東營（yíng）hepa高效過濾器

其實很多人對於高效過濾器的（de）了解還是（shì）停留在表麵上的，

比如隻知道潔淨室要安裝初效G4+中效F5+中（zhōng）高效F9+末端的高效H14，但是對於高效過濾器的一些特性還是不太了解的！

比如效率為針對0.3um的粒子其濃度不（bú）低於99.97%為美國的A級別高效過濾（lǜ）器（qì）,這（zhè）句話的詳細意思其實並沒有多少人思考！

比（bǐ）如（rú）MPPS方（fāng）法介紹的H14或者U15過濾器的測試粒子的尺寸是什麽？

下麵（miàn）的（de）內容則是我自己以前整理的一些筆記，針對高（gāo）效過濾器的一些詳細介紹。

不太懂的就（jiù）看黑體字就可以了！！！！

1.從HEPA高效過濾器效率（lǜ）說起

HEPA—high efficiency particulate air為高效過（guò）濾器（qì）

最早的HEPA 的（de）使用來源於美國軍（jun1）方, 為MIT相關標準。其後歐洲持續優化（huà）自（zì）身規範和標準

目前國家上通行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標（biāo）準。中（zhōng）國國內大部分項目緊跟的是EN1822標準。

IEST規定（dìng）對於MMD=0.3um的顆粒的整體效（xiào）率不低於99.97%為高效;EN1882規定隻要在MPPS的氣（qì）溶膠下通過率大（dà）於99.95%的就可以,也（yě）就是H13以上;
EN1822
從圖中（zhōng）可以看到如下信息:EN1882對於局部穿透率可（kě）以是整體的5倍這（zhè）當然是在MPPS 的粒徑考慮之下;
IEST描述
針對以上的兩張表格,分析如下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的是粒子質量中徑,也就是所（suǒ）有的氣溶膠粒徑（jìng）分布當中50%的質量大於這個值,50%的質量小於（yú）這個值.

因此不要認為IEST的規定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅（jǐn）是針對0.3um的要求.其實這個規定要求的是質量中徑在0.3um的（de）氣（qì）溶（róng）膠群,也就是氣溶膠是單分散相或者多分散相的,是一個範圍內的氣溶膠群體,而絕不是單（dān）一（yī）粒徑的0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子尺寸中徑,也就是有50%的粒子大於這個值.50%的粒子小於這個（gè）值。MMD=0.3um的顆粒們其實它們的CMD大約在0.2um.這（zhè）是因（yīn）為大（dà）顆粒的粒子占（zhàn）有的數量權重（chóng）雖然小,但是質量權重很大。因此（cǐ）在IEST上麵說99.97%@0.3um其實大致等同於（yú）EN1882的MPPS的顆粒直徑.這裏也僅（jǐn）僅是類似（sì），不能完全等同（tóng）。

3).新版的EN1822-2009把以前（qián）的E10 E11 E12均作（zuò）為HEPA的分類劃入高效係列,不同於以前的EN1822-2000;

4).MPPS到底是多少（shǎo）,是需要對某一種濾料,比如某一種玻璃纖維做實驗室測試的。需要至少做5次重複試驗。每次試（shì）驗均要發（fā）單[準]分散相或者多分散相的粒子,布滿整體的0.1-0.5um的區間。最後用曲線做出來最低點。根據現在EN1822的統計,絕大（dà）部分的最易穿透的粒子粒徑在0.1um-0.25um之間的某一個值。從（cóng）商業角度而言,氣溶膠發生器或者LASKIN噴（pēn）嘴噴出的氣（qì）溶膠粒徑不可能（néng）保證（zhèng）為唯一粒徑粒（lì）子,從標準差而（ér）言.σ1.5為多分散。需要注意的是這（zhè）個標準差和粒徑大小沒有直接關係，也就是計算結果和粒徑沒有關係.因（yīn）此嫩草影院可以認為MPPS的（de）粒徑大小在測試的時候不是針對某一個粒徑的而（ér）是針對一個區（qū）間的。這個也就是為什麽MPPS在實（shí）際（jì）現場測試的（de）時候要求測試一個區間範圍內的所有粒子數（shù）量總和;同時也要說明的是不同（tóng）的過濾風（fēng）速（sù）下MPPS是不同的。出廠前需要明確額定濾速（sù）是多少.

5).對於實際的（de）MPPS測試,一般要求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範（fàn）圍（wéi）之內的所（suǒ）有（yǒu）粒子總數。這裏所隱含的條件是氣溶膠的發塵應該（gāi）正（zhèng）好落在（zài）這個範圍之內,而且粒徑的中值（zhí）CMD應該正好（hǎo）等於MPPS[理想化],EN1822規定偏差不能超過10%;

2.氣溶膠發生器

氣溶膠發（fā）生器可以分為若（ruò）幹種,如熱發塵和冷發塵,異凝結發塵和同凝結發塵,在DPMS的幫助下可以保證有單分散相（xiàng）粒徑發出。

壓（yā）縮空氣（qì）多分（fèn）散熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分散冷發塵（chén） MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器 單分散相異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單分散相異凝（níng）結 1.05

自由噴射凝結式（shì）氣溶膠發生器 準單分（fèn）散相自凝結 σ=1.5

氣（qì）溶膠（jiāo）發塵（chén）+DPMS 多分散電移過濾為單（dān）分散相 σ=1.1不穩定

從美國的IEST可以看（kàn）出他們使用的是第一種和第二種,用光度儀（yí）測試質量濃度比;而歐盟采用（yòng）後麵四種進（jìn）行測試，更加合理優越。不過問題在於MPPS不可能直（zhí）接測量一個粒徑值。其實是（shì）一個範圍。很多工廠直接把0.1-0.2um之間（jiān）的粒子數量全部加起來作為MPPS的數量考慮（lǜ）應該是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的。

