白城hepa高效過濾器

其實（shí）很多人對於高效過濾（lǜ）器的了解還是停留（liú）在表麵（miàn）上的，

比如隻知道潔淨室要安裝初效G4+中效（xiào）F5+中高效F9+末端的高效（xiào）H14，但是對於高效過濾（lǜ）器的一些特性還是不太了（le）解的！

比如效率為（wéi）針對0.3um的粒（lì）子其濃度不低（dī）於99.97%為美國的A級別高效（xiào）過濾器,這句話的詳細意思其實並沒有多少人思考！

比如MPPS方法介紹的H14或者U15過濾器的測（cè）試粒子的尺寸是什麽？

下麵的內容則是我（wǒ）自（zì）己以前整理（lǐ）的一些筆記，針對高效過濾器的一些詳（xiáng）細（xì）介紹（shào）。

不（bú）太懂（dǒng）的就看黑體字就可以了（le）！！！！

1.從HEPA高效過（guò）濾器效率（lǜ）說起

HEPA—high efficiency particulate air為高效過（guò）濾器（qì）

最早的HEPA 的使用來源於美國軍（jun1）方, 為（wéi）MIT相關標準（zhǔn）。其後歐洲（zhōu）持續優化（huà）自身規範和標準

目前國家上通行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中國國內大部分項目緊跟的（de）是EN1822標準。

IEST規定對於MMD=0.3um的顆粒的整體效（xiào）率不（bú）低於99.97%為高效;EN1882規定隻要在（zài）MPPS的氣溶膠下通過率大於99.95%的就可以（yǐ）,也就是H13以上;
EN1822
從圖中可以看（kàn）到（dào）如下信息:EN1882對於局部穿透率可以是整體的5倍這當然是在MPPS 的粒徑考慮之（zhī）下;
IEST描（miáo）述
針對以上的兩張表格,分析如下:

1).IEST中的（de）MMD-Mass Median Diameter指的是粒（lì）子（zǐ）質量中徑,也就是所有的氣溶膠粒徑分布（bù）當中50%的質（zhì）量大於這個值（zhí）,50%的質量小於這個值.

因此不要認為IEST的規定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅（jǐn）僅是針對0.3um的要求.其實這個（gè）規（guī）定要求的是質量中徑在0.3um的氣溶膠群,也就（jiù）是氣（qì）溶膠是單分散相或者多分散相的（de）,是一個範圍內的氣（qì）溶膠群體,而絕不是單一粒徑的0.3um的（de）氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子尺寸中徑,也（yě）就是有50%的粒子大於這個值.50%的（de）粒子小於這個值。MMD=0.3um的顆粒們其實它們的CMD大約在0.2um.這是（shì）因（yīn）為大顆粒（lì）的粒子占有的數量權重雖然小,但是質（zhì）量權重很大。因此在IEST上麵說99.97%@0.3um其實大致等同於EN1882的MPPS的顆粒（lì）直徑.這裏也僅僅是類似，不能完全等同。

3).新版的EN1822-2009把以前的E10 E11 E12均作為（wéi）HEPA的分類劃入高（gāo）效（xiào）係列,不同於（yú）以前的EN1822-2000;

4).MPPS到底是多少,是需要對某一種濾料（liào）,比如某一種玻璃纖維（wéi）做實（shí）驗室測試的。需要至少做5次（cì）重複試驗。每次試驗均要發單（dān）[準]分散相或者多分散相的粒（lì）子,布滿整體的（de）0.1-0.5um的區間。最（zuì）後用曲線做出來最低點。根據（jù）現在EN1822的統計,絕大部分的最易穿透的粒子粒徑在0.1um-0.25um之間的某一個值。從（cóng）商業角度而（ér）言,氣溶膠發生器或者LASKIN噴嘴噴出的氣（qì）溶膠粒徑不可能保（bǎo）證為唯一粒徑粒子,從標準差而言.σ1.5為多分散。需要注意的是這個標準差和粒徑（jìng）大小沒有直接關係，也就是計算結果和粒徑沒（méi）有關係.因此嫩草影院（men）可以認為MPPS的粒徑大小（xiǎo）在測試的時候不（bú）是針對某一個粒徑的而（ér）是針對一個區間的。這個也就是為什麽MPPS在實際現場（chǎng）測試的時（shí）候要（yào）求測試一個區間（jiān）範圍內的所有粒（lì）子數量（liàng）總和;同時也要說明的是不同的過濾風速下MPPS是不（bú）同的。出廠前需要明（míng）確額定濾速是（shì）多少.

5).對於實際的MPPS測試,一般要求（qiú）收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍（wéi）之內的所有粒子總數。這裏所隱含的條件是氣溶（róng）膠的發塵應該正好落在這個（gè）範圍之內,而且（qiě）粒徑的中值CMD應該正好等於（yú）MPPS[理想化],EN1822規（guī）定偏差不能超過10%;

2.氣溶膠發生器

氣（qì）溶膠發生器可以分為若幹種,如熱（rè）發塵和冷發塵,異凝結發塵和同凝結發塵,在DPMS的（de）幫助下（xià）可以保證有（yǒu）單（dān）分散相粒徑發出。

壓縮空氣多分（fèn）散熱發塵（chén） MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器 單分散相異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單分散相異凝結（jié） 1.05

