欽州hepa高效過濾器

其實很多人對於高效過濾器（qì）的了解還是停留在表麵上的，

比如隻知道潔淨室要安裝初效G4+中效F5+中高效F9+末端的高效（xiào）H14，但是對於高效過濾器的一些特性還是不太了解的！

比如效率為針對0.3um的粒子其濃度不低於99.97%為美國的A級別高效過濾器,這句話的詳細意思其實並沒有（yǒu）多少人思考！

比如MPPS方法介紹的H14或者U15過濾器的測試粒子的尺寸是（shì）什麽？

下麵的內容則是我自己以前整理（lǐ）的一些筆記（jì），針對高（gāo）效過濾器的一些詳細（xì）介（jiè）紹（shào）。

不太懂的就看黑體字就可以了！！！！

1.從（cóng）HEPA高效過濾（lǜ）器效率說起

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾器

最早的（de）HEPA 的使用（yòng）來源於美國軍方, 為MIT相關標準。其後歐洲持續優化自身規範和標準

目前國（guó）家上（shàng）通行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中國國內大部分項目緊跟的是EN1822標準。

IEST規定對於MMD=0.3um的顆粒的整體效率不低於99.97%為高效;EN1882規定隻要在MPPS的氣溶膠下通過率大於99.95%的就（jiù）可以,也就是H13以上;
EN1822
從圖中可以看到如下信息（xī）:EN1882對於局部穿透率可以是整（zhěng）體的5倍這當然是在（zài）MPPS 的粒徑考慮之下;
IEST描述
針對以上的兩張表格,分析如下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的是粒子質量中徑,也就是所有的（de）氣溶膠粒徑分布當（dāng）中50%的質量大於這個值,50%的質量小於（yú）這個值.

因此不（bú）要認為（wéi）IEST的規（guī）定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅（jǐn）是針對0.3um的（de）要求.其實這個規定要求的是質量中徑（jìng）在0.3um的氣（qì）溶膠群,也就是氣溶膠是單（dān）分散相或者多分散（sàn）相的,是一個範圍內的氣溶膠群體,而絕不是單一粒徑的（de）0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指（zhǐ）的是粒（lì）子尺寸中徑,也就是有50%的粒子大於這個值.50%的粒（lì）子小於這個值。MMD=0.3um的顆粒們其實它們的CMD大約在0.2um.這是（shì）因為大顆粒的粒子（zǐ）占有（yǒu）的數量權重雖然小,但（dàn）是質量權重很大。因此在IEST上麵說99.97%@0.3um其實大致等同於EN1882的MPPS的顆粒直徑.這裏也僅僅是（shì）類（lèi）似，不能完全等同。

3).新版的EN1822-2009把以前的E10 E11 E12均作為HEPA的分類劃入高效係列,不同於以前的EN1822-2000;

4).MPPS到底是多少,是需要對某一種濾料,比如某一種玻璃纖維做實驗室測試的。需要至少做5次重複（fù）試驗。每（měi）次試驗（yàn）均要發單[準]分散相或者多分散相的（de）粒子,布滿整體的0.1-0.5um的區間。最後用曲線做出來最低點。根（gēn）據現在EN1822的統計,絕大部（bù）分的最易穿透的粒子粒徑在0.1um-0.25um之間的（de）某一（yī）個值。從商業角度而言,氣溶膠發生器或者LASKIN噴嘴噴出（chū）的氣溶膠（jiāo）粒徑不可（kě）能保證為唯一粒徑粒子,從標準差而言.σ1.5為多分散。需要（yào）注意的是這個標準差和粒徑大小沒有直接關（guān）係，也就是計算（suàn）結果和粒徑沒有關係.因此嫩草影院可以認為MPPS的粒徑大小在（zài）測試的（de）時候不是針對（duì）某一個粒徑的而是針（zhēn）對一個區間的。這個也就是為（wéi）什麽MPPS在實際現場測試的時候（hòu）要求測試一個區間範圍內的所有粒子數量總和;同時也要說明的是不同的過濾風速下MPPS是不同的。出廠（chǎng）前需要明（míng）確額定（dìng）濾速是多少.

5).對於實際的（de）MPPS測試（shì）,一（yī）般要求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之（zhī）內的所有粒子總數。這裏所隱含的條件是氣溶膠的發塵應該正（zhèng）好落在這個範圍之內,而且粒徑的中（zhōng）值CMD應（yīng）該正好等於MPPS[理想化],EN1822規定（dìng）偏差不能超過10%;

2.氣溶膠發生器

氣溶膠發生器可以分為若幹種,如熱發塵（chén）和冷發（fā）塵,異凝結（jié）發塵和同凝結發塵,在DPMS的幫助下可以保證有單分散相粒徑發出。

壓縮空氣多（duō）分散熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器 單分散相異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單分散相異凝結 1.05

自由（yóu）噴射凝（níng）結式氣（qì）溶膠發生器 準單分散相自凝結（jié） σ=1.5

氣溶膠發塵+DPMS 多（duō）分散電移（yí）過濾為單分散相（xiàng） σ=1.1不穩（wěn）定

從（cóng）美國（guó）的IEST可以看出他（tā）們使用的是第一種和第二種,用光度儀測（cè）試質（zhì）量濃度比;而歐盟采用後麵四種進行測試，更加合理（lǐ）優越。不過問題在於（yú）MPPS不可能直接測量一個粒徑值。其實是一個（gè）範圍。很（hěn）多工廠直接把0.1-0.2um之間（jiān）的粒子數量全部加起來作為MPPS的（de）數量考慮應該是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的。

