澳門hepa高效過濾器

其實很多人（rén）對於高效過濾器的了解還是停留在表麵上的，

比如隻知道潔淨室要安裝初效（xiào）G4+中效F5+中高效（xiào）F9+末端的高效（xiào）H14，但是對（duì）於高效過濾器的一些特性還是不太了解的（de）！

比如效率為針對0.3um的（de）粒子其濃度不低於99.97%為（wéi）美國的A級別高效過濾器,這句話的詳細意思其實並沒有多少（shǎo）人思考！

比如MPPS方（fāng）法介紹的（de）H14或者U15過濾器的（de）測試粒子的（de）尺寸（cùn）是什麽？

下麵的內容則是我自己以前整理的一些筆記，針對高（gāo）效過濾器的一些詳細介紹。

不太懂的就看黑體字就（jiù）可以了！！！！

1.從HEPA高效過濾器效率說起

HEPA—high efficiency particulate air為高效過（guò）濾器

最早的（de）HEPA 的使用（yòng）來源於美國軍方, 為MIT相關標準。其後歐洲持續優化自（zì）身規範和標準

目（mù）前國家上通行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中國國內大部分項（xiàng）目緊跟的是EN1822標準。

IEST規定對於MMD=0.3um的顆粒的整體效率不低於99.97%為高（gāo）效;EN1882規定隻要在MPPS的氣溶膠下通過率大於（yú）99.95%的就可以,也就是H13以上;
EN1822
從圖中可以看到如下（xià）信（xìn）息:EN1882對於局部穿透率可以是整體的5倍這當然是在（zài）MPPS 的粒徑考慮之下;
IEST描述
針對以（yǐ）上的兩張表格,分析如（rú）下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的是粒（lì）子質量（liàng）中徑,也就是所有的氣（qì）溶膠（jiāo）粒徑分布當中50%的質量大於這個值,50%的質量小於這個值.

因此（cǐ）不要認為IEST的規定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅是針對0.3um的要求.其實（shí）這個規定要求的是質量中徑在0.3um的氣溶膠群,也就是氣溶膠是單（dān）分散相（xiàng）或者多（duō）分散相的,是一個範圍內（nèi）的氣溶膠群體,而絕不是單一粒徑的0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒（lì）子尺寸（cùn）中徑（jìng）,也就是有50%的粒子（zǐ）大於這個（gè）值.50%的粒（lì）子小於這個值。MMD=0.3um的顆粒們其實它們的CMD大約（yuē）在0.2um.這是因為大顆（kē）粒的粒子占有的數量權重雖然（rán）小,但是質量權重很（hěn）大。因此在IEST上麵說（shuō）99.97%@0.3um其實大（dà）致等同於EN1882的MPPS的顆粒直徑.這裏也僅僅是類似，不能完（wán）全等同。

3).新版（bǎn）的EN1822-2009把以前的（de）E10 E11 E12均作為（wéi）HEPA的分（fèn）類劃入高效係列（liè）,不同於以前的EN1822-2000;

4).MPPS到底（dǐ）是多少,是需要對某一種濾料（liào）,比如某一種玻璃纖維做實驗（yàn）室測試的。需要至少做5次重複試驗。每次試驗（yàn）均要（yào）發單[準]分（fèn）散相或者多分散相的粒子,布滿整（zhěng）體的0.1-0.5um的區間。最後用曲線做出（chū）來最低（dī）點。根據現在EN1822的統計,絕大部分的最易（yì）穿透（tòu）的粒（lì）子粒徑在0.1um-0.25um之間的某一個值。從（cóng）商業角度而言,氣溶（róng）膠發生（shēng）器或（huò）者LASKIN噴嘴噴出（chū）的氣溶膠粒徑不可能保證為唯（wéi）一粒徑粒子,從標（biāo）準差而（ér）言.σ1.5為多（duō）分散。需要（yào）注意的是這個標準差和粒徑（jìng）大小沒有直（zhí）接關係，也就是計算結果和粒徑沒（méi）有（yǒu）關係.因此嫩草影院可以認為MPPS的粒徑大小在測試的時（shí）候不是針對某（mǒu）一個粒徑的而是針對一個（gè）區間的。這個也就是為什麽MPPS在實際現場測試的時候要求測（cè）試一個區間範（fàn）圍內（nèi）的所有粒子數量總和;同時也要說明的是（shì）不同的過濾（lǜ）風速下MPPS是不同的。出廠前需要明（míng）確額定濾速是多少.

5).對於實際的MPPS測試,一般要求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內的所有粒（lì）子總數。這裏所隱含的條件是氣溶膠（jiāo）的發塵應該正好落（luò）在這個範圍之內,而且粒徑的中值CMD應（yīng）該正好等於MPPS[理想化],EN1822規定偏差不（bú）能超過（guò）10%;

2.氣溶膠發生器

氣溶膠發（fā）生器可以（yǐ）分為若幹種,如熱發塵和冷（lěng）發塵,異凝（níng）結發塵和同凝結（jié）發塵,在DPMS的（de）幫助（zhù）下可以保證有單分散相粒徑發出（chū）。

壓縮空（kōng）氣多分散熱（rè）發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器 單分散相異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單分散相異凝結 1.05

