汕頭hepa高效過（guò）濾器

其實很多人對於（yú）高效過濾器的了解還是停留在（zài）表麵上的，

比如隻知道潔淨室要安裝初效G4+中效F5+中（zhōng）高效F9+末（mò）端的高效H14，但是對於高效過濾器的一些特性（xìng）還是不太了解的！

比如效率為針對0.3um的粒子其濃度不低於99.97%為美國的A級別高效過濾器,這句話（huà）的詳細意（yì）思其實並沒有多少人思（sī）考！

比如MPPS方法介紹的H14或者U15過濾器的測試粒子的尺寸是什麽？

下麵的內容則是我自（zì）己以前整理的一些筆記，針（zhēn）對高效過濾器的一些詳細介紹。

不太懂的就（jiù）看黑體字就可以了！！！！

1.從HEPA高效過濾器效率說起

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾器

最早的HEPA 的使（shǐ）用來源於美國軍方, 為MIT相關標準（zhǔn）。其後歐洲持續優化自身規範和標（biāo）準

目前國家上通（tōng）行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中國國內大部分項目緊跟的是EN1822標準。

IEST規定對於MMD=0.3um的顆粒的整體效率（lǜ）不低（dī）於99.97%為高效（xiào）;EN1882規定隻要在MPPS的氣溶膠下（xià）通過率大於99.95%的就可以,也就是H13以上;
EN1822
從圖中可（kě）以看到（dào）如下信息:EN1882對於局部穿透率可以（yǐ）是整（zhěng）體的5倍這當然是在MPPS 的粒徑考慮之下;
IEST描述
針對以上的兩（liǎng）張表格,分析如下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的是粒子質量中（zhōng）徑,也就是所有的氣溶膠粒徑分布當中50%的質量大於這（zhè）個值,50%的質量小於這個值.

因此不要認為IEST的規（guī）定@0.3um >=99.97% 或者（zhě）@0.3um>=99.99%僅僅是針對0.3um的要（yào）求.其實這個規（guī）定要求的是質量中徑在（zài）0.3um的氣（qì）溶膠（jiāo）群,也（yě）就是氣溶膠（jiāo）是單分散相或者多分散相的,是一個範圍內的氣溶膠（jiāo）群體,而絕不是單一粒徑的0.3um的（de）氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指（zhǐ）的是粒（lì）子尺寸中徑,也就是有50%的粒子大於這個值.50%的粒子（zǐ）小於這個（gè）值。MMD=0.3um的顆粒們其實它們的CMD大（dà）約在0.2um.這是因為大顆粒的粒子占有的數量權重雖然小,但是質量權重（chóng）很大。因此在（zài）IEST上麵說99.97%@0.3um其實大致（zhì）等同於EN1882的MPPS的顆粒直徑.這裏也僅僅是類似，不能完全等同。

3).新版（bǎn）的EN1822-2009把以前的（de）E10 E11 E12均作為HEPA的分類劃入高效係列,不同於以前的EN1822-2000;

4).MPPS到底（dǐ）是多少,是（shì）需要對某一種濾料,比（bǐ）如某一種玻璃纖維做（zuò）實驗室測試的。需要至少做5次重複試驗。每次試驗均要發單[準]分散相或（huò）者多分散相的粒子,布滿整體（tǐ）的0.1-0.5um的區間（jiān）。最後用曲線做出來最低點。根據現在EN1822的統計,絕大部（bù）分的最易穿透的（de）粒子粒徑在0.1um-0.25um之間的某一個值。從商業角度而言,氣溶膠發生器或者LASKIN噴（pēn）嘴噴出的氣溶膠粒徑不可（kě）能保證為唯一粒（lì）徑粒子,從標準差而言.σ1.5為多分散。需要注（zhù）意的是這個標準（zhǔn）差和粒（lì）徑大（dà）小沒有直接關係，也（yě）就是計算結果和粒徑沒有關係.因此嫩草影院可以（yǐ）認為MPPS的粒（lì）徑（jìng）大小在測試的時候不（bú）是針對某一個粒徑的而是針對一個區間的。這（zhè）個也就是為什麽MPPS在實際現場測試的時候要求測（cè）試一個區（qū）間範圍內的所有粒子（zǐ）數量總（zǒng）和;同時也要說明的是不同的過濾風（fēng）速下（xià）MPPS是不同的。出廠前需要明確額定（dìng）濾速是多少.

5).對於實際的MPPS測試,一般要求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內的所有粒子總數。這裏所隱含的條（tiáo）件是氣溶膠的發（fā）塵應該正好落在這個範圍之內,而且粒徑的中值CMD應該正好等於MPPS[理想化],EN1822規定偏差不（bú）能超過10%;

2.氣溶膠發生器

氣溶（róng）膠發生器可以（yǐ）分為若幹種,如熱發塵和冷發塵,異凝結發塵（chén）和同凝結發（fā）塵,在DPMS的（de）幫助下可以保證有單分散相粒（lì）徑發出（chū）。

壓縮空氣多分散熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空（kōng）氣多分散冷發（fā）塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發（fā）生器 單分散相異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單分散相異凝結 1.05