根據EN1822-5的說法（fǎ）,如果（guǒ）是采用單分散相粒子（zǐ）在（zài）測試效率的時候是不計量粒子分徑的。直接把所有的粒子數量（liàng）加在一起就可以（yǐ）作為上下（xià）遊分別的粒子計（jì）數了。但是這裏要注意的是單（dān）分散相也不是真正的單（dān）分散相還是有各種粒徑分布的。隻要標準差小於1.5就可以這麽認為了。

對（duì）於多分散相就不是這麽回事了。因為標準差大於1.5，因此在進行（háng）測試的（de）時（shí）候要求同時測粒子粒徑（jìng）分布和數量。需要注意（yì）的是在上（shàng）下遊（yóu）收集（jí）的（de）時候,在MPPS已經知道的情（qíng）況（kuàng）下,隻需要測量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵的全部或者部分粒子數量即可。

舉（jǔ）例（lì）來說（shuō）明:現在EN已經發現MPPS粒（lì）子一般坐落（luò）於0.1um-0.25um之間。這個範（fàn）圍的最大值與最小值之比為2.5.因此在EN1822-5的要求下,最好取（qǔ）MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或者部分。這是因為實際的光學粒子計數器有一個測量精度問（wèn）題。大家知道的一般是測量分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以（yǐ）實際的結果是大部分廠家或者（zhě）測試方最終的計（jì）數結果0.1um-0.2um之間的總數作為計（jì）量基礎。

根據EN1822要求,最好的測量範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是規範也可以要求在mpps/2-mpps/1.5之間或者在（zài）mpps*1.5-mpps*2的分段上任（rèn）選（xuǎn）一組作為劑量範圍.因此實際的測試可以（yǐ）在（zài）

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種情況下進行計（jì）量（liàng）。

考慮到實際的光學粒子分析儀,應該可以在其中三（sān）個（gè）分段裏麵任選一個並且選擇全部的粒子或者部（bù）分的粒子。到（dào）底怎麽選根據實際的粒（lì）子分析儀來。實（shí）際的工程結果是選擇（zé）0.1-0.2um之間（jiān）的。因為大部分MPPS在（zài）0.18um的樣子,因此采用第二種分段發可以在0.09um-0.27um之間選擇部分也就是0.1um-0.2um之（zhī）間的值作為劑（jì）量標準。

以上是對多分散粒子測試時候的分析與說明。

3:接收方（fāng）法

一般有（yǒu）兩種方法。

一種是（shì）用於測定質量濃度的光度計,它不能計數。因此可以用在DOP方法測試H13和H14上麵特別是在（zài）現場的時（shí）候；

另外一種是用粒子計數器或者粒徑分析計數器,它既可以測粒徑也可以（yǐ）測（cè）數量。不過需要說明的（de）是不能認為它（tā）什麽粒徑都能測,它一般隻能分段測粒（lì）徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家（jiā）想象的什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑也能分析的（de）一清二楚. 因此實際的接收粒子MPPS是在一段粒徑之間的。上麵已經說過了。

這是因為EN1822-3對（duì）於濾料測試的最低MPPS的點是曲線找出來的,而不是實際測出來的。規定要求測至少六種不同的粒（lì）徑,通過畫曲線的方法（fǎ）找到最低點MPPS。這（zhè）種方法隻能用單分（fèn）散相的（de）粒子發生器來測（cè）試。因此其實找到的不是（shì）單一粒徑,而是一個區間;

並且在EN1822-4和EN1822-5裏麵已經要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒徑,所以這更加說明了是粒（lì）子分（fèn）析隻能測試出某一段粒徑之間（jiān）而絕不是細（xì）到每一（yī）粒徑（jìng）的;

4. IEST的測試方法

對於H13和H14,IEST要求對於其測試質量（liàng）濃度就可（kě）以了,而對於高要（yào）求的U15以上要求用粒子計（jì）數器,並且直接讀取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組中的更加不利的那一個數據.但是並不需要先檢測出MPPS值。

對於現場中的DOP檢（jiǎn）測,很多（duō）公司使用TFI的冷（lěng）發塵,由（yóu）於其屬於多分散相，因此其實導致的結果就是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大於0.3um的要求了。因此要求現場的測試質量濃（nóng）度比為99.99%@H13H14是合理的.因（yīn）為這裏的結果已經比0.3um為99.99%在實驗（yàn）室要求低了。

對於大部分的項目而言,還是使用H14以（yǐ）上（shàng）的高效比（bǐ）較保險。

5. EN1822測試方法

對於（yú）H10以上的就（jiù）需要測試MPPS了,對於測試方法上麵已經有說明（míng）,總體而言（yán）就是測包含MPPS的一段區間粒徑的數量;

6:對測試結果（guǒ）的分析（xī）

由於現場測試的隻能是樣本,而（ér）且不可（kě）能全（quán）部（bù）都（dōu）測.因此實際的（de）結果（guǒ）分析采用了泊鬆分布的95%置信區（qū）間的結果。

參考資（zī）料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資料當中提到了統計學相關知識,包括泊鬆分布/95%置信區間/標準差/幾何標準差