防城港hepa高效過濾器

其（qí）實很多人對於高效（xiào）過濾器（qì）的了解還是停留在表麵（miàn）上的，

比如隻知道潔淨室要（yào）安裝初效G4+中效F5+中高效F9+末端的高效H14，但是對於高效過濾（lǜ）器的一些特性還是不太了解的！

比如效率為（wéi）針對0.3um的粒子其濃度（dù）不低於99.97%為美國的（de）A級別高效（xiào）過濾器,這句話的詳細意思其實並沒有多少人思考！

比如（rú）MPPS方法介紹的（de）H14或者U15過濾器的測試粒子的尺寸是什麽？

下（xià）麵的內容則是我自己以前整理的一些（xiē）筆（bǐ）記，針對高效過濾器的一些詳（xiáng）細介紹。

不太懂的就看黑體字就可以了！！！！

1.從HEPA高效過濾器效率說起

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾器

最早的HEPA 的使用來源（yuán）於美國軍（jun1）方, 為（wéi）MIT相關標準。其後歐洲持續（xù）優化自身規範和標準

目前國家上通行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中（zhōng）國國內大（dà）部分項目緊跟的是EN1822標準。

IEST規定對於MMD=0.3um的顆粒的整體效率（lǜ）不低於99.97%為高效;EN1882規定隻要在（zài）MPPS的氣溶膠下通（tōng）過率大（dà）於99.95%的就可（kě）以,也就是H13以上（shàng）;
EN1822
從圖中可以看（kàn）到如下信息:EN1882對於局部穿透率可（kě）以是整體的5倍這當然是在MPPS 的粒徑考慮之下;
IEST描述
針對以上的兩張表格,分析如下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的（de）是粒（lì）子質量中徑,也（yě）就（jiù）是所有的氣溶膠（jiāo）粒徑分布當中50%的質量（liàng）大於這個值,50%的質量小於這個值.

因此不要（yào）認為IEST的規定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅是針對0.3um的要求.其實這（zhè）個規定要求的是質量中徑在0.3um的氣溶膠群,也就（jiù）是氣溶膠是單（dān）分散相或者多分散相的,是一個範圍（wéi）內的氣溶膠群體,而絕不是單一粒徑（jìng）的0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的（de）是粒子尺寸中徑,也就是有50%的粒子大（dà）於這個值（zhí）.50%的粒子小於這個值。MMD=0.3um的顆粒們其實它們的CMD大（dà）約在0.2um.這是因為大顆粒的粒子占有的數量權重雖然小,但是質量權重很大。因此在IEST上麵說99.97%@0.3um其（qí）實大致（zhì）等同於EN1882的MPPS的顆粒直徑.這裏也僅僅是類似，不能完全等同（tóng）。

3).新版（bǎn）的EN1822-2009把以前的E10 E11 E12均（jun1）作為HEPA的分類（lèi）劃（huá）入高效係列,不同於以前的EN1822-2000;

4).MPPS到底是多少,是需（xū）要對某一種濾料,比如某（mǒu）一種玻璃纖維做實驗室測（cè）試的。需要至少做5次重複試驗。每次試驗均要發單[準]分散相或者多分散（sàn）相的粒子,布滿整體的0.1-0.5um的區間。最後用曲（qǔ）線做出來（lái）最低點。根據現在EN1822的統計,絕大部分的最（zuì）易穿透的粒子（zǐ）粒徑在0.1um-0.25um之間的某一個值。從商業角度而（ér）言,氣溶膠（jiāo）發生器或者LASKIN噴嘴噴出的（de）氣溶膠粒（lì）徑不可能保證（zhèng）為唯一粒徑粒（lì）子,從標準差而言.σ1.5為多分散。需要注意的是（shì）這個標準差和粒徑大（dà）小沒有直接關係，也就是計算結果和粒徑沒有關係.因（yīn）此嫩草影院可以認為MPPS的（de）粒徑大小在（zài）測試的時（shí）候不是針對某一（yī）個（gè）粒（lì）徑的而是針對一個區間的。這（zhè）個也就是為（wéi）什麽MPPS在實際現場測試的時候要求測試一個區間範圍（wéi）內的所有粒（lì）子數量總和;同時也要說明的是（shì）不（bú）同的過濾風速下MPPS是不同的。出廠前需要明確額定濾速是多少（shǎo）.

5).對於實際的MPPS測試,一般要求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內的（de）所有粒子總數（shù）。這裏所隱含（hán）的條件是氣（qì）溶膠的發塵應該正好落在這個範（fàn）圍之內,而且粒（lì）徑的中值CMD應該正好等於MPPS[理想（xiǎng）化],EN1822規定偏差不能超過10%;

2.氣溶膠發生器

氣溶（róng）膠發生器可以分為若幹種,如熱發塵和（hé）冷（lěng）發塵,異凝結（jié）發塵和同凝結發塵,在DPMS的幫助下可以保證有單分散相粒徑發出。

壓縮空氣（qì）多分散熱（rè）發（fā）塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多（duō）分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器 單分散相異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單分（fèn）散相異凝結 1.05

自由噴射凝結式氣溶（róng）膠發生（shēng）器 準單分散相自凝（níng）結 σ=1.5

氣（qì）溶膠發塵+DPMS 多分散電（diàn）移過（guò）濾為單分散相 σ=1.1不穩定

從美國（guó）的IEST可以看出他們使用的是第（dì）一（yī）種和第二種,用光度儀測試質量濃度比;而歐盟采用後（hòu）麵四種（zhǒng）進行測試（shì），更加合理優越。不過問題在於（yú）MPPS不可能直接測量一個粒徑值。其實是一個範圍。很多工廠直接把0.1-0.2um之間的粒子數量全部加起來作為MPPS的數量考慮應該是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的。

