綿陽hepa高效過濾（lǜ）器

其實很多人（rén）對於高效（xiào）過濾器的了解還是停留在表（biǎo）麵上的，

比如隻知道潔淨室要安裝初效G4+中效（xiào）F5+中高效F9+末端（duān）的高（gāo）效H14，但是對於（yú）高效過濾器的一些特性還是不太了（le）解的！

比如效率為針對0.3um的粒子其濃度不（bú）低於99.97%為美國的A級別高效過濾器（qì）,這句話的詳細意思其實並沒有多（duō）少人思考（kǎo）！

比如（rú）MPPS方法介紹的H14或者U15過濾器（qì）的測試粒子的尺寸是什（shí）麽（me）？

下麵的（de）內容則是我自己以前整理的一（yī）些筆記，針（zhēn）對高效過濾器的一些詳細介紹。

不太懂的就看黑體字就可以了（le）！！！！

1.從（cóng）HEPA高效過濾器效率說起（qǐ）

HEPA—high efficiency particulate air為高（gāo）效過濾器

最早的HEPA 的使用來源於美國軍方, 為MIT相關標準。其後歐洲持續優化自身規範和標準

目前國（guó）家上通行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中國國（guó）內（nèi）大部分項目緊跟的是EN1822標準。

IEST規定對於MMD=0.3um的顆粒的整體效率不低於99.97%為高效;EN1882規定隻要在MPPS的氣溶膠下通過率大於99.95%的就可以,也就是H13以上;
EN1822
從圖中可以看到如下信息:EN1882對於局部穿透率可以是整體的5倍這（zhè）當然是在MPPS 的粒徑考慮之下;
IEST描述
針對以上的兩張表格,分析如下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的是粒子質量中徑,也就是所有的氣溶膠粒徑分（fèn）布當中50%的質量大於這（zhè）個值,50%的質（zhì）量小於這個值.

因此不（bú）要認為IEST的（de）規定（dìng）@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅是針對（duì）0.3um的要求.其實這個規（guī）定要求的是（shì）質量中徑在0.3um的氣溶膠群,也就是氣溶膠是單分散相或者（zhě）多分散相（xiàng）的,是一個（gè）範圍內的氣溶膠群體,而（ér）絕不是單一粒徑的0.3um的（de）氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是（shì）粒子尺寸中徑,也就是有50%的粒子大於這個值.50%的粒子小於這個值。MMD=0.3um的顆粒們其實（shí）它們的CMD大約（yuē）在0.2um.這是因（yīn）為大顆粒的粒子占有（yǒu）的數（shù）量權重雖然小,但是（shì）質量權重很大。因此在IEST上（shàng）麵說99.97%@0.3um其實大致等同於EN1882的（de）MPPS的顆粒直徑.這（zhè）裏也僅（jǐn）僅是類似，不能完全等同。

3).新版（bǎn）的EN1822-2009把以前的（de）E10 E11 E12均作為（wéi）HEPA的（de）分類劃入高效係列,不同於以前的EN1822-2000;

4).MPPS到底是多（duō）少,是需要對某一種濾料,比（bǐ）如某一種玻璃纖維做實驗室測試的。需要至少做5次重複試驗。每（měi）次試驗均要發單[準]分散相（xiàng）或者多分散相的粒子,布滿整體的0.1-0.5um的區間。最後用曲線做出來最低點。根據（jù）現在EN1822的（de）統（tǒng）計,絕大部分的最易穿透的粒子粒徑在0.1um-0.25um之間的某一個值。從商業角度而言,氣溶膠發生器或者LASKIN噴（pēn）嘴噴出（chū）的氣溶膠粒徑不可能保證為唯一粒徑粒子,從標準差而言.σ1.5為多分散。需要注意的是這個標準（zhǔn）差（chà）和粒徑大小沒有直接關係，也就是計算結果和（hé）粒徑沒有關係.因（yīn）此（cǐ）嫩草影院可以認為MPPS的粒徑大小在測試的時候不（bú）是針對某一個粒徑（jìng）的而是針（zhēn）對一個區間的。這（zhè）個也就是（shì）為（wéi）什麽MPPS在（zài）實際現場（chǎng）測試的時候要求測試一個區（qū）間範圍內的所有粒子數量（liàng）總和;同時也（yě）要說明的是不（bú）同的過濾風速下MPPS是不同的。出廠前需要明確額定濾速是多（duō）少.

5).對於實際（jì）的MPPS測試,一般要求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍（wéi）之內（nèi）的所有粒子總數。這裏所隱含的條件是氣溶膠的（de）發（fā）塵應該正好落在（zài）這個範圍之內,而且粒徑的中值CMD應該（gāi）正好等於MPPS[理想（xiǎng）化],EN1822規定偏差不能超過10%;

2.氣溶膠發生器

氣（qì）溶膠發生器可以分為若幹種,如熱發塵和冷發塵（chén）,異凝結發塵和同凝結發（fā）塵,在DPMS的幫（bāng）助下可以保（bǎo）證有單分散相粒徑發出。

壓縮空氣多分散熱發（fā）塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分（fèn）散冷（lěng）發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器 單分散相異（yì）凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單分散相（xiàng）異凝結 1.05

自由噴射凝結式氣溶（róng）膠發生器 準單分（fèn）散（sàn）相自凝結 σ=1.5

氣溶（róng）膠發塵+DPMS 多分散電移過濾為單分散相 σ=1.1不（bú）穩定

從美（měi）國的IEST可以看出他們使用的是第一種和第二種,用光度儀測試質量（liàng）濃度比;而（ér）歐盟采用後麵四種進（jìn）行測試，更（gèng）加合（hé）理優越。不過（guò）問題在於MPPS不可（kě）能直接測量一個粒徑值。其實是一個範圍。很多（duō）工廠直接把0.1-0.2um之（zhī）間的粒子數量全部（bù）加起來作為MPPS的數量考慮（lǜ）應該是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範（fàn）圍的。

