喀什hepa高效過濾器

其實很（hěn）多人對於高效過濾器的了解還是停留在表麵上的，

比如隻知道潔淨室要安裝初效G4+中（zhōng）效F5+中高效F9+末端的（de）高（gāo）效H14，但是對於（yú）高效過濾器的一些特性還是不太了（le）解的！

比如效率（lǜ）為針對0.3um的粒子其（qí）濃度不低於99.97%為（wéi）美國的A級別高效過濾器,這句話的詳細意思其實並（bìng）沒有多少人思考！

比如（rú）MPPS方法介紹的H14或者U15過（guò）濾器的測（cè）試粒（lì）子的（de）尺寸是（shì）什麽？

下麵的內容（róng）則是我自己以前整理的一些筆記，針對高（gāo）效過（guò）濾器的一些詳細介紹。

不太懂的就看黑體字就可以（yǐ）了！！！！

1.從HEPA高效過（guò）濾器效率說起

HEPA—high efficiency particulate air為（wéi）高效過濾器

最早的HEPA 的（de）使（shǐ）用來源於美國軍方, 為MIT相關標準。其後歐洲持續優化自身規範（fàn）和標準

目前國家上通行的是（shì）IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大（dà）標準。中國國內大部分項目（mù）緊跟的是EN1822標準。

IEST規定對於MMD=0.3um的顆粒的整體效率不低於99.97%為高效;EN1882規定隻要在MPPS的氣溶（róng）膠下通過（guò）率大於99.95%的就可以（yǐ）,也就是H13以上;
EN1822
從圖中可以看（kàn）到如下信息:EN1882對於局部穿透率可（kě）以是整體的5倍這當然是在MPPS 的粒徑（jìng）考慮之下;
IEST描述
針對以（yǐ）上的兩（liǎng）張表格,分析如下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的是粒子（zǐ）質量中徑,也就是所有（yǒu）的（de）氣溶膠粒（lì）徑分布當中50%的質量大於這個值,50%的質量小（xiǎo）於這個值.

因此（cǐ）不要認為IEST的規定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅是針對0.3um的要求.其實這個（gè）規定要求的是質量中徑在0.3um的氣溶膠群,也就是氣（qì）溶膠是單分（fèn）散相或者多分散相的,是（shì）一個（gè）範圍（wéi）內的氣溶膠群體,而（ér）絕不（bú）是單一粒徑的0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指（zhǐ）的是粒子尺寸（cùn）中徑,也就是有50%的粒子大（dà）於這個值.50%的粒子小於這個值。MMD=0.3um的顆粒（lì）們其實它們的CMD大（dà）約在0.2um.這是因為大顆粒的（de）粒子占有的數（shù）量權重雖然小,但是質（zhì）量權重很大。因此在IEST上麵（miàn）說99.97%@0.3um其實大致等同於EN1882的MPPS的顆粒直（zhí）徑.這裏也僅僅是類似，不（bú）能完全等（děng）同。

3).新版的EN1822-2009把以前的E10 E11 E12均作為HEPA的分類劃入高效係（xì）列,不同於以前的（de）EN1822-2000;

4).MPPS到底是（shì）多少,是（shì）需要對某一種濾料（liào）,比（bǐ）如某一種玻璃纖維做實驗室測試的（de）。需要（yào）至少做5次重複試驗。每次試驗均要（yào）發單[準]分散相或者（zhě）多分散相的粒子,布滿整體的0.1-0.5um的區間。最後用曲線做出來最低點。根據現在EN1822的統計,絕大部分（fèn）的最（zuì）易穿透的（de）粒子粒（lì）徑（jìng）在0.1um-0.25um之間的某一個值。從商業角度而言,氣溶膠發生（shēng）器或者LASKIN噴嘴噴出的（de）氣溶膠粒徑不可能保證為唯一粒（lì）徑（jìng）粒子,從標準（zhǔn）差而言.σ1.5為多分散。需要注（zhù）意的是這個標準（zhǔn）差和粒徑大小沒有直接關係，也就是計算結果和粒徑沒有關係（xì）.因此嫩草影院可以認為MPPS的粒徑大小在測試的（de）時候不是針對某一個粒徑的而是針對一個區間的。這個也就（jiù）是為什麽MPPS在（zài）實際現（xiàn）場測（cè）試的時候要求測試一（yī）個區間範圍內的所有粒子數量總和;同（tóng）時也要說明的是不同的過濾風速（sù）下MPPS是不同的（de）。出廠前需要明（míng）確（què）額定濾速是多少.

5).對（duì）於實際的MPPS測試,一般要求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內的所有粒子（zǐ）總數。這裏所隱含的（de）條件是氣（qì）溶膠的發塵應該正好落在這個範（fàn）圍之內（nèi）,而且粒徑的中值CMD應該正好等於（yú）MPPS[理想化],EN1822規定偏差不能超過10%;

2.氣溶膠發生器

氣溶膠發生器可以分為若幹種,如熱發塵和冷發塵,異凝結發塵和同凝結（jié）發塵,在DPMS的幫助下可（kě）以保證有（yǒu）單（dān）分散相粒徑發出。

壓縮空（kōng）氣多分散熱發塵（chén） MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶（róng）膠發（fā）生器 單分散相異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單分散相異凝結 1.05

