呼倫內爾hepa高效過濾器

其實很多人對於高效過濾器的了解還是（shì）停（tíng）留在表麵上的，

比如隻知道潔淨室要安（ān）裝初效G4+中效F5+中高效F9+末端的高效H14，但是（shì）對於高效過濾器的一些（xiē）特性還是不太了解的！

比如（rú）效率為針對0.3um的粒子其濃度（dù）不低於（yú）99.97%為美國的A級別高效過濾器,這（zhè）句話的詳細（xì）意思其實並沒有多少（shǎo）人思考！

比如MPPS方法介紹（shào）的H14或者U15過濾器的測（cè）試粒（lì）子的尺（chǐ）寸是什麽？

下麵的內容則是我自己以前整理的一些筆記，針對高效過濾器的一些（xiē）詳細介（jiè）紹。

不（bú）太懂的就看黑體（tǐ）字就可以了！！！！

1.從（cóng）HEPA高效過濾器效率說起

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾器

最早的HEPA 的使用來（lái）源於（yú）美國軍方, 為MIT相關標準。其後歐洲持續優化（huà）自身規範和標準

目前國家上通行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中國國內大部分項目緊跟的是EN1822標準。

IEST規定對於MMD=0.3um的顆粒的整體效率不（bú）低於99.97%為高效;EN1882規定（dìng）隻要在MPPS的氣溶膠下通過率大於99.95%的就可以,也就是H13以上（shàng）;
EN1822
從圖（tú）中可以看到如下信息:EN1882對於局部穿透率可以是整體的5倍這當然是在MPPS 的粒徑考慮（lǜ）之下;
IEST描述
針對以上的兩張表格,分析（xī）如下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的是粒子質量中徑,也就是所有的氣溶膠粒徑分（fèn）布當中50%的質量（liàng）大（dà）於這個（gè）值,50%的（de）質量小於這個值.

因此不（bú）要認為IEST的規（guī）定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅是針對0.3um的要求（qiú）.其（qí）實這個規定要求的是（shì）質量中徑在0.3um的氣溶膠（jiāo）群,也就是氣（qì）溶膠是單分散（sàn）相或者多分（fèn）散相的,是一個範（fàn）圍內的氣溶膠群體（tǐ）,而（ér）絕不（bú）是單一粒徑（jìng）的0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒（lì）子尺寸（cùn）中徑,也就是有50%的粒子大於這個值.50%的粒（lì）子小於這（zhè）個（gè）值。MMD=0.3um的顆粒們（men）其實它們的CMD大約在0.2um.這（zhè）是因為（wéi）大顆粒的粒子占有的數量權重雖然小,但是質量權重很大。因（yīn）此在IEST上（shàng）麵說99.97%@0.3um其（qí）實大致等同於EN1882的（de）MPPS的顆（kē）粒直徑.這裏也僅僅是類似，不（bú）能完（wán）全等同。

3).新版的EN1822-2009把以前的E10 E11 E12均（jun1）作為（wéi）HEPA的分類劃入高效係列,不同於以前的EN1822-2000;

4).MPPS到底是多少,是需要對某一種濾料,比如某一種玻璃纖維做實驗室測（cè）試的。需要至少做5次重複（fù）試驗。每次試驗均要發單[準]分散（sàn）相或者多分散相的粒子（zǐ）,布滿整體的（de）0.1-0.5um的區間。最後用曲線做出來最低點。根據現在（zài）EN1822的統計,絕大部（bù）分的最易（yì）穿透的粒子粒（lì）徑在0.1um-0.25um之間的（de）某一個值。從商業角度而言,氣溶膠（jiāo）發生器或者LASKIN噴嘴噴出的氣溶膠粒徑不可能（néng）保證為唯一粒徑粒子,從標準差而（ér）言.σ1.5為多分散。需（xū）要注意（yì）的是這個標準（zhǔn）差和粒徑大小沒有直接關係，也就是計（jì）算結果和粒徑沒有關係.因此嫩草影院可以認為MPPS的粒徑大小在測試的時候不是針對某一個（gè）粒徑的而是針對一個（gè）區間的。這個也就是為什麽MPPS在實際現場測試的時候要求測試一（yī）個區間範圍內的所有（yǒu）粒子數量總和;同時也要說明的是不同的過濾風速下MPPS是不同（tóng）的。出廠前需要明確額定濾速是多少.

5).對（duì）於（yú）實際（jì）的MPPS測試,一般要求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內的（de）所有粒子總數（shù）。這裏所隱含的條件是氣溶膠的發塵應該正好落（luò）在這個範圍之內,而且粒（lì）徑的中值CMD應該正好等於MPPS[理想化],EN1822規定偏差不能超（chāo）過10%;

2.氣（qì）溶膠（jiāo）發生器

氣（qì）溶膠發生器可以分為若幹種,如熱發塵和冷（lěng）發塵,異凝結發塵和同凝結發塵,在DPMS的幫助下可以保證有單分散相粒徑發出。

壓縮空氣多分散熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分散（sàn）冷發（fā）塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器 單分散（sàn）相異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單分散相異凝結 1.05

自由噴射凝結式氣溶膠發生器 準單分散相自凝結（jié） σ=1.5

氣溶膠發塵+DPMS 多分散電移過（guò）濾為單分散相 σ=1.1不穩定

從美國（guó）的（de）IEST可以看出他們使用的是第一種和第二種,用光度儀測試質量濃度比;而歐盟采用後麵（miàn）四種進行測試，更（gèng）加合理（lǐ）優越。不過問題在（zài）於MPPS不可（kě）能直（zhí）接（jiē）測量（liàng）一個粒徑值。其實是一個範圍。很多工廠直接把0.1-0.2um之間的粒子數量（liàng）全部加起來作為MPPS的數量考慮應該是符（fú）合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的（de）。