自由噴射凝（níng）結式氣溶膠發（fā）生器 準單分散（sàn）相自凝（níng）結 σ=1.5

氣溶膠（jiāo）發塵+DPMS 多分散電移過濾為單分散相 σ=1.1不穩定

從美國的IEST可以看出他們使用（yòng）的是第一種和第二種,用光（guāng）度儀（yí）測試質量濃度（dù）比;而歐盟采用後麵四種進行測試，更加合理優越。不過問題在於MPPS不可能直接測量一個粒徑值。其實是一個範圍。很多工廠直接把0.1-0.2um之間的粒子數量全部加起來作為MPPS的數量考慮應該是（shì）符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的。

根據EN1822-5的說法,如果是采用單（dān）分散相粒子在測試效率的時候是不計量粒（lì）子分徑的。直接把所有的粒（lì）子數量（liàng）加在一起就可（kě）以（yǐ）作為上下遊分別的粒子計數（shù）了。但是（shì）這裏要注意的（de）是單分散（sàn）相也不是真正（zhèng）的單（dān）分散相還是（shì）有各種粒徑分布的。隻要標準（zhǔn）差小於1.5就可以這麽認為了。

對（duì）於多分散相就（jiù）不是這麽回事（shì）了。因為標準差大（dà）於1.5，因此在進行測試的時候要求同時測粒子粒（lì）徑分布（bù）和數量。需要注意的是在上下遊收集的（de）時候,在（zài）MPPS已經知道的情況下,隻需要測量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵的（de）全部或者部分粒子數量即可。

舉例來說明:現在EN已經發現MPPS粒子一般坐落於（yú）0.1um-0.25um之間。這個範圍的最大值與最小（xiǎo）值之比（bǐ）為2.5.因此在EN1822-5的（de）要求下,最好取MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或者（zhě）部分。這（zhè）是因為實際的光學粒子計（jì）數器有一個測量精度問題。大家知（zhī）道的一般是測量分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等（děng）。所（suǒ）以實際的結果是大部分廠家或者測試方最終的計數結果0.1um-0.2um之間的總數作為計量（liàng）基礎（chǔ）。

根據EN1822要求,最好的測量範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但（dàn）是規範也可以要求在mpps/2-mpps/1.5之間或者在mpps*1.5-mpps*2的分段上任選一組作為劑量範圍.因此實際的測試可以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種情況（kuàng）下進行計量。

考慮到實際的（de）光學粒子分析儀,應該可以在其中三個分段裏（lǐ）麵任（rèn）選一個並（bìng）且選擇全部的粒子或者（zhě）部分的粒子。到底（dǐ）怎麽選根據實際的粒子分析儀來。實際的工程結果是（shì）選擇（zé）0.1-0.2um之間的。因為（wéi）大部分MPPS在0.18um的樣子,因此采用第二種（zhǒng）分段發可以在0.09um-0.27um之間選擇部分也就（jiù）是（shì）0.1um-0.2um之間的值作為劑量標準。

以上是對多分散粒子測試時候的分析與說明。

3:接收方法

一般有兩種方法。

一種是用（yòng）於測定質量濃度的光度計,它不能計（jì）數。因此可以用在DOP方法測試H13和H14上麵特別是在（zài）現場的時候；

另外一種是用粒（lì）子計數器或者粒徑分（fèn）析計數（shù）器,它既可以（yǐ）測粒徑也可以測數量。不過需（xū）要說（shuō）明的是不能認為（wéi）它什麽粒徑都能測,它一般（bān）隻能分段測粒徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家想象的什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑（jìng）也能分析的一（yī）清二楚. 因此實際的接收粒子MPPS是（shì）在（zài）一段粒徑之間的。上麵已經說過了。

這是因為EN1822-3對於濾料測試的最低MPPS的點是曲線（xiàn）找出來的,而不是實際測出來的。規定要（yào）求測至少六種不同的粒徑,通過畫曲線的方法找到（dào）最低點MPPS。這（zhè）種方法隻能用單分散相的粒子發生（shēng）器來測試。因此其實找到（dào）的不是（shì）單一粒徑,而是（shì）一個區（qū）間;

並且在EN1822-4和EN1822-5裏麵已經要求（qiú）了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒徑,所以這（zhè）更加說明了是粒子（zǐ）分析隻能（néng）測試出（chū）某一（yī）段粒徑之間而絕不是細到每一粒徑的;

4. IEST的測試方法

對於H13和H14,IEST要求對於其測（cè）試質量濃度就（jiù）可以了（le）,而對於高要求（qiú）的U15以上要（yào）求用粒子計數器,並且直（zhí）接讀取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組中（zhōng）的更加不利的那一個（gè）數據.但（dàn）是並不需要先檢測出MPPS值。

對於現場中的DOP檢測,很多公司使用TFI的冷發塵,由於其屬於多（duō）分散相，因此其實導致的結果就（jiù）是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大（dà）於0.3um的要求了。因此要求現場的測試質量濃度比為99.99%@H13H14是合（hé）理的.因為這裏的（de）結果已經（jīng）比0.3um為（wéi）99.99%在實驗室要求低了。

對（duì）於大部分的項目而言,還是使用H14以上的（de）高（gāo）效比較保險。

5. EN1822測試方法（fǎ）

對於H10以上的就需要測試MPPS了,對於測試方法上麵已經有說明,總體而言就是測包含MPPS的一段區間粒（lì）徑的數量;

6:對測試結果的分析

由於現場測試的隻能是樣本,而且不可（kě）能全部都測.因此實際（jì）的結果分析采用了泊鬆分布的95%置信區（qū）間的結果。

參考資料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資料（liào）當中提到了統計學相關知（zhī）識,包括泊鬆分布/95%置信區間/標準差/幾何標準差