fǎ）

對於（yú）H10以上的就需要測試MPPS了,對於測試方法上麵已經有說明,總體（tǐ）而言就是（shì）測包含（hán）MPPS的一段（duàn）區（qū）間粒徑的數量（liàng）;

6:對測試結（jié）果的分析

由於現場測（cè）試的隻能是樣本,而且（qiě）不可能全部都測.因此實際的結果分析采用了泊鬆分布的95%置信區間的結果。

參（cān）考資料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資料當中提到了統計學相關知識,包括泊鬆分布/95%置信區間/標準差/幾何標準差