根據EN1822-5的說法（fǎ）,如果是采用單分散相粒子在測試效率的時候是不計量粒（lì）子分徑的。直接把所有（yǒu）的（de）粒子數量加在一起就可以作為上下遊分別的粒子計數了。但是（shì）這裏（lǐ）要注意的是單分散相也不是真正的單分（fèn）散相還是有各種粒徑分布的。隻要標準差小於1.5就可以這（zhè）麽（me）認為了。

對於多分散相（xiàng）就不是這（zhè）麽回事了。因（yīn）為標準差大於1.5，因此在進行測試的時候要求同時測粒子粒徑（jìng）分布和數量。需要注意的是在上下遊（yóu）收集（jí）的時候,在MPPS已經知道（dào）的情況下,隻需要測量（liàng）MPPS/2-MPPS*2分段裏麵的全部或者部分粒子數量即可。

舉例來說明:現（xiàn）在EN已經發現MPPS粒子一般坐落於0.1um-0.25um之間。這個範（fàn）圍的最大值與最（zuì）小值之比為2.5.因此在EN1822-5的（de）要求下,最好取MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或（huò）者部分。這是因為實際（jì）的光學粒子計數器有一（yī）個測量精度（dù）問題。大（dà）家知道的一般是測量分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以實際的結果（guǒ）是大（dà）部（bù）分廠家或者測試方最終的計數結果0.1um-0.2um之間的總數作為計量基礎。

根據（jù）EN1822要求,最好的（de）測量範圍（wéi）在mpps/1.5-mpps*1.5之（zhī）間。但是規範也可以要求在mpps/2-mpps/1.5之（zhī）間或（huò）者（zhě）在mpps*1.5-mpps*2的分段上任（rèn）選一組作為劑量（liàng）範圍.因此實際的測試可以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種情況下進行計量。

考慮到實際的（de）光學粒子分析儀,應（yīng）該可以在其中三個分段裏麵任選一個並且選擇全部的粒子或者部分（fèn）的粒（lì）子（zǐ）。到底（dǐ）怎麽選根據實際（jì）的粒子分析儀來。實際的工程結果是選擇0.1-0.2um之間的。因為大部（bù）分MPPS在0.18um的樣子,因此采用第二種分段發可以在0.09um-0.27um之間選擇部分也就是0.1um-0.2um之間的值作為劑量標準。

以上是對多分散粒子測試時候的分析與說明。

3:接收方法

一般有兩種方法（fǎ）。

一種是用於測定質量濃（nóng）度的光度計,它不能計（jì）數。因此可以用在（zài）DOP方法測試H13和H14上麵特別是（shì）在現場的時候；

另外（wài）一種是用粒子計數器（qì）或者（zhě）粒徑分析計數（shù）器,它既可以測粒徑（jìng）也可以測數量。不過需要（yào）說（shuō）明的是不能認為它什麽（me）粒徑都能測,它一般（bān）隻能分（fèn）段測粒徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家想象的（de）什麽0.111um,0.157um,0.18um這（zhè）樣的粒徑也能分析的一清二楚. 因此實際（jì）的接收粒子MPPS是在一段粒徑之間的。上麵已經說過了。

這是因為（wéi）EN1822-3對於濾料測試的最低MPPS的點是（shì）曲線找出來的（de）,而不是實際測出來的。規（guī）定要求測至少六種不（bú）同的（de）粒徑,通過（guò）畫曲線的方法找到最低點MPPS。這種方（fāng）法隻能用單分散相的粒子發生器來測試。因此其實（shí）找到的不是（shì）單一粒徑,而是一個區間;

並且在EN1822-4和EN1822-5裏麵已經要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒徑,所以這更加（jiā）說明了是粒子分析隻能測試（shì）出某一段粒徑之間（jiān）而絕不是細到（dào）每一（yī）粒徑的;

4. IEST的測試方法

對於H13和H14,IEST要求對於其測試質量（liàng）濃度就可以了（le）,而對於高要求的U15以上要求用粒子計數器,並且直接讀取（qǔ）0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組中的更加不利的那一個數據.但是並不需要先（xiān）檢測出MPPS值（zhí）。

對於現場中的DOP檢測,很多公司使（shǐ）用TFI的冷發塵,由於其屬於多分散相，因（yīn）此其實導致的結果就是CMD在0.4um,MMD在（zài）0.7um,已經大於0.3um的要求了。因此要求現場的測試質量濃度比為99.99%@H13H14是合理的.因為這裏的結果已經比0.3um為99.99%在實驗室要求低了。

對（duì）於大部分的項目而言,還是使用H14以上的高效比較保險。

5. EN1822測試（shì）方法

對於H10以上的就需要測試MPPS了,對於測試方法上麵已經有說明,總體而言就是測包含MPPS的一段區間粒徑的（de）數量;

6:對測試結果的（de）分析

由於現場測試的隻能是樣（yàng）本,而且不可能全部都測.因（yīn）此實際的結（jié）果分析采用了泊鬆分布的95%置信區間的結果。

參考資料（liào）

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資料當中提到了統計學相關知識,包括泊鬆分布/95%置信區間/標準差/幾何標準差