根據（jù）EN1822-5的說（shuō）法,如果是采用單分散（sàn）相粒子在測試效率的時（shí）候是不計量粒（lì）子分徑的。直接把所有的粒子數（shù）量加（jiā）在一起就（jiù）可以作為（wéi）上下遊分別的粒子計數了。但是（shì）這裏（lǐ）要注意的是單（dān）分散相也不是真正的單分散相還是有各種粒徑分（fèn）布的。隻要標（biāo）準差小於1.5就可以這麽認為了。

對於（yú）多分散相就不是（shì）這麽回事了。因為標準差大於1.5，因此在（zài）進行測試的時候要求同時（shí）測粒子粒徑分布和數量。需要注意的是在上下遊收集的時候,在MPPS已經知道的情況下,隻需要測量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵（miàn）的全部或者部分粒子（zǐ）數量即（jí）可。

舉例來說明:現在（zài）EN已經發現MPPS粒（lì）子一般坐落於0.1um-0.25um之間。這個範圍的最大值與最小值之比為2.5.因此在EN1822-5的要求下（xià）,最好取MPPS/2-MPPS*2的全部範（fàn）圍或者部分。這是因為實際的光學粒子計數器有一個測量（liàng）精度問題。大（dà）家知道的一（yī）般是測量分段（duàn）為（wéi）0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所（suǒ）以實際的結果是大部分廠家或者測試（shì）方最終（zhōng）的計數結果0.1um-0.2um之間的總數作為（wéi）計（jì）量基礎（chǔ）。

根據EN1822要求,最好的測量範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但（dàn）是規範也可（kě）以要求在mpps/2-mpps/1.5之間或者在mpps*1.5-mpps*2的分（fèn）段上（shàng）任選一（yī）組作為劑量範圍.因此實際的測試可以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種情況下進行計量。

考慮到實際（jì）的光學粒子分析儀（yí）,應該可以在其中三個分段裏麵任選一個並且選擇全部的粒子或（huò）者部分的粒（lì）子。到底怎麽選根（gēn）據實際的粒子分析儀來。實際的工程結果是選擇0.1-0.2um之間（jiān）的。因為大（dà）部分MPPS在0.18um的樣（yàng）子,因此采用（yòng）第二種分段發可以在（zài）0.09um-0.27um之間選（xuǎn）擇部分也就是0.1um-0.2um之間的值（zhí）作為劑量標準（zhǔn）。

以上是（shì）對多分散粒子測試時候的分析與說明。

3:接收方法

一般有兩種方法。

一種是用（yòng）於測定質量濃度的光度計,它不（bú）能計數。因此（cǐ）可以用在DOP方法（fǎ）測試H13和H14上麵特別是在現（xiàn）場（chǎng）的時候；

另（lìng）外一種是用粒子計數器或者粒（lì）徑分析計數器,它既可以（yǐ）測粒徑也可以測數量。不過需要說（shuō）明的是不能認為它什麽粒徑都能測,它一般隻能分段測（cè）粒徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家想象的什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑也能分析的一清二楚. 因此實際的接收粒子MPPS是在一段粒徑（jìng）之（zhī）間的（de）。上麵已經說過了。

這是（shì）因為EN1822-3對於濾料測試的最低MPPS的點是曲線找出來的,而不是實際（jì）測出來（lái）的。規定要求（qiú）測至少六種不（bú）同（tóng）的粒徑,通過畫曲線的方（fāng）法找到最低點MPPS。這種方法隻能（néng）用單分散相的粒子發生器來測（cè）試。因此其實找到的（de）不是單（dān）一粒徑,而（ér）是一個區間;

並且（qiě）在EN1822-4和EN1822-5裏麵已經要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒徑,所以這更加說明了是粒子分析隻能測試出某（mǒu）一段（duàn）粒徑之（zhī）間而絕（jué）不是細到每一粒徑的;

4. IEST的測試方法

對於H13和H14,IEST要求對（duì）於其測試質量濃度就可以了,而對於高要求的U15以上要求用粒子計數器（qì）,並且直接讀取0.1um-0.2um或者（zhě）0.2um-0.3um兩組中的更（gèng）加不（bú）利的（de）那一個數據.但是並不（bú）需要先（xiān）檢測出MPPS值。

對於現場中的DOP檢（jiǎn）測（cè）,很多公司使用TFI的（de）冷發塵,由於其屬於多分散相，因此其（qí）實導致的結果就是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大於0.3um的要（yào）求了。因此要求現場的測試質量濃度比為99.99%@H13H14是合理的.因為這裏的結果已經比0.3um為99.99%在實驗室（shì）要求低了。

對（duì）於大部分的項（xiàng）目而言,還是使用（yòng）H14以上的高效比較保（bǎo）險。

5. EN1822測試方法

對於H10以上的就需要測試MPPS了,對於測試方法上麵已經有說明,總體而言就是測包含MPPS的一段區間粒徑的數量;

6:對測試結果的（de）分（fèn）析（xī）

由於現場測（cè）試的隻能是樣本,而且不可能全部都測.因此實際的結果分析采用（yòng）了泊鬆分（fèn）布的（de）95%置信（xìn）區（qū）間的結果。

參考資（zī）料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資料當中提到了統計學相關知識,包括泊鬆分布/95%置信區間/標準差/幾何（hé）標（biāo）準差