根據EN1822-5的說法（fǎ）,如果（guǒ）是（shì）采用單分散相粒（lì）子在測試效率的時候是不計量粒子分徑的。直接把所有的粒子數量加在一（yī）起就可以作為上下遊分別的粒子計數了。但是這裏要注意的是單分（fèn）散相（xiàng）也不是真正的（de）單分散相還是有各種粒徑分布的。隻要標準差小於1.5就可以這（zhè）麽認為了。

對於多（duō）分（fèn）散相就不是這（zhè）麽回事了。因為標準差大於1.5，因（yīn）此在進行測試的時候要求同時測粒子粒徑分（fèn）布和數量。需要注意的是（shì）在上下遊收集的時候,在MPPS已經知道的情況下,隻（zhī）需要測量MPPS/2-MPPS*2分段（duàn）裏麵的全部或者部分粒子數量即可。

舉例來說明:現在EN已經發現（xiàn）MPPS粒子一般坐落於0.1um-0.25um之間（jiān）。這個範圍（wéi）的最大值與最小值之比為2.5.因此在EN1822-5的要求下,最好取（qǔ）MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或者部分。這是（shì）因為實際的（de）光學粒子計數器（qì）有（yǒu）一個測量精度問題。大家知（zhī）道的一般是測（cè）量分段（duàn）為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等（děng）等。所以實際的結果是（shì）大部分廠家或者測試（shì）方最終的計（jì）數結果0.1um-0.2um之間的總數作（zuò）為計量基礎。

根據EN1822要求,最好的測量範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之（zhī）間。但是規範也可以要求在mpps/2-mpps/1.5之間或（huò）者在mpps*1.5-mpps*2的分段上任選一組作為劑量範圍.因此實際（jì）的測試可以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種情（qíng）況下進行計（jì）量。

考慮到實際的光學粒子分（fèn）析儀（yí）,應該可以在（zài）其（qí）中三（sān）個分段裏麵任選一（yī）個並且選擇全部的粒（lì）子或者部分的粒子。到底怎麽選根（gēn）據實（shí）際的粒子分析儀來。實際的工程結果是選擇0.1-0.2um之間的。因為大部分MPPS在0.18um的（de）樣子,因此采用第二種分段發可（kě）以在0.09um-0.27um之間選擇部分也就是0.1um-0.2um之間的值作為（wéi）劑量標準。

以上是對多分散粒子測試時候的分析與說明。

3:接（jiē）收方法

一般有兩種方法。

一種是用於（yú）測定質量（liàng）濃度的光度計,它不能計數。因此（cǐ）可以用（yòng）在DOP方法測試H13和H14上麵特別是在現場（chǎng）的時候（hòu）；

另外（wài）一種是用粒子計數器或者粒徑分析計數器,它（tā）既可以測粒徑也（yě）可（kě）以測數量。不過需要說明的是不能（néng）認為它（tā）什（shí）麽粒徑（jìng）都能測,它一（yī）般隻（zhī）能分段測粒徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家想象的什（shí）麽（me）0.111um,0.157um,0.18um這（zhè）樣的粒徑也能分（fèn）析的一清二楚. 因此實際的接收粒子MPPS是在一段粒徑之（zhī）間的。上麵已經（jīng）說過了（le）。

這是因為EN1822-3對於濾料測試的（de）最（zuì）低MPPS的點是曲線找出來的,而不是實際測出來的。規（guī）定要求（qiú）測至少六種不同的（de）粒（lì）徑,通過畫曲線的方法找（zhǎo）到最低點MPPS。這種方法隻能用單分（fèn）散（sàn）相（xiàng）的粒子發生器來測試。因此其實找到的不是單一粒徑（jìng）,而是一個區間;

並（bìng）且在EN1822-4和EN1822-5裏麵已經要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒徑（jìng）,所以這更（gèng）加說明了是粒子分析隻能測試出某一段粒徑之間而絕不是細到每一粒徑的（de）;

4. IEST的測試方法

對於H13和H14,IEST要求對於其測試質量濃度就可以了,而對（duì）於高要求的U15以上要求用粒子計數器,並且直接（jiē）讀取0.1um-0.2um或者（zhě）0.2um-0.3um兩組中的更（gèng）加不利的那一個數（shù）據.但是並（bìng）不需要（yào）先檢測出MPPS值。

對於現場（chǎng）中的DOP檢測,很多公司使用TFI的冷發塵,由（yóu）於其屬於多分散相，因（yīn）此（cǐ）其實導致（zhì）的結果就（jiù）是（shì）CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大（dà）於0.3um的（de）要求了。因此要求現場的測試質量濃度比為99.99%@H13H14是合（hé）理的.因為這裏的結果已經比0.3um為99.99%在實驗室要求低了。

對於大部分的項目而（ér）言,還是使用（yòng）H14以上的高效比較保險（xiǎn）。

5. EN1822測試方法

對於H10以上的（de）就需要測試MPPS了,對（duì）於測試方法上麵已經有說明,總體而言就是（shì）測包含MPPS的一段區間粒徑的數量;

6:對測試結果的（de）分析

由於現場測（cè）試的隻能是樣本（běn）,而且不可能全部都（dōu）測.因此實際的結果分析采用了泊鬆（sōng）分（fèn）布的95%置信區（qū）間的（de）結果。

參（cān）考資料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資料當中提到了統計學相關知識（shí）,包括泊鬆分（fèn）布/95%置信（xìn）區間/標準差/幾（jǐ）何標準差