克孜勒蘇柯爾克孜hepa高效過濾器

其實很多人對於高效過濾（lǜ）器的了解（jiě）還是停留在表麵上的，

比如隻知道潔淨室要安裝（zhuāng）初效G4+中效F5+中高效F9+末端的高效H14，但是對於高效過濾器（qì）的（de）一些特性還是不太了解的（de）！

比如效率為針對（duì）0.3um的粒子其濃度不低於99.97%為美國的A級（jí）別高效過濾器,這句話的詳細意思其實並沒有多少人思考！

比（bǐ）如MPPS方法介紹的H14或者（zhě）U15過濾器的測試粒子的尺（chǐ）寸是什麽？

下麵的內容則是我自己以前整理的一些筆記，針對高效過濾器的一些詳細介（jiè）紹。

不太懂的就看黑體字就可以了！！！！

1.從HEPA高效過濾器效率說起

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾器

最早的（de）HEPA 的使用來源於美國軍方, 為MIT相關標準。其後歐（ōu）洲持（chí）續優化自身規範和標準

目（mù）前（qián）國家上通行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三（sān）大標準。中國（guó）國內大（dà）部分（fèn）項目緊跟的是（shì）EN1822標準。

IEST規定對於MMD=0.3um的顆粒的整（zhěng）體效率不低於99.97%為高效（xiào）;EN1882規定隻要在MPPS的氣溶膠下通過率大於99.95%的就（jiù）可以,也就是H13以上;
EN1822
從（cóng）圖中可（kě）以看到如下信息（xī）:EN1882對於局部穿透率可以是整體的5倍這當然是在MPPS 的（de）粒徑考慮之下;
IEST描述
針對以上的兩（liǎng）張（zhāng）表格,分（fèn）析（xī）如下:

1).IEST中（zhōng）的MMD-Mass Median Diameter指的是粒子質量中徑,也就是所有的氣溶膠粒徑分布當中50%的質量大於這個值,50%的質（zhì）量小於這個值（zhí）.

因此不要認為IEST的規定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅（jǐn）僅是針對（duì）0.3um的要求.其實這個規定要求的是質量中徑在0.3um的（de）氣溶膠群,也（yě）就是氣溶膠是單分散相或者多分（fèn）散相的,是一個範圍內的氣溶（róng）膠群體,而絕不是單一粒徑的0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子尺寸中徑,也（yě）就是（shì）有50%的粒（lì）子大於這個值（zhí）.50%的粒子小於這個值。MMD=0.3um的顆（kē）粒（lì）們其實它（tā）們（men）的CMD大約在0.2um.這是因為大（dà）顆粒的粒子占有的數量權重雖然小（xiǎo）,但是質量權重很大。因此在IEST上麵說99.97%@0.3um其實大致等同於EN1882的MPPS的顆粒直徑.這裏也僅（jǐn）僅是類似（sì），不能完全等同。

3).新版的EN1822-2009把以前（qián）的E10 E11 E12均作（zuò）為HEPA的分（fèn）類劃入高效（xiào）係列,不同於以前的（de）EN1822-2000;

4).MPPS到底是多少,是需（xū）要對某一種濾（lǜ）料,比如某（mǒu）一種玻璃纖維（wéi）做實驗室（shì）測試的。需要至少做5次重複試驗。每次試（shì）驗（yàn）均要發單[準]分散相或者多分散（sàn）相的粒子,布滿整體的（de）0.1-0.5um的區間。最後用曲線做出來最低點。根據現在（zài）EN1822的（de）統計,絕大部分的最易穿透的粒子粒徑在0.1um-0.25um之間（jiān）的某一個值（zhí）。從商業角（jiǎo）度而言,氣溶膠發（fā）生器或者LASKIN噴嘴噴出的氣溶膠粒徑不可能保證為唯一（yī）粒徑粒子,從標準（zhǔn）差而言.σ1.5為多分散。需要注意的是這（zhè）個標準差和粒徑大小沒有直接關係，也就是計算結果和粒徑沒有關係.因此嫩草影院可以認為MPPS的粒徑大小在測試的時候不是針對某一個粒徑的而是針對一個區間的。這個也就是為什麽MPPS在實際現場測試的時（shí）候要求測試一個區間範圍內（nèi）的所有粒（lì）子（zǐ）數量（liàng）總和;同時也要說明的是不同的過濾風速下MPPS是不同的。出（chū）廠前需要明確額定濾速是多少.

5).對於實際的MPPS測試,一般要求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內的所有粒（lì）子總數。這（zhè）裏所隱含的條件是氣溶（róng）膠的發塵應該正好（hǎo）落在這個範圍之（zhī）內,而且粒徑的中值CMD應該正好等於MPPS[理想（xiǎng）化（huà）],EN1822規定偏差不能超過10%;

2.氣溶膠發生器

氣溶膠發生器可以分為若幹種,如熱發塵和（hé）冷（lěng）發塵,異凝結發塵和同（tóng）凝結發塵,在DPMS的幫助（zhù）下可以保證有單分散相粒徑發出。

壓縮（suō）空氣多分散熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶（róng）膠發生器 單分散相異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單分散相異凝結 1.05

