錫林郭勒盟hepa高效過濾器（qì）

其實（shí）很（hěn）多人（rén）對於高效過濾器的了解還是停留在表麵上的，

比如隻知道潔淨室要安裝初效G4+中效F5+中（zhōng）高效F9+末端的（de）高效H14，但是對（duì）於高（gāo）效過（guò）濾器的一些特性還是不太了解（jiě）的！

比如效率為針對0.3um的粒子其濃度（dù）不低於99.97%為美國的A級別高效過濾器,這句（jù）話的詳細意思其實並沒有多少人思考！

比如MPPS方法介紹的H14或者U15過濾器的測試粒子的尺（chǐ）寸是什麽？

下麵的內容則是我自己以前整理（lǐ）的一些筆記，針對高效過濾（lǜ）器的（de）一些詳細介紹。

不太懂的就看黑體（tǐ）字就可以了！！！！

1.從HEPA高效過濾器效率說起

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾器

最早的HEPA 的使用來源於美國軍方, 為MIT相關標準。其後歐洲持續優化自身（shēn）規範和標準

目前國家上通行的（de）是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中國國內大部分項目緊跟的是（shì）EN1822標準。

IEST規定（dìng）對於MMD=0.3um的顆（kē）粒的整體效率不低於99.97%為高（gāo）效;EN1882規定隻（zhī）要在MPPS的氣溶膠下（xià）通過率大於99.95%的就可以,也就是H13以上;
EN1822
從圖中可以看（kàn）到（dào）如下信息:EN1882對於局部穿透率可以是整體的5倍這當然是在MPPS 的粒徑考慮（lǜ）之下;
IEST描述
針對以上的兩張表格,分析如下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的是粒子質量中徑,也就（jiù）是所有的氣溶膠粒徑分布（bù）當中50%的質量大（dà）於這個值,50%的質量小於這個值.

因此不要認為IEST的規定@0.3um >=99.97% 或者（zhě）@0.3um>=99.99%僅（jǐn）僅是針對0.3um的（de）要求.其（qí）實這個規定要求的是質量中徑在0.3um的氣溶膠群,也就是氣溶膠是單分散相或者多（duō）分散相的,是（shì）一個範圍內（nèi）的氣溶（róng）膠群體,而絕不是單一粒徑的0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒（lì）子（zǐ）尺寸中徑,也就是有50%的粒子大於這個值.50%的粒子小於這個值。MMD=0.3um的顆粒們其（qí）實它（tā）們的CMD大約在0.2um.這是因為大顆粒的粒子占有的數量權重雖然小,但是質量權重很大。因（yīn）此在IEST上麵說99.97%@0.3um其實大致等同於EN1882的MPPS的顆粒直（zhí）徑.這裏也僅僅是類似，不能完全等同（tóng）。

3).新版的EN1822-2009把以前的E10 E11 E12均（jun1）作為HEPA的分類劃入高效係列,不同於以前的EN1822-2000;

4).MPPS到（dào）底是多少,是需要對某一種濾料,比如某一種玻璃纖維做（zuò）實驗室測試的。需要至少做5次重複試驗。每次試驗均要（yào）發單[準]分散相或者多分散相的粒子,布滿整體的0.1-0.5um的區間。最（zuì）後用曲線（xiàn）做出來最低點。根據現在EN1822的統計,絕大部分的最易穿透的粒子粒徑在0.1um-0.25um之間的（de）某一個值。從商業角度而言,氣溶膠發生器或（huò）者LASKIN噴嘴噴出的氣溶膠粒徑不可能保證（zhèng）為唯（wéi）一粒徑粒子,從標準差而言.σ1.5為多分散。需要注意的是這個標準差和粒（lì）徑（jìng）大小沒有直接關係，也就是計算結果和粒徑（jìng）沒有關係.因此嫩草影院可以認為（wéi）MPPS的（de）粒徑大小在測試的時候不是針對某（mǒu）一個粒徑的而是針對一（yī）個（gè）區間的（de）。這個也就是為什麽MPPS在實際現場測試的時候要求測試一個區間（jiān）範圍內的所有粒子數量總和;同（tóng）時也要（yào）說明的是不同的過（guò）濾風速下（xià）MPPS是不同的。出廠前需要明確額定濾速是多少.

5).對於實際的MPPS測試,一般要求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內的所有粒子總數。這裏所隱含的條（tiáo）件（jiàn）是氣溶膠的發塵應該正（zhèng）好（hǎo）落在這個範圍之內,而且粒徑的中值CMD應該（gāi）正好等於MPPS[理想化],EN1822規定偏差不能超過10%;

2.氣溶膠發生器

氣（qì）溶膠發生器可以分為若幹種,如熱發塵（chén）和冷發（fā）塵,異凝結發塵和同凝結（jié）發塵,在DPMS的幫助下可以保證有單分散相粒徑發出。

壓縮空氣多分散熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器 單分散（sàn）相異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單分散（sàn）相（xiàng）異凝結（jié） 1.05

自由噴射凝結式氣溶膠發生器 準單分散相自凝結 σ=1.5

氣溶膠發塵+DPMS 多分（fèn）散電移過濾為單分散相 σ=1.1不穩定

從美國的IEST可以看出他們使用的是第（dì）一種和第二種,用光度（dù）儀測試質（zhì）量濃度比;而歐盟采用後麵（miàn）四種進行測試，更加合理優越。不過問題（tí）在於MPPS不可能直接測（cè）量一個粒徑值。其實是一個範圍。很多工廠直接把0.1-0.2um之間的（de）粒子數量全部加起來作為MPPS的（de）數量考慮應該是符合（hé）MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的。

