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[行業新聞] 半導體潔淨室中ULPA過濾器的檢漏測（cè）試具體有哪些方法？各自的優缺點（diǎn）是什麽？
在半導體潔淨室中，ULPA（超高效空氣（qì）過濾（lǜ）器，通常（cháng）為U15及以上（shàng）等級）的（de）檢漏測試是保障（zhàng）潔淨（jìng）度的核心環節，需（xū）精準檢（jiǎn）測濾芯本體、密封邊緣、安裝框架等部位的（de）泄漏（允許泄（xiè）漏（lòu）率≤0.001%，遠（yuǎn）嚴於普通工業標準），避免（miǎn）亞微（wēi）米級微粒（0.1~0.3μm發布時間：2025-10-09 點擊次數（shù）：11174