自由（yóu）噴射凝結式氣溶膠發（fā）生器 準單（dān）分散相自凝結 σ=1.5

氣溶（róng）膠發塵+DPMS 多分散電移過濾為單分散相 σ=1.1不穩定

從美（měi）國的IEST可以看出他們使用的是第一種和第二種,用光度儀（yí）測試質量濃度比;而歐盟（méng）采用後麵四種進行測試，更加合理（lǐ）優越。不過問題在於（yú）MPPS不（bú）可能直接測量一個粒徑（jìng）值。其實是一個（gè）範圍（wéi）。很多工廠直接把（bǎ）0.1-0.2um之間的粒子數量全部加起來作為MPPS的數量考慮應該是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的。

根據（jù）EN1822-5的說法,如果是采用單分散相粒子在測試效率的時候是不計量粒子分徑的。直（zhí）接把所有（yǒu）的粒子數量加在一起就可以作為上下遊（yóu）分別的粒子計數了。但是這（zhè）裏要注意的是單（dān）分散（sàn）相也不（bú）是真正的（de）單分散相還（hái）是有各種粒徑分布的。隻要標準差小於（yú）1.5就（jiù）可以這麽認為了。

對於多分散相就不是這（zhè）麽回事了。因為標準差大於1.5，因（yīn）此在進行測試的時候要求同時測粒子粒徑分布和（hé）數量。需要注意的是在上下遊收集的時候,在MPPS已經知道的情況下,隻需（xū）要測量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵的全部或者部分（fèn）粒子數量即可。

舉例來說明:現在EN已經發（fā）現MPPS粒子一般坐落於0.1um-0.25um之間。這個範圍的最大值與最小值之比為2.5.因此在EN1822-5的要求下,最好取MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或（huò）者（zhě）部分。這是（shì）因為實際的光學粒子（zǐ）計數器有一個測量精度問題。大家知道的一般是（shì）測量分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所（suǒ）以實際（jì）的結果是大部分廠家或者測試方最終（zhōng）的計數結果0.1um-0.2um之間的總數作為計量基礎。

根據EN1822要求,最好的（de）測量範（fàn）圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但（dàn）是規範也可以要求在mpps/2-mpps/1.5之間或者在mpps*1.5-mpps*2的分段上任選一組作為劑量範圍.因此（cǐ）實際的測試可以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種情況（kuàng）下進行計量。

考慮到實際的光學粒子分析儀,應該可以在其中三個（gè）分段（duàn）裏（lǐ）麵任選一個並且選擇全部的粒（lì）子或者部分的粒子。到底怎麽選根據實際的粒子分析（xī）儀來。實際的工程結果是選擇0.1-0.2um之間的。因為大部分MPPS在0.18um的樣子,因此采（cǎi）用第二種分段發可以在0.09um-0.27um之間選擇部分也就是0.1um-0.2um之間的值作為劑量標準。

以上是對多分散粒子測（cè）試時候的分析與說（shuō）明。

3:接（jiē）收方法

一般有兩種方法。

一種是用於測定（dìng）質量（liàng）濃度的光度計,它不能計數。因（yīn）此可以用在DOP方法測試H13和H14上麵特別是在現場的時候；

另外一種是用粒子計數器或者粒徑分析計數（shù）器,它既可（kě）以測粒徑（jìng）也可（kě）以測數量。不過需要說明的是不能認為（wéi）它什麽（me）粒徑都能測,它一般隻（zhī）能分段測粒徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家想象的什麽0.111um,0.157um,0.18um這（zhè）樣的粒徑也能分析的（de）一（yī）清二楚. 因此實際的接收粒子MPPS是在一段粒徑之間的。上麵已經說過了。

這是因為（wéi）EN1822-3對於濾料測試的最低MPPS的點是曲線找出（chū）來的,而不（bú）是實際測出來的（de）。規定要求（qiú）測至少六（liù）種不同的粒徑,通過畫曲線（xiàn）的方法找到最低點MPPS。這種方法隻能用單分散相的粒子發生器來測試。因此其實找（zhǎo）到的不是單一粒徑,而是一個區間;

並且在EN1822-4和EN1822-5裏麵已經要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒徑,所以這更（gèng）加說明了是粒子（zǐ）分析隻能測試（shì）出某一段粒徑之間（jiān）而絕不是細到每一粒徑的;

4. IEST的測（cè）試方法

對（duì）於H13和H14,IEST要求對於其測試質量濃度就可以了,而對於高要求的U15以上要求用粒子計數（shù）器（qì）,並且直接讀取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組（zǔ）中的更加不利的那一個數據（jù）.但是並不（bú）需要（yào）先檢測出MPPS值。

對於現場中的DOP檢測,很（hěn）多公司使用TFI的冷發塵,由於其屬於多分（fèn）散相，因此其實導致的結果就是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大於0.3um的要求（qiú）了。因此要求現（xiàn）場的測試質量濃（nóng）度比為99.99%@H13H14是合（hé）理的.因為這裏的結果已經比0.3um為99.99%在實驗室要（yào）求（qiú）低了。

對於大部分的（de）項目而言,還是使用H14以上的高效比較保險（xiǎn）。

5. EN1822測試方法

對於H10以上的就需（xū）要測試MPPS了,對於測試方（fāng）法上麵已經有（yǒu）說明,總體而言就是測包含MPPS的一（yī）段區間粒徑（jìng）的數量;

6:對測試結果的分析

由於現場（chǎng）測試的隻能是樣本,而且不可能全部（bù）都測（cè）.因此實際（jì）的（de）結果分（fèn）析采用了泊鬆分布的95%置信區間的（de）結果（guǒ）。

參考（kǎo）資料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資料當中提到了統計學相關知識,包括泊鬆分布（bù）/95%置信區間/標（biāo）準差/幾何標準（zhǔn）差