鄂爾多斯hepa高效過濾器

其實（shí）很多人（rén）對於高效（xiào）過濾器的了解還是停留在（zài）表麵上的，

比如（rú）隻知道潔淨室要安裝初（chū）效G4+中效F5+中高效F9+末端的高效H14，但是對於高效過濾器的（de）一（yī）些特性還是不太了解的！

比如效率為針對0.3um的粒（lì）子其濃度不低於99.97%為美國（guó）的A級別高效（xiào）過濾器（qì）,這句話的詳細意思其實並沒有（yǒu）多少人思考！

比如MPPS方法介紹的（de）H14或者U15過濾器的測試粒子的尺寸（cùn）是什麽？

下麵的內容則是我自己以前整理的一些筆（bǐ）記，針對高效過濾器的一些詳細介紹。

不太懂的就看黑體字就可以了！！！！

1.從（cóng）HEPA高效過濾器效率說起

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾器

最早的HEPA 的（de）使用來源於美國軍方, 為（wéi）MIT相關標準。其後歐洲持續優化（huà）自身規範和（hé）標準

目（mù）前國家上通行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中國國內大部分項目（mù）緊跟的是EN1822標準。

IEST規定對於MMD=0.3um的顆粒的整體（tǐ）效率不低於99.97%為高效;EN1882規定隻要（yào）在MPPS的氣（qì）溶膠下通過率大於99.95%的就可以,也就是H13以上;
EN1822
從圖中可以看到如下信息:EN1882對於局部穿透率（lǜ）可以是整體的5倍這當然是在MPPS 的粒徑考慮之下;
IEST描述
針對以上的兩張表格,分析如下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的是粒子質量中徑,也就是所有的氣溶膠粒（lì）徑分布當中50%的質量大於（yú）這個值,50%的質量小於這個值.

因此不要認為IEST的規定（dìng）@0.3um >=99.97% 或者（zhě）@0.3um>=99.99%僅僅是針對0.3um的（de）要求.其實這個規定要求（qiú）的是質量中徑在0.3um的氣溶膠群,也就是氣溶膠是（shì）單（dān）分散相或者多分散相的,是一個範圍內的氣（qì）溶膠群體,而絕不是單一粒徑的0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子尺（chǐ）寸中徑,也就是有50%的粒子大於這個值.50%的粒子小於這個值。MMD=0.3um的（de）顆粒們其（qí）實它們的（de）CMD大約在0.2um.這是因為大顆粒的粒子占有的數量權重雖然小,但是質量（liàng）權重很（hěn）大。因此在IEST上麵（miàn）說99.97%@0.3um其實大致等同於EN1882的MPPS的顆粒直（zhí）徑.這裏也僅（jǐn）僅（jǐn）是類似，不能完全等同。

3).新版的EN1822-2009把以前的E10 E11 E12均作為HEPA的分類劃入高效係列,不同於以前的EN1822-2000;

4).MPPS到底是多少,是需要（yào）對某一種濾料（liào）,比如某一種玻璃纖維做實驗室測試的。需要至少做5次重複（fù）試（shì）驗。每次試驗均要發單（dān）[準（zhǔn）]分散相或者多分散相的粒子,布滿整體的0.1-0.5um的區間。最後用曲（qǔ）線做出（chū）來最低點。根據現在EN1822的統計,絕大部（bù）分的最易（yì）穿透的粒子粒徑在0.1um-0.25um之間的某一個值。從商業（yè）角度而言,氣溶膠發生器或者LASKIN噴嘴（zuǐ）噴出的氣（qì）溶膠粒徑不（bú）可能保（bǎo）證為唯一粒徑粒子,從標準差而言.σ1.5為多分散。需要注（zhù）意的是這個標準差和粒徑（jìng）大小沒有直接關係，也就是（shì）計算結果和粒徑沒有關（guān）係.因此（cǐ）嫩草影院可以認為MPPS的粒徑大小在（zài）測試的時候不（bú）是針對某一個粒徑（jìng）的而是針對一（yī）個區間的。這個也就是為什麽MPPS在實際現場測試的時候要求測試一個區間（jiān）範（fàn）圍內的所有粒（lì）子數量（liàng）總和;同時也要說明的是不同的過濾風（fēng）速下MPPS是不同的（de）。出廠前需（xū）要明確額定濾速是多少.

5).對於實際（jì）的（de）MPPS測試,一般要求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範（fàn）圍之內的所有粒子總數。這裏所隱含的條件是（shì）氣（qì）溶膠的發塵應該正好落在這個範圍之內,而且粒（lì）徑的中值CMD應該（gāi）正好等（děng）於MPPS[理想化],EN1822規定偏（piān）差不能超過10%;

2.氣溶膠發生（shēng）器

氣溶膠發生器可以分為若幹種（zhǒng）,如熱（rè）發塵和冷發塵,異凝結發塵和同凝結發塵（chén）,在DPMS的幫助下可以保證有單分散（sàn）相粒徑發（fā）出。

壓縮空氣多（duō）分（fèn）散熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣（qì）多分散冷發（fā）塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器 單分（fèn）散相異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單分散（sàn）相異凝結 1.05

自由噴射（shè）凝結式氣溶膠發生器 準單分散相自凝結 σ=1.5

氣溶膠發塵+DPMS 多分散電移過濾為單分散相 σ=1.1不（bú）穩（wěn）定

從（cóng）美國（guó）的IEST可以看出他們使用的（de）是（shì）第一種和第二種,用（yòng）光度儀（yí）測試質量濃度比;而歐（ōu）盟采用後（hòu）麵四種進行測試，更加合理優越。不過問題在於MPPS不可能直接測量一個（gè）粒徑值。其實是一個範圍。很多工廠直接把0.1-0.2um之間的粒子數（shù）量（liàng）全部加起來作為（wéi）MPPS的數量考慮應該是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的。