自由噴射凝結式氣溶膠發生器 準單分散相（xiàng）自（zì）凝結 σ=1.5

氣溶膠發塵+DPMS 多分散電移過濾為單分散相 σ=1.1不穩定

從美國的IEST可以看出他們使用的是第一種和第二種,用光度儀（yí）測試質量濃度比;而歐盟采用後麵四種進行測（cè）試，更加合（hé）理優越。不過問題在於（yú）MPPS不可能直接測量一個粒（lì）徑值。其實是一個範圍。很多工廠直接把0.1-0.2um之間的粒子數量全部加起來作為MPPS的數量考慮應（yīng）該是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範（fàn）圍的。

根（gēn）據EN1822-5的說法,如果是采用單分散相粒子在測試效率的（de）時候是不計量粒子分徑（jìng）的。直接把所有的粒子數量加（jiā）在一起就可以作為上下遊分別的粒子計數了。但是這裏要注意的是單分散相也不是真正的單分散相（xiàng）還是有各種粒徑分布的。隻要（yào）標（biāo）準差（chà）小於1.5就可以這麽認（rèn）為了。

對（duì）於多分散相就不是（shì）這麽回事了。因為標準差大於1.5，因此在進行測試的時候要求同時測粒（lì）子（zǐ）粒徑分（fèn）布和數量。需要注意的是在上下遊收集的時候,在MPPS已經知（zhī）道的情況下,隻需要測量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵的全部或者部（bù）分粒子數量（liàng）即可。

舉例來說明:現（xiàn）在EN已經發現MPPS粒子一般坐（zuò）落於0.1um-0.25um之間。這（zhè）個範圍的最大值與最小值之比為2.5.因此在EN1822-5的要求下,最好取MPPS/2-MPPS*2的（de）全部範（fàn）圍或者部分。這是因為實際的光學粒（lì）子（zǐ）計數器（qì）有一個測（cè）量（liàng）精度問題。大家知（zhī）道的一般是測量分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以實際的結果（guǒ）是大部分廠家或者測試方最（zuì）終的計（jì）數結果0.1um-0.2um之間的總數作為計量基礎。

根據EN1822要求,最好的測量（liàng）範（fàn）圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是規範也可（kě）以要求在（zài）mpps/2-mpps/1.5之間或者在mpps*1.5-mpps*2的分段上任選一組作為劑量範圍.因（yīn）此實際的測試可以在（zài）

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種情況（kuàng）下進行計量。

考慮到實際（jì）的光學粒子分析儀,應該可以在其中（zhōng）三個分段（duàn）裏麵任（rèn）選（xuǎn）一個並且選（xuǎn）擇全部的粒子或者部分的粒（lì）子。到底怎（zěn）麽選根據實（shí）際的粒子（zǐ）分析儀來。實際的工程結果是選擇0.1-0.2um之間的。因為大部分MPPS在（zài）0.18um的樣子,因此采用第二種分段發可以（yǐ）在0.09um-0.27um之間選擇部分也就是0.1um-0.2um之間的值作為劑量標準（zhǔn）。

以上（shàng）是對多分散粒子（zǐ）測試時候的分析與說明。

3:接收方法

一（yī）般有兩種方法。

一種是用於測定質量濃度的光度計,它不能（néng）計數。因此可以（yǐ）用在DOP方法測試H13和H14上麵特別是在現場的時候；

另外一（yī）種是用粒子計數器或者粒徑分析計數器（qì）,它既可（kě）以測粒徑也可以測數量。不過需要說（shuō）明的是不能認為（wéi）它什麽（me）粒徑都能測,它（tā）一般隻能分段測粒徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不（bú）是（shì）大家想象的什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑也能（néng）分析的一清二楚. 因此實際的（de）接收粒子MPPS是在一段粒徑之間的。上麵（miàn）已經說過了。

這是因為EN1822-3對（duì）於濾料測試的最低MPPS的點是（shì）曲（qǔ）線找出來的,而不是實際測出來的。規定要（yào）求測至少六種不同的粒徑,通過畫曲線的方法找到最低點MPPS。這（zhè）種（zhǒng）方法隻能用單分散相（xiàng）的粒子（zǐ）發生器來測試。因此（cǐ）其實找到的不是單一粒徑,而是一個（gè）區間;

並且在EN1822-4和（hé）EN1822-5裏（lǐ）麵已經（jīng）要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒徑,所以這更加說明了是粒子分析隻能測試出某一段（duàn）粒徑之（zhī）間而絕不是細到每一（yī）粒徑的;

4. IEST的測試方法

對於H13和H14,IEST要求對於其測試質量濃（nóng）度就可以了,而對於高要求的U15以上要求用粒子計數器,並且直接（jiē）讀取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組中的（de）更加不（bú）利的那（nà）一個數據.但是並不需（xū）要先檢測出MPPS值。

對於（yú）現場中的DOP檢（jiǎn）測,很多公司（sī）使用TFI的冷發塵,由於其屬（shǔ）於多（duō）分散相，因此其實導致的結果就是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大於0.3um的要（yào）求了。因（yīn）此要求現場的測試質量濃度比（bǐ）為99.99%@H13H14是合理（lǐ）的.因為這裏的結（jié）果已經比0.3um為99.99%在實驗室（shì）要求低了。

對於大部分的項目而言,還是使用H14以上的高效比（bǐ）較保險。

5. EN1822測試方法

對於H10以上的就需要測試MPPS了,對於測試方法上麵已經有說明,總體而言就是測包含MPPS的一段區間粒徑的數（shù）量;

6:對測試結果（guǒ）的分析

由於現場測試的隻能是樣本,而且不可能全（quán）部都測.因此實際的結果（guǒ）分析采用了泊鬆分布的95%置信區間的結果。

參考資料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資料當中提到了統計學相關知（zhī）識,包括泊鬆（sōng）分（fèn）布/95%置信（xìn）區間（jiān）/標準差（chà）/幾何標準差