根據EN1822-5的（de）說（shuō）法,如果是采用單分散相（xiàng）粒子在測試效率（lǜ）的時候是不計量粒子分徑的。直接把所有（yǒu）的粒子數（shù）量加在一起就可以作為上下遊分別的粒子計數了。但是（shì）這裏要注意的是單（dān）分散相（xiàng）也不是真（zhēn）正的單分（fèn）散相還是有各種（zhǒng）粒徑分布的。隻要標準差小（xiǎo）於1.5就可以這麽認為了。

對於多分散相就不（bú）是這麽回事了。因為標準差大於1.5，因此在進行測試的時候要求同時測粒子粒徑分布和（hé）數量。需要注意的是在上（shàng）下遊收（shōu）集的時（shí）候,在MPPS已經知道的（de）情況下,隻需要測（cè）量MPPS/2-MPPS*2分段裏（lǐ）麵的（de）全部或者部分粒子數（shù）量即可。

舉例來說（shuō）明:現在EN已經發現MPPS粒（lì）子一（yī）般坐落於0.1um-0.25um之（zhī）間。這個範圍的最大值與最小值之比為2.5.因此在EN1822-5的（de）要求下,最好取MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或者部分。這是因為實際的光學粒子計（jì）數器（qì）有一個（gè）測量精度問題。大家知道的一（yī）般是測量分（fèn）段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以（yǐ）實際（jì）的結果是大部分廠家（jiā）或者（zhě）測試方最終的計數結果0.1um-0.2um之間的總（zǒng）數作為計量基礎。

根據EN1822要求,最好（hǎo）的測量範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是規範（fàn）也可以要（yào）求在（zài）mpps/2-mpps/1.5之間或（huò）者在mpps*1.5-mpps*2的分段上任選一組作為劑量範圍.因（yīn）此（cǐ）實際的測試可以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種情況下進行計量。

考慮到實際的光學粒（lì）子（zǐ）分析（xī）儀,應該可（kě）以在其中三個分段裏麵任選一個並且選擇全部（bù）的粒子或者部分的粒子（zǐ）。到底怎麽選根據實際的粒子分析儀來。實（shí）際的工程結果是選擇（zé）0.1-0.2um之間的（de）。因為大部分MPPS在0.18um的樣子,因此采用第二種分段發可以在0.09um-0.27um之間選擇部分也就是0.1um-0.2um之間的值作為劑（jì）量標準。

以上是對多分散粒子測試時（shí）候的分析與說明。

3:接收方（fāng）法

一般有兩種（zhǒng）方法（fǎ）。

一種是用於測定質量濃度（dù）的光度計,它不能計數。因此可以用在DOP方法（fǎ）測試H13和H14上麵（miàn）特別是在現場的時候；

另外一種是用粒子計數（shù）器（qì）或者粒（lì）徑（jìng）分析（xī）計數器,它既可以測粒徑也可以測數量。不過需要說明的是不（bú）能認（rèn）為它什麽粒徑（jìng）都能測,它一般（bān）隻能分段測粒徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家想（xiǎng）象的什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑也能分析的一清二楚. 因此實際的接收粒（lì）子MPPS是在一段粒徑之間的。上麵已經說過了。

這是（shì）因為EN1822-3對於濾料測試（shì）的最低MPPS的點是曲線找出來的,而不是實際（jì）測出來的。規（guī）定要求測至少六（liù）種不（bú）同的粒徑（jìng）,通過畫曲線的方（fāng）法找到最低點MPPS。這種方（fāng）法隻（zhī）能用單分散（sàn）相的（de）粒子（zǐ）發生（shēng）器來測試。因此其實找（zhǎo）到的不是單一粒徑,而是一個區間;

並且在EN1822-4和EN1822-5裏麵已經要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒徑,所以這更加說明了是粒（lì）子分（fèn）析隻能測試出某一（yī）段粒徑之間而絕不是細到每一粒徑的;

4. IEST的測（cè）試方法

對（duì）於H13和H14,IEST要求對於其測（cè）試質量濃度就可以了,而對於高要求的U15以上要求用粒子計數器,並且直接讀取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組中的更加（jiā）不利的那一（yī）個數據（jù）.但是並不需要先檢（jiǎn）測（cè）出MPPS值。

對於現場中的（de）DOP檢（jiǎn）測,很多公司使用（yòng）TFI的冷發（fā）塵,由於其屬於多分（fèn）散相，因此其實導致的結果（guǒ）就是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大於0.3um的要求了（le）。因此要求現場的測試質（zhì）量濃度比為99.99%@H13H14是合理（lǐ）的.因（yīn）為這裏的結果已經比0.3um為99.99%在實驗室要求低了。

對於（yú）大（dà）部分的項目（mù）而言,還是使用H14以上的高效比較保險。

5. EN1822測試方法

對於H10以上（shàng）的就需要（yào）測（cè）試MPPS了,對於（yú）測（cè）試方法上麵已經有說明,總體而言就（jiù）是（shì）測包含MPPS的一段區間粒徑的數量;

6:對測試結果（guǒ）的分析

由於現場測試（shì）的隻能是樣本,而且不可能全部都測（cè）.因（yīn）此（cǐ）實際的結果分析采用了泊鬆分布的（de）95%置信區（qū）間的結果。

參（cān）考資料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資料當中提到了統計學相關知識,包括泊鬆（sōng）分布/95%置信區間/標準（zhǔn）差/幾何（hé）標準差