根據EN1822-5的說法,如果是采用單分散相粒子在測試效（xiào）率的時候是不計（jì）量粒子分徑的。直接把所有的粒子數量加在一起就可以作為上下遊分別的粒子計數了。但是這裏要注（zhù）意的是單分散相也不是真正的（de）單分散相還（hái）是有各種粒徑分（fèn）布的。隻要標（biāo）準差小於1.5就可以這麽認為了。

對（duì）於多分散相就不是這麽回事了。因為標準差大於1.5，因此在進行測（cè）試的時候要求同時測粒（lì）子粒徑分布和數量。需要注（zhù）意的是在上下遊收集的時候,在MPPS已經（jīng）知道的情況下,隻需要測量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵的全部（bù）或者部分粒子數量即可。

舉例（lì）來說明:現在EN已經發現（xiàn）MPPS粒子一般坐落於0.1um-0.25um之間。這個範（fàn）圍的（de）最大值與（yǔ）最小值之比為2.5.因此在EN1822-5的要求下,最好取MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或者部分。這是因為實際的光學粒子（zǐ）計數器有（yǒu）一個測量精度問題。大家知道的一般是測量分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等（děng）。所以實際的（de）結果是大部分廠（chǎng）家或者（zhě）測試方最終的計數結（jié）果0.1um-0.2um之間的總數作（zuò）為計（jì）量基（jī）礎。

根據EN1822要求（qiú）,最好的測量範圍（wéi）在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是規範也可以要（yào）求在mpps/2-mpps/1.5之間或者在mpps*1.5-mpps*2的分段上任選一組（zǔ）作為劑量範圍.因此實際的測試（shì）可（kě）以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種（zhǒng）情況下（xià）進行計量。

考慮到實際（jì）的光學粒子分析（xī）儀,應該可以在其中三個分（fèn）段裏麵任選一個（gè）並且選擇全部（bù）的粒子或者（zhě）部分的粒子。到底（dǐ）怎麽（me）選根（gēn）據實際的粒子分析儀（yí）來。實際的工程結果是選擇0.1-0.2um之間的。因為大部分MPPS在0.18um的樣子,因此采用第二種（zhǒng）分段發可以在0.09um-0.27um之（zhī）間選擇部分也就是0.1um-0.2um之（zhī）間的值作為（wéi）劑量標準。

以上（shàng）是對（duì）多分散粒子測試時候的（de）分析與說明。

3:接收方法

一般有兩種方法。

一種是用於測定（dìng）質量濃度的光度計,它不能計數。因此可以用在DOP方法測（cè）試H13和H14上麵特別是在現場（chǎng）的時（shí）候；

另外（wài）一種（zhǒng）是（shì）用（yòng）粒（lì）子計數器或者粒徑分析計數器,它既（jì）可以測粒徑（jìng）也可以測數量。不過需要說明（míng）的是不能認為它什麽粒徑都能（néng）測,它一般隻能分段測粒徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家想象的什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑也能分析的一清（qīng）二（èr）楚. 因此實際的接收（shōu）粒子MPPS是在一段粒徑（jìng）之（zhī）間（jiān）的。上麵已經說過了。

這是因為（wéi）EN1822-3對於濾料測試的最低MPPS的點是曲線找出來的,而（ér）不是實際測出來的。規定要（yào）求測至少六種不同的粒徑,通過畫曲（qǔ）線的方法找到（dào）最低點MPPS。這種（zhǒng）方法隻（zhī）能用單分散相的粒子發生（shēng）器來測試。因此其實找（zhǎo）到的不是單一粒徑,而是一個區間;

並且在EN1822-4和EN1822-5裏麵已經要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒徑,所以這更（gèng）加說明了是粒（lì）子分析隻能測試出某一段粒徑之間而絕（jué）不是細到每一粒徑的;

4. IEST的測試方法

對於H13和H14,IEST要求對於其測試質量濃度就可以了,而對於高要求（qiú）的U15以上要求（qiú）用粒子（zǐ）計數器,並且直接讀取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組中的更加不利的那一個數據.但是並不需要先檢測出MPPS值。

對於現場中的DOP檢測,很多公司（sī）使用TFI的冷發塵,由於其屬於多分散相（xiàng），因此其實（shí）導（dǎo）致的結果就是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大於（yú）0.3um的要求了。因此要求現場的測試質量濃度比為99.99%@H13H14是合理的.因為這裏的結果（guǒ）已經比0.3um為（wéi）99.99%在實驗室要求低了。

對於大部分的項目而言,還是使用H14以上的高效比較保險。

5. EN1822測試方法（fǎ）

對於H10以上的就需要測試MPPS了,對於測試方法上麵已經有說明,總體而言（yán）就（jiù）是測包含（hán）MPPS的一段區間粒徑的數量;

6:對測試結（jié）果的分析

由（yóu）於現場測試的隻能是樣本,而且不可能全部都測.因此實際的結果分析采用了（le）泊鬆分布的95%置信（xìn）區間的結果（guǒ）。

參考資料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資料當中（zhōng）提到了統（tǒng）計（jì）學相關知識,包括泊鬆分（fèn）布/95%置信（xìn）區間/標準差/幾何標準差