鶴崗hepa高效過濾器

其實很多人對於高效過濾器的（de）了解還是停留在表麵上的，

比如隻知道潔淨室要安裝初效G4+中效F5+中高效F9+末端的高效H14，但是對於高效過濾（lǜ）器的一些特性還是不太了解的！

比如（rú）效率為針對0.3um的粒子其濃度（dù）不低於99.97%為美國的A級別高效過濾器,這句話的詳細意（yì）思其實並沒有多少人思考！

比如（rú）MPPS方法介紹的H14或者（zhě）U15過（guò）濾器的測試粒子的尺寸是什麽？

下麵的內容則（zé）是我自己以前整理的一些筆記，針對高效過濾（lǜ）器的一些詳細介紹。

不太懂的就看黑體字就可以了！！！！

1.從HEPA高效過濾器效率說起

HEPA—high efficiency particulate air為高效（xiào）過濾器

最早的（de）HEPA 的使用來源於美國軍方（fāng）, 為MIT相關標準。其後歐洲持續優化自身規範和標準（zhǔn）

目前國家上通（tōng）行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三（sān）大標準。中（zhōng）國國內大部分項目緊跟的是EN1822標（biāo）準。

IEST規定對於MMD=0.3um的顆粒的整體（tǐ）效率不低於99.97%為高效;EN1882規定隻要在MPPS的氣溶膠下通過率（lǜ）大於（yú）99.95%的就可（kě）以（yǐ）,也就是H13以上;
EN1822
從圖中（zhōng）可以看到如下信息:EN1882對於（yú）局部穿透率可以是整體的5倍（bèi）這（zhè）當然（rán）是在（zài）MPPS 的粒徑考慮之（zhī）下;
IEST描述
針對以上（shàng）的兩張表（biǎo）格,分析如下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的是粒子質量中徑,也就是所有（yǒu）的氣（qì）溶膠粒徑分布（bù）當中50%的質量（liàng）大於這個值,50%的質量小於這個值.

因（yīn）此不要認為IEST的規定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅是針（zhēn）對0.3um的要求.其實這個規定要求的是質量中徑（jìng）在0.3um的氣溶膠群,也就是氣溶膠是（shì）單分（fèn）散相（xiàng）或者多分散相的,是一個範圍內的氣（qì）溶膠群體,而絕不是單一粒徑的0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子尺寸中徑,也（yě）就（jiù）是有（yǒu）50%的粒子大於這個值（zhí）.50%的粒子小於這個值。MMD=0.3um的顆粒們其實它們的CMD大約在0.2um.這是（shì）因為大顆粒（lì）的粒子占有的數量（liàng）權重雖然小（xiǎo）,但是質量權重很大。因此在IEST上麵說99.97%@0.3um其實大致等同於EN1882的MPPS的顆粒直徑（jìng）.這裏也僅僅是類似，不能（néng）完全等同。

3).新版的EN1822-2009把以前的E10 E11 E12均作（zuò）為HEPA的分類劃入高效係列,不同於以前的EN1822-2000;

4).MPPS到底是多少,是需要對某一種濾料,比如某一種玻璃纖維（wéi）做實驗室測（cè）試的（de）。需要至少做5次重（chóng）複（fù）試驗。每次（cì）試驗均要發單[準]分散相或者多分散相的粒子,布（bù）滿整體的0.1-0.5um的區間。最後用曲線做出來最低點。根據現（xiàn）在EN1822的統計,絕大部分的最易穿透的粒子粒徑在0.1um-0.25um之間的（de）某一個值。從商業角度而言,氣溶膠發生器或者LASKIN噴嘴噴出的氣（qì）溶膠粒徑（jìng）不可能保證為（wéi）唯一粒徑粒子,從標準差而言.σ1.5為多分散。需要注意的是（shì）這個標準差和粒徑大小沒有直接關係，也就是計（jì）算結果和粒徑沒有關係.因此嫩草影院可以認為MPPS的粒徑大小在測試的時候不是針對某一個粒（lì）徑的（de）而（ér）是針對一個區間的。這個也就是為什麽MPPS在實際現場測試的時候要求測試一個區間範圍內的所有粒子數（shù）量總和;同時也要說明的是不同的過濾風速下MPPS是不同（tóng）的。出廠前需要明確額定濾速是多少.

5).對於實際的MPPS測試,一般要（yào）求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍（wéi）之內的所有粒子總數。這裏所隱含的條件是氣溶膠的發塵應該正好落（luò）在這個範圍之內（nèi）,而且粒徑的中值CMD應該正好等於MPPS[理想化],EN1822規（guī）定偏差不能超過10%;

2.氣溶膠發生器

氣溶膠發生器可以分為若幹種,如熱發塵和冷發塵,異凝結發塵和同凝結發塵,在DPMS的（de）幫助下（xià）可以保證有單分散相粒徑發出。

壓縮空氣多分（fèn）散熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠（jiāo）發生器 單分散（sàn）相異凝結（jié） 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單分散（sàn）相異凝結 1.05

自由（yóu）噴射凝（níng）結式氣溶膠發生器 準（zhǔn）單分散相自凝結 σ=1.5

氣溶膠發（fā）塵（chén）+DPMS 多分散電移過濾為單分（fèn）散相 σ=1.1不穩（wěn）定

從美國（guó）的IEST可（kě）以（yǐ）看出他們使用的是第一（yī）種和第二（èr）種,用光度儀測試質量（liàng）濃度比;而歐盟（méng）采用（yòng）後麵四種進（jìn）行測試，更加合理優越（yuè）。不（bú）過問題在於MPPS不可能直接測量一個粒徑值。其實是一個範圍。很多（duō）工廠（chǎng）直接把0.1-0.2um之間的粒子數量全部加起來作為MPPS的數量考慮應該是符（fú）合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的。