自由噴射凝（níng）結式氣溶膠發生器 準單分散相自凝結 σ=1.5

氣溶膠發塵+DPMS 多分散電移過濾為單分散相 σ=1.1不（bú）穩定

從美國的IEST可以（yǐ）看出他們使（shǐ）用的是第一（yī）種和第二種,用光度儀測試質量濃度（dù）比;而歐盟采用後麵四種進行（háng）測試，更加合理優越。不過問題在於MPPS不可能直接測量一個粒徑值。其實（shí）是（shì）一個（gè）範圍。很多工廠直接把0.1-0.2um之間的粒子數量（liàng）全部加起來作為MPPS的數量考慮（lǜ）應該是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的。

根據EN1822-5的說法,如（rú）果是采（cǎi）用單分散相粒（lì）子在測試效率的時候是不計量粒子分徑的。直接把所有的粒子數量加在一起就可以作為上（shàng）下遊分（fèn）別的粒子計數了。但是這裏要（yào）注意的是單分散相也不是真正的單分散相還是有各種粒徑（jìng）分布的。隻要標準差小於1.5就（jiù）可以這麽認為了。

對於（yú）多分散相就不是這麽（me）回事了。因為標準差大於1.5，因此在進行測試的時候要求（qiú）同時測粒子粒徑分（fèn）布（bù）和數量。需要注意的是在上下遊收集（jí）的時（shí）候,在MPPS已經知道的情況下,隻（zhī）需要（yào）測量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵的全（quán）部或者部分粒子數（shù）量即可。

舉例來說明:現在EN已經發現MPPS粒子一般坐落於（yú）0.1um-0.25um之間。這個範圍的最大值與最小值之比為2.5.因此在EN1822-5的要求下,最好取MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或者部分。這是因為實際的光學粒子計數器有一個測量精度問題。大家知道的一般是測量分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以實際的（de）結果是大部分（fèn）廠家或者測（cè）試方最終的計數（shù）結（jié）果0.1um-0.2um之間的總數作為計量基礎（chǔ）。

根據EN1822要求,最好的測量範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是規範也可以要求在mpps/2-mpps/1.5之間或者在mpps*1.5-mpps*2的分段（duàn）上任選一組（zǔ）作為劑量範圍（wéi）.因此實際（jì）的測試（shì）可以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這（zhè）三種情況下進行計量。

考（kǎo）慮到實（shí）際的光學粒子分析（xī）儀,應該可以在其中三個（gè）分段裏麵任選一個（gè）並且選擇全部（bù）的粒子或者部分的粒子。到底怎麽選根據實際的粒子（zǐ）分（fèn）析儀來。實際的工程結果是選擇0.1-0.2um之間的。因為大部（bù）分MPPS在0.18um的樣子,因此（cǐ）采用第（dì）二種分段發可以在0.09um-0.27um之間選擇部分也就是0.1um-0.2um之間的值作為劑量標準（zhǔn）。

以（yǐ）上是對多分散粒子測（cè）試（shì）時候（hòu）的分（fèn）析與說明。

3:接收方法

一般有兩種方法。

一（yī）種是用於測定質量濃度的光（guāng）度計,它不能計數。因此可以用在DOP方法測試H13和H14上麵特別是在（zài）現場的時候；

另外一種是用粒（lì）子計數器或者粒徑分析計數器,它既可以測粒徑也可以測數量。不過需要說明的是不能認為（wéi）它什麽粒徑都能測,它一般隻能分段測粒徑（jìng）。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家（jiā）想象的什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑也能分析的一清二楚. 因此實際的接收粒子MPPS是在一段粒徑之間的（de）。上麵已經說過了。

這是因為EN1822-3對於濾料測試（shì）的最低MPPS的點是曲線找出來（lái）的,而不是實際測出來的。規定要求測至少六種不同的粒徑,通過（guò）畫曲（qǔ）線（xiàn）的方法（fǎ）找（zhǎo）到最低點MPPS。這種方法隻能用單分散相的粒子發生器來測試。因此其實找到的不是（shì）單一粒徑,而是一個（gè）區間（jiān）;

並且在EN1822-4和EN1822-5裏麵已經要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒徑,所（suǒ）以這（zhè）更加說明了是粒子（zǐ）分析隻能測試出某（mǒu）一段粒徑之（zhī）間而絕不（bú）是細到每一粒徑的;

4. IEST的測試方法

對於H13和H14,IEST要求對於其測試質量濃度就可以了,而對於高要求的U15以上要（yào）求用粒子計數器,並且直接讀取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩（liǎng）組中的更加不利的那一個數據.但是（shì）並不需要先檢（jiǎn）測出MPPS值。

對於現場中的（de）DOP檢測,很多公司（sī）使用TFI的冷（lěng）發塵,由（yóu）於其屬於多分（fèn）散相，因此其實（shí）導致的結果就是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大於0.3um的要求了（le）。因此要求現場的測（cè）試質量濃度比為99.99%@H13H14是合理的.因為這裏的（de）結果已經比0.3um為99.99%在實驗（yàn）室要求低（dī）了。

對於大部分的項目而（ér）言（yán）,還是使用H14以上的高效比較保（bǎo）險。

5. EN1822測試方法

對於H10以上的就需要測試MPPS了,對於測試方法上麵已經有說明,總（zǒng）體而言就是測包含MPPS的一（yī）段區間粒徑的數量（liàng）;

6:對測試結果的分析

由於現場測試的隻能是樣本,而且不可能（néng）全部（bù）都測.因此實際的結果分析采用了泊鬆分布的95%置信區間的結果。

參考資料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並（bìng）且在資料當中（zhōng）提到了（le）統計學相關知識,包括泊鬆（sōng）分布/95%置信區間/標準差/幾何標準差