自由噴（pēn）射凝（níng）結式氣溶膠發生器 準（zhǔn）單分散相自凝結 σ=1.5

氣溶膠發塵+DPMS 多分散電移過濾為單分散相 σ=1.1不穩定

從美國的IEST可以看出他們使用的是第一（yī）種和第二種,用光度儀測試質量濃度比（bǐ）;而歐盟采用後麵四種進行測（cè）試，更加合理優越。不過問題在於MPPS不可能直接測量一個粒徑值。其（qí）實是一個範圍。很多工廠（chǎng）直接把0.1-0.2um之間的粒子數量（liàng）全部加起來作為MPPS的數（shù）量考慮（lǜ）應該是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的。

根據EN1822-5的說法,如果是采用單分散相粒子在測試效率的（de）時候是不計量粒子分徑（jìng）的。直接把所有的粒子數量加在一起就可以作為上下遊分別的粒子計數了。但是這裏要注意的是單（dān）分散相也不是真正的單分散（sàn）相還是有各種粒徑（jìng）分布的。隻要標準差小於1.5就（jiù）可以這麽認為了。

對於多分散相就不是這麽回事了。因為標準差大（dà）於1.5，因此在進行（háng）測試的時候要求同時（shí）測粒子粒徑分布和數量（liàng）。需要（yào）注意的是在上下遊收集的時候,在MPPS已經知道的情況下,隻需要測量MPPS/2-MPPS*2分段裏（lǐ）麵的全部或者部分粒子數量即可。

舉例來說明:現在EN已經發（fā）現MPPS粒子一般坐落（luò）於0.1um-0.25um之間。這個範圍的最大值與最小值之比為2.5.因此在EN1822-5的要求下,最好取MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或者部分。這是（shì）因為實際的光學粒子計數器有一個測（cè）量精度問題。大家知道的一般是測（cè）量分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以（yǐ）實際的結果是大部分廠家或者測試方最（zuì）終的計數結果0.1um-0.2um之間的總數作為（wéi）計量基礎。

根據EN1822要求,最好的測量範（fàn）圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是（shì）規範也可以要求（qiú）在mpps/2-mpps/1.5之（zhī）間或（huò）者在mpps*1.5-mpps*2的分段（duàn）上任選一組作為劑量範圍.因此實際的測試可以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種情況下進（jìn）行計量。

考慮到實際的（de）光學粒子分析儀（yí）,應該（gāi）可以在其中三個分段裏麵任選一個並且選擇全部的粒子或者部分的粒（lì）子。到底怎麽選根據實際的粒子分析儀來。實際（jì）的工程結果是選擇0.1-0.2um之間的。因為大部分MPPS在0.18um的樣子,因此采用第二種分段發可以（yǐ）在0.09um-0.27um之間選擇部分也（yě）就是0.1um-0.2um之間的（de）值作為劑量標準。

以上是對多分散粒子測試時候的分析與說（shuō）明。

3:接收方法

一般有兩（liǎng）種方法。

一種是用於測定質量濃度（dù）的（de）光度（dù）計,它不能計數。因此（cǐ）可（kě）以用在DOP方法測試H13和H14上麵特別是在現場的時候；

另外一種是用粒子計數器或者粒徑分析計數器,它既可以測粒徑也可以測數量。不（bú）過需要說明的是不能認為它（tā）什麽粒徑都能測,它一般隻能分段測粒徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而（ér）不是大（dà）家想（xiǎng）象的（de）什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑也能分析的一清二楚. 因此實際的接收粒子MPPS是在一段粒徑之間的。上麵已經說過了。

這是因為（wéi）EN1822-3對於濾料測試的最低MPPS的（de）點是曲線找出來的,而不是實際測出來的。規定（dìng）要求測至（zhì）少六種（zhǒng）不同（tóng）的粒徑,通過畫曲線的方法找到最（zuì）低點MPPS。這種方法隻能用單分散相的粒子發生器來測試。因此（cǐ）其實找（zhǎo）到的不是單一粒徑,而是一個區間;

並且（qiě）在EN1822-4和（hé）EN1822-5裏麵已經要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒徑,所以這更加說明了是粒子分析隻能測（cè）試出某一段粒（lì）徑之間而絕不是細到每（měi）一粒徑的;

4. IEST的測（cè）試方法

對於H13和H14,IEST要求對於其測試質量濃度就可以了,而對於高要求的（de）U15以上（shàng）要求用粒子計數（shù）器,並且（qiě）直接讀取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組中的更加不利（lì）的那一（yī）個數（shù）據.但是並（bìng）不需要先（xiān）檢測出MPPS值（zhí）。

對於現場中的DOP檢測,很多公司使用（yòng）TFI的冷發塵,由於其（qí）屬於（yú）多分（fèn）散相，因此其實導致的（de）結果就是（shì）CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大於0.3um的要求了。因此要求現場的測試質量濃度比為99.99%@H13H14是合理的.因為這裏的結果已經比0.3um為（wéi）99.99%在實驗室要求低了。

對於大部分的項目而言（yán）,還是使（shǐ）用H14以上的高效比較（jiào）保險。

5. EN1822測試方法（fǎ）

對於H10以上的就需要測試MPPS了,對（duì）於測試（shì）方法上麵已經有說明,總體而言就是測包含MPPS的（de）一段區間（jiān）粒徑的數（shù）量;

6:對測試結果的分析

由於現場（chǎng）測（cè）試的隻能是樣本,而且不可能全部（bù）都測（cè）.因此實際的結（jié）果分析采用了泊鬆分布的95%置（zhì）信區間的結果。

參考資料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資料當中提到（dào）了統計學相關知識,包括泊鬆分布/95%置信區間/標（biāo）準差/幾何標準差（chà）