根據EN1822-5的說法,如果是采（cǎi）用單分散相粒子在測試效率的（de）時候是（shì）不計量粒子分徑（jìng）的。直接（jiē）把所有的粒子數（shù）量加在一起就可（kě）以作為上下遊分別的粒（lì）子計數（shù）了（le）。但（dàn）是這裏要（yào）注意的是單分（fèn）散相也不是真正的單分散相還是有各種粒徑分布的。隻要標準差小於1.5就（jiù）可以這麽認為了。

對於多分散相（xiàng）就不是這麽回事了。因為標準差大於（yú）1.5，因（yīn）此在進行測試的（de）時候要求同時測粒子粒徑分布和數量。需（xū）要注意的是在上下遊收集的（de）時候,在MPPS已經知（zhī）道的情況下,隻需要（yào）測量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵的全部或者部分粒子（zǐ）數量即可。

舉例來說明:現在EN已經發現MPPS粒子一般坐落於0.1um-0.25um之間。這個（gè）範圍的最大值與最小值之（zhī）比為2.5.因此（cǐ）在EN1822-5的要求下,最好取MPPS/2-MPPS*2的全部範圍（wéi）或（huò）者部分。這是因為實際（jì）的光學粒子計數器有一個測量精度問題（tí）。大家知道的一般是測量分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以實際的結果是大部分廠家或者測試方最終的計數結果0.1um-0.2um之間的總數作為計量基礎。

根據EN1822要求,最好的測量範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之（zhī）間（jiān）。但是規範也可以（yǐ）要求（qiú）在mpps/2-mpps/1.5之間（jiān）或者在mpps*1.5-mpps*2的分段上任選一組作為劑量範圍.因此實際的測試可以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種情況下進行計量。

考慮到實際的光學粒子分析儀,應該可以在其中三個分（fèn）段裏麵（miàn）任選一（yī）個並且選擇全部的粒子或者部分的粒子。到（dào）底（dǐ）怎麽（me）選根據實際的（de）粒子分析儀來。實（shí）際的工程（chéng）結果（guǒ）是選擇0.1-0.2um之間（jiān）的。因為大部分MPPS在0.18um的樣子,因此采用第二種分（fèn）段發可以在0.09um-0.27um之間選擇部分也就是0.1um-0.2um之間的值作為劑量標準。

以上是對多分散粒子測試時候的分析與說明。

3:接收（shōu）方法

一般有兩（liǎng）種方（fāng）法。

一種是用於測定質量（liàng）濃度的光度計（jì）,它不能計數（shù）。因（yīn）此（cǐ）可以用在DOP方法（fǎ）測試H13和H14上麵特別是在現場（chǎng）的時候；

另（lìng）外一種是用粒子計數器或者粒徑分析計數器,它既可以測粒徑也可以（yǐ）測數量。不過需要說明的是不能認為它什麽粒徑都（dōu）能測（cè）,它一般隻能分段測粒徑。比（bǐ）如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是（shì）大家想象的什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣（yàng）的粒徑也能分析的一清二楚（chǔ）. 因此實際的接收粒子MPPS是在一段（duàn）粒徑之間的。上麵已經說過了。

這（zhè）是因為EN1822-3對（duì）於濾料測試的最低MPPS的點（diǎn）是曲線找出來的,而不（bú）是實際測出來的。規定要求測至少六種不同的粒徑（jìng）,通過畫（huà）曲線的方法找到最低點MPPS。這種方法隻能用（yòng）單分散相的粒子（zǐ）發（fā）生器來測試。因此其實找到（dào）的不是單一（yī）粒徑,而是一個區間（jiān）;

並且在EN1822-4和EN1822-5裏麵已經要求（qiú）了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒徑,所以這更加說明了是粒子分析隻能測試出某一段粒徑之（zhī）間而絕不（bú）是細到每一粒徑的;

4. IEST的測試方法

對於H13和H14,IEST要求對於其測試質（zhì）量濃度就可以了（le）,而對於高要求的U15以（yǐ）上要求用粒子計數器,並且直接讀取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組（zǔ）中的更加不利的那一個數據（jù）.但是並不需要先檢測出MPPS值。

對於現場中的DOP檢測,很多公司使（shǐ）用TFI的（de）冷發塵,由於其屬於（yú）多分散相，因此其實導致的結果就是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大於0.3um的要求了。因此要求現場的測試質量濃度比為99.99%@H13H14是合理的.因為這裏的結果已經（jīng）比0.3um為99.99%在（zài）實驗室要求低了。

對於大部分的項目（mù）而言,還是使用H14以上的高效比較保險。

5. EN1822測試方法

對於H10以上的就（jiù）需要測試MPPS了,對於測（cè）試方法上麵已經有（yǒu）說明,總體而言就是（shì）測包含MPPS的一段區間粒徑的數量;

6:對測試結果（guǒ）的分析

由於現場測試的（de）隻（zhī）能是樣本,而且不可能全部都測.因此實際的結（jié）果分析采用了（le）泊鬆分布的95%置信區間的結果。

參考資料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資（zī）料當中提（tí）到了統計學相關知識,包括泊鬆分布/95%置信區間/標準差/幾何（hé）標準差