根據EN1822-5的說法,如果是采用單分散相粒子在測試效（xiào）率的時（shí）候（hòu）是不計量粒子分徑的。直接把所有的粒子數量加在一起就可以作（zuò）為上下遊分別的粒子計數了（le）。但是這裏要注意的（de）是單分散相也不是真正的單（dān）分（fèn）散相（xiàng）還是有各種（zhǒng）粒（lì）徑分布的。隻要標準（zhǔn）差小於1.5就可以這麽認為了。

對於多分（fèn）散相就不是這麽回事（shì）了。因為標準差大於1.5，因此在進行測試的時候要求同時測粒（lì）子粒徑分布和數量。需（xū）要注意（yì）的是在上下遊收集的時候,在MPPS已經知道的情況（kuàng）下,隻需要測量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵的全部或者部分粒子數量即可。

舉（jǔ）例來說明:現在EN已經發現MPPS粒子一般坐落於0.1um-0.25um之間。這個範圍的（de）最大（dà）值與（yǔ）最小值之比為2.5.因此在EN1822-5的要求下,最好取MPPS/2-MPPS*2的（de）全部範圍或者部分。這是因為（wéi）實（shí）際的光學粒子計數器有一個（gè）測量精度問題。大家知道的一般是測量分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以實際的結果是大（dà）部分廠（chǎng）家或者測試方最終的計數結（jié）果0.1um-0.2um之間的（de）總數作為計量（liàng）基礎。

根據EN1822要（yào）求,最好的測量範圍（wéi）在mpps/1.5-mpps*1.5之間（jiān）。但是規範也可以要（yào）求在mpps/2-mpps/1.5之（zhī）間或者在mpps*1.5-mpps*2的分段上任選一組作為劑量範圍.因此實際的測試可以在（zài）

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三（sān）種情況下進行計量。

考慮到實際的光學（xué）粒（lì）子分析儀,應該（gāi）可以在其中（zhōng）三個分段裏麵任選一個並（bìng）且選擇全部的粒子或者部分的粒子。到底怎麽選（xuǎn）根據實際的粒子分析儀來。實際的工程結果是（shì）選擇0.1-0.2um之間的。因為大部分MPPS在0.18um的樣子,因此采用第二種分段發可以在0.09um-0.27um之間選擇部分也就是0.1um-0.2um之間的值作為劑（jì）量（liàng）標準。

以上是對多分（fèn）散粒子測（cè）試時候的（de）分析與說（shuō）明。

3:接收方法

一般有兩種方法。

一（yī）種是用於測定（dìng）質量濃度（dù）的光度計（jì）,它不能計數。因此可以用在DOP方法（fǎ）測試H13和H14上麵特別是在現場的時候；

另外一種是用粒子計數器或者粒徑分析計數器（qì）,它既可以測粒徑也可以測數量。不過需要說明的是不能認為它什麽粒徑都能測,它一般隻能分段測粒徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家想象的什（shí）麽0.111um,0.157um,0.18um這（zhè）樣的粒徑也能分析的一清二楚. 因此實際的（de）接收粒子（zǐ）MPPS是在一段粒徑之間的。上麵已經說過了。

這（zhè）是因為EN1822-3對於濾料測試的最低MPPS的點是曲線（xiàn）找出（chū）來的（de）,而不是實際（jì）測出來（lái）的。規定要求測至少六種不同的粒徑,通過畫曲線的方法找到最低點MPPS。這種方法隻能用單分散相的粒子發生器來測試。因（yīn）此其實找到（dào）的不是單一粒徑,而是一（yī）個區間;

並且在EN1822-4和EN1822-5裏麵已經要求（qiú）了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒徑,所以這更加說明了是粒（lì）子（zǐ）分析隻能測試出（chū）某一段粒徑之間而絕不（bú）是細到每一粒徑的;

4. IEST的測試方法

對於H13和H14,IEST要求對於其測（cè）試質量濃度就可以了,而（ér）對於高要求的（de）U15以上要求用粒子計數器,並且直接讀取0.1um-0.2um或（huò）者0.2um-0.3um兩組中的更加不（bú）利的那一個數據.但是並不需要先（xiān）檢測出MPPS值（zhí）。

對於現場中的（de）DOP檢測,很多（duō）公司使（shǐ）用TFI的冷發塵,由（yóu）於其屬於多分散相，因此其實導致的結果就是CMD在0.4um,MMD在（zài）0.7um,已經大於0.3um的要求了（le）。因（yīn）此（cǐ）要求現場的（de）測（cè）試（shì）質（zhì）量濃（nóng）度比為99.99%@H13H14是合理的.因為這裏的結果已經比0.3um為99.99%在實驗室要求低了。

對於大部分的項目而言,還是使用H14以上的高效比較保險。

5. EN1822測（cè）試方法

對於H10以上的就需要測試MPPS了,對於測試方法上麵已經有說明,總體而言就是測包含MPPS的（de）一段區間粒徑的數量;

6:對測試結果的分析

由於現場測試的（de）隻能是樣本,而且不（bú）可能全部都測（cè）.因此實際的結果分析采用了泊鬆分布的（de）95%置信（xìn）區間的結果。

參（cān）考（kǎo）資料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資料當中提到了統計學相關知識（shí）,包括泊鬆分布/95%置信區間/標準差/幾（jǐ）何標準差